可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,，檢測設(shè)備等的晶圓搬運。

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 采用高精度傳感器,，確保晶圓在運送過程中的安全性。河源晶圓運送機械吸臂聯(lián)系人

    環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實,，除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外,，還有以下3條其他的決定因素：2??有人計算過，比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,，考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的,，算算就知道正方形浪費的使用面積比率是比圓型高的。所以,，圓形是等周長時表面積做大的二維圖形,，加工時能夠充分利用原料，在一片晶圓上能分出**多的芯片,。3??在實際的加工制成當(dāng)中,，圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求，可以想象一下,，在圓型晶圓表面可以通過旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating,，事實上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層，但其它形狀的晶圓呢,？不可能或非常難,，可以的話也是成本很高。 汕尾本地晶圓運送機械吸臂公司手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧,，才能做手臂運動輕快,、靈活。

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件,，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot),。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低,。后者將晶圓從預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上取下,，搬運到各個工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運到接口位置,，等待大氣機械手放回晶圓盒,。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,，控制精度和可靠性要求極高,。

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制,。2臺直驅(qū)電機負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負(fù)責(zé)整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機,，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機,。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持圖為單軸機械手臂。單軸機械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計的成本.

    基因決定”——生長方法導(dǎo)致若要回答這個問題,，首先要說一個大約有100余年歷史的原因,。,。。1918年,，前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法,，簡稱CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長,、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉,。這個階段主要是通過溶解,、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅,。接下來是單晶硅生長工藝,。就是從硅熔體中生長出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中,，在保護(hù)性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠,。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型，直徑從3英寸到十幾英寸不等,。硅錠經(jīng)過切片,、拋光之后，就得到了單晶硅圓片,，也即晶圓,。 機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取,、搬運物件或操作工具的自動操作裝置,。汕尾本地晶圓運送機械吸臂公司

實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。河源晶圓運送機械吸臂聯(lián)系人

多功能一體化機械臂,，包括機械臂主體,，所述機械臂主體由設(shè)置在該機械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,，該種多功能一體化機械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點，本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低,、占地面積較小和驅(qū)動充足的特點,，本機械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的，實現(xiàn)了占地面積小的特點,，且在生產(chǎn)過程中由于體積較小,，廠家生產(chǎn)成本費較低，同時工人在使用時,，移動較為方便,，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,，實現(xiàn)了本新型機械臂驅(qū)動充足的特點,，在使用過程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細(xì)不會河源晶圓運送機械吸臂聯(lián)系人

深圳市德澳美精密制造有限公司擁有很好的服務(wù)與產(chǎn)品,，不斷地受到新老用戶及業(yè)內(nèi)人士的肯定和信任,。我們公司是全網(wǎng)商盟認(rèn)證會員，點擊頁面的商盟客服圖標(biāo),，可以直接與我們客服人員對話,，愿我們今后的合作愉快！