為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸,，有效的避免了在運輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗,。而且,，請仔細回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎,？非也,！在硅棒做出來后，在200mm以下的硅棒上是切割一個平角,，叫Flat,。在200mm（含）以上硅棒上，為了減少浪費,，只裁剪個圓形小口,，叫做Notch。***再進行切片,，得到的晶圓如下,。那么，這個小豁口是做什么用的呢,？很容易想到——定位,。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時候也不容易出錯了,。所以,，為什么“晶圓”沒有方的,？？,？答案很簡單,，是一個歷史遺留的問題，也是一個技術(shù)限制的問題,。而且,，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～。 操作機又定義為“是一種機器,，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。湛江原裝晶圓運送機械吸臂批發(fā)

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題,，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊,，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓,。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上,，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地,，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。

可選地，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。

可選地,，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,，各個所述絨毛墊之間間隔排布。 惠州原裝晶圓運送機械吸臂設(shè)計普遍認為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體,，可以實現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性,。

主體部分通常采用強度高、輕質(zhì)的材料，如鋁合金或碳纖維復(fù)合材料,，以確保在保證結(jié)構(gòu)強度的同時減輕自身重量,，減少運動慣性，提高操作的靈活性和響應(yīng)速度,。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過精心設(shè)計,，以適應(yīng)不同尺寸晶圓的搬運需求。一般具有多個關(guān)節(jié)和自由度,，能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運動,，類似于人類手臂的關(guān)節(jié)活動。例如,，常見的多關(guān)節(jié)機械吸臂可以在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn),、伸展、彎曲等動作,，確保晶圓能夠準(zhǔn)確地從一個位置移動到另一個位置，無論是在光刻機,、刻蝕機等設(shè)備之間的轉(zhuǎn)移,，還是在晶圓存儲盒與加工設(shè)備之間的傳送，都能精確無誤,。

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,，在傳送的過程中，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度,、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手,。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

通用性強，能適應(yīng)多種作業(yè),；工藝性好,，便于維修調(diào)整。

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運,。

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 在運動臂上加裝滾動軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運動輕快,、平穩(wěn)?；葜菰b晶圓運送機械吸臂設(shè)計

吸臂采用靜電除塵技術(shù),，保證晶圓表面的清潔度。湛江原裝晶圓運送機械吸臂批發(fā)

背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù),，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業(yè),。例如，準(zhǔn)備對晶圓進行刻蝕加工時,，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內(nèi),。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂，該機械手臂的表面設(shè)有卡槽,，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi),，以防止機械手臂在傳送晶圓時發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機械手臂運動)。然而,，現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，另外，機械手臂的傳送晶圓效率較低,，影響了生產(chǎn)效率,。

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