進(jìn)行光刻：

將設(shè)計(jì)好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer,，這一刻,，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖,。然后將光刻膠去除,，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進(jìn)行再次光刻,。一般來說一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻,。而隨著技術(shù)革新，極紫光刻出現(xiàn)了,，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高,，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成。

注射：

在真空下,，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部,。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手,、塑料機(jī)機(jī)械手,。汕尾庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

2．噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上，重復(fù)位姿精度要求不高,。但由于漆霧易燃,，一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。3．焊接機(jī)械臂 這是目前使用**多的一類機(jī)械臂,，它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類,。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí)，許多人會(huì)想到有手,，有腳的人型機(jī)械.不過,， 這類機(jī)械人往往出現(xiàn)在科幻電影，***所,，展覽會(huì)和玩具店中,，它們與工業(yè)用的機(jī)械人大不相同. 工業(yè)機(jī)械人（Industrial Robots）簡(jiǎn)稱為IR，它們大多為簡(jiǎn)單的操作設(shè)備,，有時(shí)會(huì)被稱為機(jī)械臂,，例如：進(jìn)行簡(jiǎn)單的提起或放下動(dòng)作，在機(jī)器內(nèi)放入或取出工件等.不過，亦有不少工業(yè)機(jī)械人可以完全用程式控制,，并可進(jìn)行不同類型工作,，深圳正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)圖為單軸機(jī)械手臂。單軸機(jī)械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本.

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓,。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上,，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地,，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地,，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布,。

整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制,。2臺(tái)直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺(tái)直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少,，但對(duì)控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對(duì)客戶的需求,，Copley給出了性價(jià)比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動(dòng)器,。Dual axis module同時(shí)驅(qū)動(dòng)2臺(tái)直驅(qū)電機(jī)，Single axis module驅(qū)動(dòng)1臺(tái)升降直流電機(jī)。雙軸模塊式驅(qū)動(dòng)器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時(shí)間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持真空腔體開口于所述鋁合金平板上表面.

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比,，蛙腿型機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)更簡(jiǎn)單,，剛性更高，且工作效率更高,。如上圖所示,，蛙腿型機(jī)械手手臂為對(duì)稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對(duì)大臂和2對(duì)小臂,。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,，大臂末端通過4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對(duì)小臂，2對(duì)小臂的末端又通過2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤,。 該機(jī)械手雖然只有3個(gè)電機(jī),，但水平連桿卻有10個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對(duì)整個(gè)真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個(gè)復(fù)雜的過程一般也都裝在手臂上,。所以手臂的結(jié)構(gòu),、工作范圍、承載能力和動(dòng)作精度都直接影響機(jī)械手的工作性能,。汕尾庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來確定,，其誤差是積累誤差，因而精度較差,，其位置精度也更難保證,。汕尾庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響，兩市**小幅低開,，低開后的市場(chǎng)在抄底盤和北上資金的推動(dòng)下震蕩走高,，早間收盤全線收漲，午后在科技板塊的帶動(dòng)下市場(chǎng)繼續(xù)震蕩走高,，**終兩市**以中陽報(bào)收,。

昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢(shì),，果不其然***出現(xiàn)了此消彼長(zhǎng)的情形,。

盤面上看，市場(chǎng)***科技股再度走強(qiáng),，以大基金持有的科技股繼續(xù)**著相關(guān)題材概念和板塊進(jìn)行做多,，北上資金***依舊大幅凈流入，市場(chǎng)短期做多的因素和動(dòng)能正在疊加,。

盤后出了條消息,，“中方不會(huì)坐視不理美科技霸凌主義”，先機(jī)哥由此猜測(cè)市場(chǎng)短期的反彈將還是延著科技股這條主線,，畢竟帶動(dòng)市場(chǎng)人氣方面沒有哪個(gè)板塊比科技股更適合,。

昨晚提醒大家關(guān)注的科遠(yuǎn)智慧，***低開高走收大陽，開盤后水下潛入的朋友也有7個(gè)點(diǎn)的收獲,，該股短期有望突破創(chuàng)新高,。

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