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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-01-20

可選地,,所述托板包括:

主板;

排列成八字形的***支板和第二支板,,在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,;

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,所述表面為平面,。

另外,,本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,其包括上述任一所述的機(jī)械手臂,。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,,機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),晶圓放置在托板的表面,,并與絨毛墊接觸,,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,,不易發(fā)生平移,,這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,,本實(shí)用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚,。 為此,,手臂一般都采用剛性較好的導(dǎo)向桿來(lái)加大手臂的剛度.中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠家報(bào)價(jià)

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    區(qū)熔法分為兩種:水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺,、GaAs等材料的提純和單晶生長(zhǎng),;后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長(zhǎng)的不同捏,?這是由于硅的熔點(diǎn)高,,化學(xué)性能活潑,容易受到異物的玷污,,所以難以找到適合的器皿來(lái)盛方,,自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長(zhǎng)上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于:區(qū)熔法一般不使用坩鍋,,引入的雜質(zhì)更少,,生長(zhǎng)的材料雜質(zhì)含量也就更少??偠灾?,單晶硅棒是圓柱形的,,使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個(gè)樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎,?Bingo,,圖左的尖尖是籽晶,圖右的尖尖是晶棒長(zhǎng)到***,,從熔融態(tài)里出來(lái)后,,由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理,以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的,。 中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠家報(bào)價(jià)盡管它們的形態(tài)各有不同,,但它們都有一個(gè)共同的特點(diǎn),就是能夠接受指令.

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注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手,、塑料機(jī)機(jī)械手,它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口,、模內(nèi)鑲件,、模內(nèi)貼標(biāo)、模外組裝,、整形,、分類、堆疊,、產(chǎn)品包裝,、模具優(yōu)化等等。且可以對(duì)其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專門配備的機(jī)械,,它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng)、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率,、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量,、降低廢品率、降低生產(chǎn)成本,、增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力等方面起到及其重要的作用,。

半導(dǎo)體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,,晶圓的身影隨處可見(jiàn),。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),,使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件,,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,,都是規(guī)規(guī)矩矩,、方方正正的??梢?jiàn),,晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問(wèn)?來(lái)了——硅片為什么要做成圓的,?為什么是“晶圓”,,而不做成“晶方”?

要解釋這個(gè)問(wèn)題,,有兩方面的原因:一方面似乎是由“基因決定的”,;另一方面是“環(huán)境造成的”。



本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,,維護(hù)方便,,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。


而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差,當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),,手臂伸出越長(zhǎng),,其誤差越大;

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多功能一體化機(jī)械臂,,包括機(jī)械臂主體,,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,,該種多功能一體化機(jī)械臂,,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低,、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),,本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的,,實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),,且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低,同時(shí)工人在使用時(shí),,移動(dòng)較為方便,,設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,,實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),,在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細(xì)不會(huì)手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來(lái)確定,,其誤差是積累誤差,,因而精度較差,其位置精度也更難保證,。中山直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動(dòng)作功能,,用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動(dòng)操作裝置,。中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠家報(bào)價(jià)

    基因決定”——生長(zhǎng)方法導(dǎo)致若要回答這個(gè)問(wèn)題,,首先要說(shuō)一個(gè)大約有100余年歷史的原因。,。,。1918年,前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基(Czochralski)建立起來(lái)一種晶體生長(zhǎng)方法——直拉式晶體生長(zhǎng)方法,,簡(jiǎn)稱CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純,、單晶硅生長(zhǎng),、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉,。這個(gè)階段主要是通過(guò)溶解,、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅,。接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng)工藝,。就是從硅熔體中生長(zhǎng)出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中,,在保護(hù)性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升,即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠,。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型,直徑從3英寸到十幾英寸不等,。硅錠經(jīng)過(guò)切片,、拋光之后,就得到了單晶硅圓片,也即晶圓,。 中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠家報(bào)價(jià)

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