電鍍:
到這一步,,晶圓基本上就完成了,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極,。
拋光:
然后將Wafer進(jìn)行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了,。
切割:
對(duì)晶圓進(jìn)行切割,,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的,。
測試:
測試分為三大類:功能測試,、性能測試、抗老化測試,。大致測試模式如下:接觸測試,、功耗測試、輸入漏電測試,、輸出電平測試,、動(dòng)態(tài)參數(shù)測試、模擬信號(hào)參數(shù)測試等等,。全部測試都通過的,,就是正片;部分測試未通過,,但正常使用無礙,,這是白片;未開始測試,,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,,這是黑片。
該機(jī)械臂由用戶的頭腦完全控制,,靈巧到足以拿起一個(gè)玻璃杯,,在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料。湛江原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家
多功能一體化機(jī)械臂,,包括機(jī)械臂主體,,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,,該種多功能一體化機(jī)械臂,,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),,本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),,本機(jī)械臂*由底座,、前臂和后臂構(gòu)成的,實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),,且在生產(chǎn)過程中由于體積較小,,廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低,同時(shí)工人在使用時(shí),,移動(dòng)較為方便,,設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,,實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),,在使用過程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細(xì)不會(huì)上海正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修電話越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè),。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問題,,本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。
可選地,,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上,。
可選地,,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。
可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。
可選地,,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。
可選地,,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。
可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,,各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布,。
半導(dǎo)體晶圓有時(shí)在處理室內(nèi)暴露在高溫中,。因此,機(jī)械手有時(shí)輸送高溫的半導(dǎo)體晶圓,。若高溫的半導(dǎo)體晶圓與手部接觸,,則手部的溫度上升,并且配置在前臂連桿與手部之間的關(guān)節(jié)的溫度也上升,。由此,,安裝于關(guān)節(jié)的軸承的溫度上升。軸承的溫度上升促進(jìn)該軸承內(nèi)的潤滑劑的劣化,。因此,與配置在上臂連桿與前臂連桿之間的關(guān)節(jié)的軸承相比,,配置在前臂連桿和手部之間的關(guān)節(jié)的軸承的維護(hù)頻率較高,。晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,,故稱為晶圓,;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。
晶圓的原始材料是硅,,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,,**化,,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,,其純度高達(dá)99.9%,。
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個(gè)主自由度。
隨著半導(dǎo)體制造工藝向更小尺寸,、更高集成度的方向發(fā)展,,對(duì)機(jī)械吸臂的精度和穩(wěn)定性要求越來越高。在納米級(jí)的制造工藝中,,吸臂的微小振動(dòng),、位置偏差或吸附力不均勻都可能對(duì)晶圓造成嚴(yán)重影響。因此,,如何進(jìn)一步提高吸臂的運(yùn)動(dòng)精度和穩(wěn)定性,,減少各種誤差因素的影響,是當(dāng)前面臨的一個(gè)重要挑戰(zhàn),。半導(dǎo)體制造車間的環(huán)境要求極為嚴(yán)格,,需要在超凈,、恒溫、恒濕的條件下進(jìn)行生產(chǎn),。機(jī)械吸臂在這樣的環(huán)境中運(yùn)行,,需要具備良好的防塵、防靜電,、耐腐蝕等性能,。同時(shí),為了滿足不同工藝設(shè)備的接口要求和工作空間限制,,吸臂的設(shè)計(jì)還需要具備更高的靈活性和兼容性,。如何在滿足這些復(fù)雜環(huán)境和工藝要求的前提下,保證吸臂的可靠性和使用壽命,,也是需要解決的關(guān)鍵問題,。臂應(yīng)承載能力大、剛性好,、自重輕.湛江原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家
單軸機(jī)械手臂作為一個(gè)組件在工業(yè)中應(yīng)用***,。湛江原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家
使用匯編語言編寫計(jì)算機(jī)程序,程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),,所以從程序設(shè)計(jì)本身上來看仍然是低效率的,、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,,在某些特定的場合,,如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具,。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn),。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類。一,、按驅(qū)動(dòng)方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)(各種油缸,、油馬達(dá))、伺服閥,、油泵,、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作,。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),,其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,動(dòng) 作平穩(wěn),,耐沖擊,,耐振動(dòng),防爆性好,但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,,否則漏油將污染環(huán)境,。2.氣動(dòng)式 其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常由氣缸、氣閥,、氣罐和空壓機(jī)組成,,其特點(diǎn)是氣源方便,動(dòng)作迅速,、結(jié)構(gòu)簡單,、造價(jià)較低、維修方便,。但難以進(jìn)行速度控制,,氣壓不可太高,故抓舉能力較低,。湛江原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家
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