傳感系統(tǒng)是晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂實(shí)現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵,。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”,，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài),，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋,。在位置和姿態(tài)檢測(cè)方面,，通常采用高精度的編碼器,、陀螺儀和激光傳感器等,。編碼器可以精確測(cè)量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位移，從而確定吸臂在空間中的位置坐標(biāo),。陀螺儀則用于監(jiān)測(cè)吸臂的旋轉(zhuǎn)速度和方向變化,，幫助控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)調(diào)整運(yùn)動(dòng)姿態(tài)，確保吸臂的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)和準(zhǔn)確,。激光傳感器可以對(duì)周?chē)h(huán)境進(jìn)行掃描和測(cè)距,，輔助吸臂在復(fù)雜的工作場(chǎng)景中避開(kāi)障礙物，實(shí)現(xiàn)安全的晶圓搬運(yùn),。工業(yè)機(jī)械臂距離高精度的智能制造還有很長(zhǎng)一段路要走,。汕尾正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性。首先,，它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運(yùn)行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,，晶圓需要經(jīng)過(guò)多個(gè)工序的加工,，如光刻、刻蝕,、沉積,、摻雜等，每個(gè)工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行,。機(jī)械吸臂能夠快速,、準(zhǔn)確地將晶圓在各個(gè)設(shè)備之間進(jìn)行搬運(yùn)，減少了晶圓在生產(chǎn)線上的停留時(shí)間,，提高了生產(chǎn)效率,。如果吸臂的性能不穩(wěn)定或出現(xiàn)故障,，將會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)線的停頓，嚴(yán)重影響生產(chǎn)進(jìn)度和產(chǎn)量,。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的不斷發(fā)展和創(chuàng)新是推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步的重要?jiǎng)恿χ?。本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門(mén)服務(wù)手臂。起著連接和承受外力的作用,。

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度,、柔性化程度要求也越來(lái)越高,，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手,。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè),，尤其是集成電路領(lǐng)域,，晶圓的身影隨處可見(jiàn)。

晶圓就是一塊薄薄的,、圓形的高純硅晶片,，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件,，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的,?？梢?jiàn)，晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的,。

所以疑問(wèn)?來(lái)了——硅片為什么要做成圓的,？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”,？

要解釋這個(gè)問(wèn)題,，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”,。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

觸手內(nèi)部分為許多小格子,，通過(guò)壓縮空氣流動(dòng)來(lái)做出各種動(dòng)作,，可以毫無(wú)傷害的握起螞蟻的腰部。

    控制策略對(duì)柔性機(jī)械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理,。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對(duì)結(jié)構(gòu)剛體運(yùn)動(dòng)的影響,。例如為了避免過(guò)大的彈性變形破壞柔性機(jī)械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運(yùn)動(dòng)的比較大角速度為。2)前饋補(bǔ)償法,。將機(jī)械臂柔性變形形成的機(jī)械振動(dòng)看成是對(duì)剛性運(yùn)動(dòng)的確定性干擾而采用前饋補(bǔ)償?shù)霓k法來(lái)抵消這種干擾,。德國(guó)的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機(jī)器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點(diǎn)來(lái)消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點(diǎn)和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計(jì)了具有時(shí)間延時(shí)的前饋控制器和PID控制器比較起來(lái)可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動(dòng),。SeeringWarrenP。等學(xué)者對(duì)前饋補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了深入的研究,。 手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的,。廣東進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

該機(jī)械臂由用戶的頭腦完全控制，靈巧到足以拿起一個(gè)玻璃杯，在沒(méi)有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料,。汕尾正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的,，可重復(fù)編程、多用途,，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程,。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”,。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器,，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度,，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）,。”所以對(duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置,；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。 汕尾正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

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