技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題,，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊,，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓,。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。

可選地,，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,，各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 工業(yè)機械臂的工作原理。茂名庫存晶圓運送機械吸臂代理廠家

工業(yè)機械臂是擬人手臂,、手腕和手功能 的機械電子裝置,。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置,；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。如夾持焊鉗或焊***,，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊,；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件；進行激光切割,；噴涂,；裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名,。由于影視宣傳和科幻小說的影響,，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣,，特別是工業(yè)機械臂,，與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標準,，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,，可重復(fù)編程、多用途,，并可以對3個以上軸進行編程,。它可以是固定式或者移動式,。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。金山區(qū)新款晶圓運送機械吸臂上門服務(wù)實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制,。2臺直驅(qū)電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機,，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機,。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持

進行光刻：

將設(shè)計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下,，然后再在它的下面放置Wafer,，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,，刻上了電路圖,。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,，然后進行再次光刻,。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。而隨著技術(shù)革新,，極紫光刻出現(xiàn)了,，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成,。

注射：

在真空下，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部,。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍,。 手臂由靜止狀態(tài)達到正常的運動速度為啟動，由常速減到停止不動為制動,，速度的變化過程為速度特性曲線,。

研究背景近年來，隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度,、高精度,、 高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低,。所以，機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,，實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性,。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng)，其動力學(xué)方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點,。而進行柔性臂動力學(xué)問題的研究,，其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng),。動力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位,，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學(xué)特性密切相關(guān),。手臂回轉(zhuǎn)升降機構(gòu)就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。茂名庫存晶圓運送機械吸臂代理廠家

在運動臂上加裝滾動軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運動輕快,、平穩(wěn),。茂名庫存晶圓運送機械吸臂代理廠家

    6)自適應(yīng)控制。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng),。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù),。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設(shè)計?？刂破鞯脑O(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應(yīng)控制設(shè)計,。通過狀態(tài)轉(zhuǎn)換將系統(tǒng)分成兩個子系統(tǒng)。用自適應(yīng)控制和魯棒控制分別對兩個子系統(tǒng)進行控制,。7)PID控制,。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應(yīng)用的控制器,由于其簡單、有效,、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調(diào)整控制器增益構(gòu)成自校正PID控制器或與其它控制方法結(jié)合構(gòu)成復(fù)合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能,。8)變結(jié)構(gòu)控制。變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑?？刂剖?*普遍的變結(jié)構(gòu)控制,。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質(zhì)。變結(jié)構(gòu)控制器的設(shè)計,不需要機械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構(gòu)造一個控制器,。 茂名庫存晶圓運送機械吸臂代理廠家

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