場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán),，場(chǎng)景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景,，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,，這對(duì)它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢,？它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯,，主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作,。如果工作場(chǎng)景符合上述兩個(gè)特點(diǎn),，機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。

機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè),，有重工業(yè)屬性,，如金屬加工、拋光打磨,、裝配,、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn),、橡膠/塑料,、分揀等。 機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè),。湛江進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī),、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng),。 山東原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂采用先進(jìn)的吸附技術(shù)，可穩(wěn)定地吸附晶圓,。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂主要由以下幾個(gè)部分組成：

吸盤：用于吸附晶圓,，通常采用真空吸附原理。吸盤材料應(yīng)具有耐磨,、耐腐蝕,、低粒子產(chǎn)生等特性，以保證晶圓表面不受污染,。

機(jī)械臂：用于支撐和移動(dòng)吸盤,，實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的傳送。機(jī)械臂應(yīng)具有高精度,、高穩(wěn)定性和高剛性等特點(diǎn)，以確保晶圓在傳送過程中的精確定位和平穩(wěn)運(yùn)輸,。

傳動(dòng)系統(tǒng)：為機(jī)械臂提供動(dòng)力,，實(shí)現(xiàn)吸臂的伸縮、旋轉(zhuǎn)等動(dòng)作,。傳動(dòng)系統(tǒng)通常采用電機(jī),、減速器、傳動(dòng)帶等部件組成,，確保吸臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性,。

控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)控制機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡、速度和加速度等參數(shù)?？刂葡到y(tǒng)一般采用先進(jìn)的伺服控制技術(shù)和高精度傳感器,，實(shí)現(xiàn)吸臂的高精度定位和穩(wěn)定運(yùn)行。

車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手,、上下料機(jī)械手,，車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過程的完全自動(dòng)化，并采用了集成加工技術(shù),，適用于生產(chǎn)線的上下料,、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等,。在國內(nèi)的機(jī)械加工,， 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式， 這在產(chǎn)品比較單一,、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的,， 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展， 科技的日益進(jìn)步,， 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快,， 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn)， 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜,、維修不便,， 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn)；另一方面,， 它的柔性不夠,， 難以適應(yīng)日益加快的變化，不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整,；其次,， 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加， 容易產(chǎn)生工傷事故,， 效率也比較低下,， 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠， 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求,。 合理選擇機(jī)械手的坐標(biāo)形式,。直角坐標(biāo)式機(jī)械手的位置精度較高，其結(jié)構(gòu)和運(yùn)動(dòng)都比較簡(jiǎn)單,、誤差也小,。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化,，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.9%,。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。 柔性機(jī)械臂在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。南京進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)

X移動(dòng),，Y移動(dòng),，Z移動(dòng)組成，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動(dòng),，Y轉(zhuǎn)動(dòng),，Z轉(zhuǎn)動(dòng)可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點(diǎn)。湛江進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地，所述表面為平面。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 湛江進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商

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