半導(dǎo)體行業(yè),，尤其是集成電路領(lǐng)域,，晶圓的身影隨處可見(jiàn),。

晶圓就是一塊薄薄的,、圓形的高純硅晶片,，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

眼前這密密麻麻的元器件,，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩,、方方正正的,。可見(jiàn),，晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的,。

所以疑問(wèn)?來(lái)了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”,，而不做成“晶方”,？

要解釋這個(gè)問(wèn)題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”,；另一方面是“環(huán)境造成的”,。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

手臂一般有3個(gè)運(yùn)動(dòng)：伸縮,、旋轉(zhuǎn)和升降.珠海正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 廣東進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理在運(yùn)動(dòng)臂上加裝滾動(dòng)軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運(yùn)動(dòng)輕快,、平穩(wěn),。

多功能一體化機(jī)械臂，包括機(jī)械臂主體,，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座,、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，本機(jī)械臂*由底座,、前臂和后臂構(gòu)成的，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),，且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,，廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低，同時(shí)工人在使用時(shí),，移動(dòng)較為方便,，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚,。 手臂上的零部件，如油缸,、導(dǎo)向桿,、控制件等都安裝在手臂上。

機(jī)械臂的工作原理：

一般機(jī)構(gòu)可由電力,、液壓,、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng),。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺(tái)虎鉗）,、斜鍥壓緊、

導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）,、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等,。還有簡(jiǎn)單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品,，可直接購(gòu)買FESTO等公司的氣動(dòng)手指,。

底座是用來(lái)安裝和固定機(jī)器的。

油箱是裝潤(rùn)滑油或液壓油循環(huán)的,。

升降位置檢測(cè)器,，要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置，要么是實(shí)時(shí)檢測(cè)其高度的,。

手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的,。

手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器，只是測(cè)量對(duì)象換了,。

機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動(dòng)作功能,，用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動(dòng)操作裝置,。 對(duì)于粉塵作業(yè)的機(jī)械手還要添裝防塵設(shè)施,。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng)，慣性要小.珠海正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng),，**常用的方法叫直拉法（CZ法）,。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中,，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,，溫度維持在大約1400 ℃,，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化,，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅,，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn),，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn),，同時(shí)慢慢地,、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端,，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長(zhǎng)上去,。因此所生長(zhǎng)的晶體的方向性是由籽晶所決定的，在其被拉出和冷卻后就生長(zhǎng)成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒,。珠海正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

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