本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度,。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,，維護方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設備要求,，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題,，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸,，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié),，所述的伸展電機、所述的一級關節(jié),、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動,。 單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應用***,。珠海晶圓運送機械吸臂企業(yè)

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,，而成為有特定電性功能的集成電路產品。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉，**化,，并經蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.9%,。 汕頭晶圓運送機械吸臂代理價錢吸臂采用靜電除塵技術,，保證晶圓表面的清潔度。

本發(fā)明涉及一種半導體制造技術,，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術：

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,，在傳送的過程中,，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展,，設備處理的工藝越來越復雜,，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度,。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備,。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,，該真空吸附機械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,，提高了晶圓的合格率,。通用性強，能適應多種作業(yè),；工藝性好,，便于維修調整。關節(jié)式機械手因其結構復雜,。

    環(huán)境決定”——技術發(fā)展導致其實,，除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外，還有以下3條其他的決定因素：2??有人計算過,，比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,，考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的，算算就知道正方形浪費的使用面積比率是比圓型高的,。所以,，圓形是等周長時表面積做大的二維圖形，加工時能夠充分利用原料,，在一片晶圓上能分出**多的芯片,。3??在實際的加工制成當中，圓形的物體比較便于生產操作,。圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求，可以想象一下,，在圓型晶圓表面可以通過旋轉涂布法(spincoating,，事實上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層,，但其它形狀的晶圓呢？不可能或非常難,，可以的話也是成本很高,。 手臂的結構要緊湊小巧，才能做手臂運動輕快,、靈活,。中山晶圓運送機械吸臂怎么聯(lián)系

實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性。珠海晶圓運送機械吸臂企業(yè)

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構造模塊,。TO-DOM由兩個旋轉模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成,。根據(jù)空間機械臂的具體構型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構型的二自由度關節(jié)。由這樣數(shù)個不同構型的二自由度關節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個自由度的空間機器臂,。采用一體化概念設計的TODOM減小了關節(jié)的質量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性,。通過對由TODOM構成的一套二自由度關節(jié)進行的試驗初步驗證了TODOM設計概念的合理性及可行性。珠海晶圓運送機械吸臂企業(yè)

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