本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中,，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度,、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手,。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。浙江進口晶圓運送機械吸臂廠商

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機械手,。具體地,，該機械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出,。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室,。機械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動,。傳送室相當于小的無塵室,。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔,。另外,，傳送室內(nèi)有時被保持為真空。要求使在傳送室內(nèi)工作的機械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法,。山東官方晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家運動元件,。如油缸、氣缸,、齒條,、凸輪等是驅(qū)動手臂運動的部件,。

沖床行業(yè)機械臂又名沖床行業(yè)機械手、沖床沖壓機械手,，它是用于沖床行業(yè)專門用的機械臂,，沖床沖壓機械手能按照預(yù)選程序自動完成幾個規(guī)定的動作，實現(xiàn)物體的自動夾取和運送,。在沖壓生產(chǎn)中,，它不僅用于一臺壓力機上完成上下料工作，實現(xiàn)單機自動化,，也可以用在由若干臺壓力機組成的流水生產(chǎn)線上,，實現(xiàn)各壓力機之間工件的自動傳遞，形成自動沖壓生產(chǎn)線,。由于機械手能方便地改變工作程序,，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中，對于實現(xiàn)生產(chǎn)自動化更具有重要意義,。沖床沖壓機械手由執(zhí)行機構(gòu),、驅(qū)動機構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。

晶圓運送機械吸臂具有高度的安全性,。它采用了多重安全保護措施,，如防止晶圓滑落的吸盤設(shè)計、防止碰撞的傳感器等,，有效地保護了晶圓的安全,。此外，晶圓運送機械吸臂還具有防靜電功能,，避免了靜電對晶圓的損害,，保證了產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。晶圓運送機械吸臂具有高度的靈活性和適應(yīng)性,。它可以根據(jù)不同的晶圓尺寸和形狀進行調(diào)整和適配,，適用于各種不同的生產(chǎn)需求。同時,，晶圓運送機械吸臂還可以與其他設(shè)備和系統(tǒng)進行無縫連接,，實現(xiàn)自動化生產(chǎn)線的整合和優(yōu)化。晶圓運送機械吸臂具有較低的維護成本和能耗,。它采用了節(jié)能設(shè)計和智能控制技術(shù),，能夠有效地降低能源消耗和運行成本。同時,，晶圓運送機械吸臂的維護和保養(yǎng)也相對簡單,，減少了維修和停機時間，提高了生產(chǎn)效率和經(jīng)濟效益,。手臂由靜止狀態(tài)達到正常的運動速度為啟動,，由常速減到停止不動為制動,，速度的變化過程為速度特性曲線。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,，該真空吸附機械手包括：手臂,；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率,。通用性強,，能適應(yīng)多種作業(yè)；工藝性好,，便于維修調(diào)整,。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，操作簡便,，可提高晶圓搬運效率,。陽江原裝晶圓運送機械吸臂哪里好

有時往往相互矛盾，剛性好,、載重大,，結(jié)構(gòu)往往粗大、導(dǎo)向桿也多,。浙江進口晶圓運送機械吸臂廠商

    近年來全球硅晶圓供給不足,，導(dǎo)致8英寸,、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底,。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴,，并有足夠的能力滿足市場需求,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長、晶圓成型,。一,，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中,，在高溫下,，碳和沙石中的二氧化硅進行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合,，得硅），提純得純度約為98%的純硅,，又稱冶金級硅,，這對微電子器件來說依然不夠純，因為半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性對雜質(zhì)的濃度相當?shù)拿舾?，因而對冶金級硅作進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應(yīng),，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝,，得到了高純度的多晶硅,，其純度達99%，成為電子級硅,。 浙江進口晶圓運送機械吸臂廠商

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