場景是新技術應用中的重要一環(huán),,場景越多意味著應用的廣大性和未來的期望空間越大,,而如果一款技術誕生沒有實際的應用場景,,即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,,這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的,。
機械手臂的應用場景有哪些呢,?它的應用特點十分明顯,,主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型,、重復性高的動作,。如果工作場景符合上述兩個特點,機械手臂都可以得到應用,。
機械手臂應用場景多在制造業(yè),,有重工業(yè)屬性,如金屬加工,、拋光打磨,、裝配、機床上下料,、碼垛/搬運,、橡膠/塑料、分揀等,。 其特征在于:所述機械臂包括內(nèi)部具有真空腔體的鋁合金平板.銷售晶圓運送機械吸臂設計
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道,;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,,故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,,提高了晶圓的合格率,。銷售晶圓運送機械吸臂設計隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個柔性構件組成的多柔體系統(tǒng),。
背景技術:
晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術,,其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業(yè)。例如,,準備對晶圓進行刻蝕加工時,,需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內(nèi)。
現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂,,該機械手臂的表面設有卡槽,,晶圓用于放置在該卡槽內(nèi),,以防止機械手臂在傳送晶圓時發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機械手臂運動)。然而,,現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,,另外,機械手臂的傳送晶圓效率較低,,影響了生產(chǎn)效率,。
輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成,。在本說明書中,,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,,上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸,,上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且,,前臂連桿的另一端連結于手部,。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關節(jié)而連結。前臂連桿和手部也經(jīng)由關節(jié)而連結,。在各個關節(jié)處安裝有軸承,,以便使連桿順暢地旋轉。在輸送半導體晶圓的機械手中,,為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽(shield)安裝于關節(jié)的軸承,。設備具備穩(wěn)定的運行性能,可長時間連續(xù)工作,。
區(qū)熔法分為兩種:水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法,。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長,;后者主要用于硅,。為什么有橫著和豎著長的不同捏?這是由于硅的熔點高,,化學性能活潑,,容易受到異物的玷污,所以難以找到適合的器皿來盛方,,自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦,。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于:區(qū)熔法一般不使用坩鍋,引入的雜質(zhì)更少,,生長的材料雜質(zhì)含量也就更少,。總而言之,單晶硅棒是圓柱形的,,使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了,。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎?Bingo,,圖左的尖尖是籽晶,,圖右的尖尖是晶棒長到***,從熔融態(tài)里出來后,,由于復雜的流體力學原理,,以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導致的。 手臂回轉升降機構就是機械臂在升降的同時也可以旋轉的,。中山新款晶圓運送機械吸臂怎么聯(lián)系
如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側向扭轉變形.銷售晶圓運送機械吸臂設計
一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,,故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,,晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,提高了晶圓的合格率,。通用性強,,能適應多種作業(yè);工藝性好,,便于維修調(diào)整,。銷售晶圓運送機械吸臂設計
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