背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù),，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業(yè),。例如,，準備對晶圓進行刻蝕加工時，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內(nèi),。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂,，該機械手臂的表面設(shè)有卡槽,，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi)，以防止機械手臂在傳送晶圓時發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機械手臂運動),。然而,，現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，另外,，機械手臂的傳送晶圓效率較低,，影響了生產(chǎn)效率,。

直角坐標系機械手臂有三個主自由度。浙江進口晶圓運送機械吸臂

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),，所述的伸展電機,、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運動,。

揭陽正規(guī)晶圓運送機械吸臂價格信息柔性機械臂不只是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng)，也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合的非線性系統(tǒng),。

晶圓運送機械吸臂的高速度和高精度,，能夠滿足封裝和測試過程中對運輸速度和精度的要求。光刻和薄膜沉積：在光刻和薄膜沉積過程中,，晶圓運送機械吸臂被用于將晶圓從一個工序轉(zhuǎn)移到另一個工序,。它能夠?qū)⒕A準確地吸附在機械臂上，并將其運送到光刻機或薄膜沉積設(shè)備上,，以完成后續(xù)的光刻和薄膜沉積工作,。晶圓運送機械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能，能夠確保光刻和薄膜沉積過程中的精確定位和穩(wěn)定運輸,。

晶圓運送機械吸臂在半導(dǎo)體行業(yè)中扮演著重要的角色,。它的應(yīng)用范圍廣，能夠滿足不同工序的晶圓運輸需求。晶圓運送機械吸臂的高精度,、高速度和穩(wěn)定性能，能夠提高生產(chǎn)效率,，保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全,。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，晶圓運送機械吸臂的應(yīng)用前景將更加廣闊,。

晶圓運送機械吸臂的機械結(jié)構(gòu)設(shè)計精巧且復(fù)雜,。為了保證晶圓在搬運過程中的穩(wěn)定性，吸臂的末端通常配備有專門設(shè)計的晶圓吸附裝置,。這些吸附裝置采用真空吸附原理,，通過在晶圓表面形成負壓，將晶圓牢固地吸附在吸臂上,。吸附裝置的吸盤材質(zhì)通常選用柔軟,、高彈性且無污染的材料，如硅膠等,，既能確保足夠的吸附力,，又不會對晶圓表面造成損傷。同時,，吸盤的形狀和布局也經(jīng)過優(yōu)化,，以保證晶圓受力均勻，避免在吸附和搬運過程中產(chǎn)生翹曲或破裂等問題,。對于工業(yè)應(yīng)用來說,，有時并不需要機械手臂具有完整的六個自由度.

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺,、GaAs等材料的提純和單晶生長,；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏,？這是由于硅的熔點高,，化學(xué)性能活潑，容易受到異物的玷污,，所以難以找到適合的器皿來盛方,，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋,，引入的雜質(zhì)更少,，生長的材料雜質(zhì)含量也就更少?？偠灾?，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎,？Bingo,，圖左的尖尖是籽晶,，圖右的尖尖是晶棒長到***,，從熔融態(tài)里出來后,，由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的,。 主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型,、重復(fù)性高的動作,。汕尾晶圓運送機械吸臂工廠

手臂就要產(chǎn)生振動，或動作時工件卡死無法工作,。浙江進口晶圓運送機械吸臂

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制,。2臺直驅(qū)電機負責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負責(zé)整個機械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少,，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機,，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持浙江進口晶圓運送機械吸臂

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