與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比,，蛙腿型機(jī)械手的傳動機(jī)構(gòu)更簡單,，剛性更高，且工作效率更高,。如上圖所示,，蛙腿型機(jī)械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂,。2個直驅(qū)電機(jī)分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,，大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤,。 該機(jī)械手雖然只有3個電機(jī),，但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對整個真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個復(fù)雜的過程與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

    6)自適應(yīng)控制,。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng),。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機(jī)械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機(jī)械臂進(jìn)行了**控制器的設(shè)計,?？刂破鞯脑O(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應(yīng)控制設(shè)計。通過狀態(tài)轉(zhuǎn)換將系統(tǒng)分成兩個子系統(tǒng),。用自適應(yīng)控制和魯棒控制分別對兩個子系統(tǒng)進(jìn)行控制,。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應(yīng)用的控制器,由于其簡單,、有效,、實(shí)用,被普遍地用于剛性機(jī)械臂控制,常通過調(diào)整控制器增益構(gòu)成自校正PID控制器或與其它控制方法結(jié)合構(gòu)成復(fù)合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能。8)變結(jié)構(gòu)控制,。變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑?？刂剖?*普遍的變結(jié)構(gòu)控制。其特點(diǎn);在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質(zhì),。變結(jié)構(gòu)控制器的設(shè)計,不需要機(jī)械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構(gòu)造一個控制器,。 東莞庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂制造價格盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點(diǎn),，就是能夠接受指令.

隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度、高精度,、高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運(yùn)動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以,，機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮，實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性,。柔性機(jī)械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng),，其動力學(xué)方程具有非線性、強(qiáng)耦合,、實(shí)變等特點(diǎn),。而進(jìn)行柔性臂動力學(xué)問題的研究，其模型的建立是極其重要的,。柔性機(jī)械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù),。一般控制系統(tǒng)的描述（包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述）與傳感器/執(zhí)行器的定位,，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機(jī)械臂的動力學(xué)特性密切相關(guān)。

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過程中,，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

機(jī)械手要獲得較高的位置精度,，除采用先進(jìn)的控制方法外，在結(jié)構(gòu)上還注意以下幾個問題,；

場景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán),，場景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實(shí)際的應(yīng)用場景,，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機(jī)械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢,？它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯,，主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動作,。如果工作場景符合上述兩個特點(diǎn),，機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。

機(jī)械手臂應(yīng)用場景多在制造業(yè),，有重工業(yè)屬性,，如金屬加工、拋光打磨,、裝配,、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn),、橡膠/塑料,、分揀等。 實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),、升降運(yùn)動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成,。韶關(guān)本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

電動式 電力驅(qū)動是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式,。其特點(diǎn)是電源方便，響應(yīng)快,，驅(qū)動力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤）,，信號檢測、傳遞,、處理方便,，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī),，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動形式）,。由于電機(jī)速度高,，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動,、齒輪傳動,、螺旋行動和多桿式機(jī)構(gòu)等）。目前,，有些機(jī)械臂已開始采用無減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩,、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動（DD），這既可以使機(jī)構(gòu)簡化,，又可提高控制精度。二,、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣,，一般只需點(diǎn)位控制。即被搬運(yùn)零件無嚴(yán)格的運(yùn)動軌跡要求,，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確,。如機(jī)床上用的上下料器人，工件堆垛機(jī)械臂,，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等,。原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

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