晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性,。首先,，它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過程中,，晶圓需要經(jīng)過多個(gè)工序的加工,，如光刻、刻蝕,、沉積,、摻雜等，每個(gè)工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行,。機(jī)械吸臂能夠快速,、準(zhǔn)確地將晶圓在各個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行搬運(yùn)，減少了晶圓在生產(chǎn)線上的停留時(shí)間,，提高了生產(chǎn)效率,。如果吸臂的性能不穩(wěn)定或出現(xiàn)故障，將會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)線的停頓,，嚴(yán)重影響生產(chǎn)進(jìn)度和產(chǎn)量,。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的不斷發(fā)展和創(chuàng)新是推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步的重要?jiǎng)恿χ弧Ｊ直刍剞D(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的,。云浮正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格優(yōu)惠

晶圓作為半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵材料,，其表面質(zhì)量和完整性直接決定了芯片的性能和可靠性。機(jī)械吸臂在搬運(yùn)晶圓過程中,，必須要保證晶圓不受任何損傷和污染,。任何微小的劃痕、顆粒污染或靜電放電都可能導(dǎo)致晶圓報(bào)廢,，從而增加生產(chǎn)成本,。因此,，高精度、高可靠性的機(jī)械吸臂是確保晶圓質(zhì)量和成品率的重要保障,。此外,，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，芯片制造工藝越來越復(fù)雜,，晶圓尺寸也不斷增大,，對晶圓搬運(yùn)的精度和穩(wěn)定性要求也越來越高。例如,，在先進(jìn)的集成電路制造工藝中,，晶圓的線寬已經(jīng)達(dá)到納米級別，這就要求機(jī)械吸臂在搬運(yùn)晶圓時(shí)的定位精度要達(dá)到亞微米甚至更高的級別,。蘇州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠機(jī)械手的運(yùn)動(dòng)速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來決定的,，但不宜盲目追求高速度。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記，提高了晶圓的合格率,。通用性強(qiáng),，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好,，便于維修調(diào)整,。

整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價(jià)比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動(dòng)器。Dual axis module同時(shí)驅(qū)動(dòng)2臺直驅(qū)電機(jī),，Single axis module驅(qū)動(dòng)1臺升降直流電機(jī),。雙軸模塊式驅(qū)動(dòng)器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時(shí)間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持盡管它們的形態(tài)各有不同,，但它們都有一個(gè)共同的特點(diǎn)，就是能夠接受指令.

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度,、高精度、高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。云浮正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格優(yōu)惠

柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng),，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性、強(qiáng)耦合,、實(shí)變等特點(diǎn),。云浮正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格優(yōu)惠

與剛性機(jī)械臂相比較，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,，有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),，在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位,。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求,。柔性機(jī)械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。 云浮正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格優(yōu)惠

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