一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率,。通用性強(qiáng),，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好,，便于維修調(diào)整,。手臂就要產(chǎn)生振動，或動作時(shí)工件卡死無法工作,。江門官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

自動化方面,，機(jī)械吸臂將與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備和自動化生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)更緊密的集成，實(shí)現(xiàn)整個生產(chǎn)過程的全自動化運(yùn)行,。通過與工廠的自動化控制系統(tǒng)進(jìn)行無縫對接,，吸臂可以按照預(yù)設(shè)的生產(chǎn)流程和任務(wù)計(jì)劃，自動完成晶圓的搬運(yùn),、上下料等操作,，無需人工干預(yù)，極大提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性,。網(wǎng)絡(luò)化方面,，借助物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和管理,。操作人員可以通過網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)程對吸臂的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測,、數(shù)據(jù)分析和故障診斷，及時(shí)采取相應(yīng)的措施進(jìn)行維護(hù)和管理,。同時(shí),，網(wǎng)絡(luò)化的吸臂還可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程升級和優(yōu)化，方便制造商對設(shè)備進(jìn)行技術(shù)更新和改進(jìn),，提高設(shè)備的適應(yīng)性和競爭力,。江門官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。

電動式 電力驅(qū)動是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式,。其特點(diǎn)是電源方便,，響應(yīng)快，驅(qū)動力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤）,，信號檢測,、傳遞,、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案,。驅(qū)動電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī),，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動形式）。由于電機(jī)速度高,，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動,、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動,、螺旋行動和多桿式機(jī)構(gòu)等）,。目前，有些機(jī)械臂已開始采用無減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩,、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動（DD）,，這既可以使機(jī)構(gòu)簡化，又可提高控制精度,。二,、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣，一般只需點(diǎn)位控制,。即被搬運(yùn)零件無嚴(yán)格的運(yùn)動軌跡要求,，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人,，工件堆垛機(jī)械臂，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等,。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過程中至關(guān)重要的設(shè)備組件,，它專門用于精確、可靠地搬運(yùn)晶圓,。晶圓作為半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料,，其制造過程對環(huán)境和操作的精度要求極高，任何微小的污染或損傷都可能導(dǎo)致芯片性能下降甚至報(bào)廢,。機(jī)械吸臂在這個過程中扮演著“晶圓搬運(yùn)工”的關(guān)鍵角色,，確保晶圓在不同工序和設(shè)備之間安全、準(zhǔn)確地傳遞,。它通常由高精度的機(jī)械結(jié)構(gòu),、先進(jìn)的傳感系統(tǒng)和智能的控制系統(tǒng)組成。能夠在微觀尺度上實(shí)現(xiàn)對晶圓的精確操作,，同時(shí)要適應(yīng)半導(dǎo)體制造車間的超凈環(huán)境和嚴(yán)格的工藝要求,。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，晶圓尺寸不斷增大,，制造工藝愈發(fā)復(fù)雜,，對晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的性能和可靠性也提出了更高的要求,。手臂一般有3個運(yùn)動：伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn),。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對運(yùn)動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 對于粉塵作業(yè)的機(jī)械手還要添裝防塵設(shè)施,。清遠(yuǎn)正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)

圖為單軸機(jī)械手臂。單軸機(jī)械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本.江門官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中的各個環(huán)節(jié),，如薄膜沉積,、光刻、蝕刻,、清洗,、檢測等。具體應(yīng)用舉例如下：

薄膜沉積：在薄膜沉積設(shè)備中,，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂負(fù)責(zé)將晶圓從裝載室傳送至沉積室,，以及在沉積完成后將晶圓送回裝載室。

光刻：在光刻設(shè)備中,，吸臂需將晶圓精確傳送至光刻機(jī)工作臺,，確保晶圓在曝光過程中的穩(wěn)定性和精度。

蝕刻：在蝕刻設(shè)備中,，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂需將晶圓傳送至蝕刻室,，并在蝕刻完成后將其送回清洗設(shè)備。

清洗和干燥：在清洗和干燥設(shè)備中,，吸臂負(fù)責(zé)將晶圓傳送至清洗槽,，以及在清洗和干燥完成后將其送回下一工藝環(huán)節(jié)。

檢測：在檢測設(shè)備中,，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂需將晶圓傳送至檢測臺,，確保檢測過程中的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。 江門官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

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