本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī),、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動,。

直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個主自由度。蘇州新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場價

沖床行業(yè)機(jī)械臂又名沖床行業(yè)機(jī)械手,、沖床沖壓機(jī)械手,，它是用于沖床行業(yè)專門用的機(jī)械臂，沖床沖壓機(jī)械手能按照預(yù)選程序自動完成幾個規(guī)定的動作,，實(shí)現(xiàn)物體的自動夾取和運(yùn)送,。在沖壓生產(chǎn)中，它不僅用于一臺壓力機(jī)上完成上下料工作,，實(shí)現(xiàn)單機(jī)自動化,，也可以用在由若干臺壓力機(jī)組成的流水生產(chǎn)線上，實(shí)現(xiàn)各壓力機(jī)之間工件的自動傳遞,，形成自動沖壓生產(chǎn)線,。由于機(jī)械手能方便地改變工作程序，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中,，對于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動化更具有重要意義,。沖床沖壓機(jī)械手由執(zhí)行機(jī)構(gòu),、驅(qū)動機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。 潮州進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門服務(wù)手臂一般有3個運(yùn)動：伸縮,、旋轉(zhuǎn)和升降.

機(jī)械臂是指高精度,，多輸入多輸出、高度非線性,、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng),。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。機(jī)械臂是一個復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動,、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性,。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性，對于不同的任務(wù), 需要規(guī)劃機(jī)械臂關(guān)節(jié)空間的運(yùn)動軌跡,，從而級聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1]  ,。機(jī)器人系統(tǒng)是由視覺傳感器、機(jī)械臂系統(tǒng)及主控計算機(jī)組成,，其中機(jī)械臂系統(tǒng)又包括模塊化機(jī)械臂和靈巧手兩部分,。整個系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示．

主體部分通常采用強(qiáng)度高、輕質(zhì)的材料,，如鋁合金或碳纖維復(fù)合材料,，以確保在保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的同時減輕自身重量，減少運(yùn)動慣性,，提高操作的靈活性和響應(yīng)速度,。吸臂的形狀和尺寸經(jīng)過精心設(shè)計，以適應(yīng)不同尺寸晶圓的搬運(yùn)需求,。一般具有多個關(guān)節(jié)和自由度,，能夠?qū)崿F(xiàn)多角度的靈活運(yùn)動，類似于人類手臂的關(guān)節(jié)活動,。例如,，常見的多關(guān)節(jié)機(jī)械吸臂可以在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)、伸展,、彎曲等動作,，確保晶圓能夠準(zhǔn)確地從一個位置移動到另一個位置，無論是在光刻機(jī),、刻蝕機(jī)等設(shè)備之間的轉(zhuǎn)移,，還是在晶圓存儲盒與加工設(shè)備之間的傳送，都能精確無誤,。運(yùn)動元件,。如油缸、氣缸,、齒條,、凸輪等是驅(qū)動手臂運(yùn)動的部件,。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形,，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.9%。 單軸機(jī)械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用***,。梅州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動上下料機(jī)械手,、上下料機(jī)械手。蘇州新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場價

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形,，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.9%,。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,，因此對應(yīng)的就是硅晶圓,。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價格便宜 蘇州新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場價

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