有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機械手。具體地,，該機械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber）,，或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室,。機械手配置在該傳送室內(nèi),。利用機械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動。傳送室相當(dāng)于小的無塵室,。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓,。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔。另外,，傳送室內(nèi)有時被保持為真空,。要求使在傳送室內(nèi)工作的機械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法。機械手臂根據(jù)結(jié)構(gòu)形式的不同分為多關(guān)節(jié)機械手臂.無錫進口晶圓運送機械吸臂維修

自動化方面,，機械吸臂將與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備和自動化生產(chǎn)線實現(xiàn)更緊密的集成,，實現(xiàn)整個生產(chǎn)過程的全自動化運行。通過與工廠的自動化控制系統(tǒng)進行無縫對接,，吸臂可以按照預(yù)設(shè)的生產(chǎn)流程和任務(wù)計劃,，自動完成晶圓的搬運、上下料等操作,，無需人工干預(yù),，極大提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性。網(wǎng)絡(luò)化方面,，借助物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),，晶圓運送機械吸臂可以實現(xiàn)遠程監(jiān)控和管理。操作人員可以通過網(wǎng)絡(luò)在遠程對吸臂的運行狀態(tài)進行實時監(jiān)測,、數(shù)據(jù)分析和故障診斷,，及時采取相應(yīng)的措施進行維護和管理。同時,，網(wǎng)絡(luò)化的吸臂還可以實現(xiàn)遠程升級和優(yōu)化，方便制造商對設(shè)備進行技術(shù)更新和改進,，提高設(shè)備的適應(yīng)性和競爭力,。江門原裝晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,。

注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手,，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口,、模內(nèi)鑲件、模內(nèi)貼標(biāo),、模外組裝,、整形、分類,、堆疊,、產(chǎn)品包裝、模具優(yōu)化等等,。且可以對其進行自動控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進行生產(chǎn)操作的自動化生產(chǎn)設(shè)備,。注塑行業(yè)機械臂是為注塑生產(chǎn)自動化專門配備的機械，它可以在減輕繁重的體力勞動,、改善勞動條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機的生產(chǎn)效率,、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量、降低廢品率,、降低生產(chǎn)成本,、增強企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。

裝配機械人 ,；這燈機械臂要有較高的位姿精度,，手腕具有較大的柔性。目前大多用于機電產(chǎn)品的裝配作業(yè),。⒌專門用途的機械臂 如醫(yī)用護理機械臂,、航天用機械臂、探海用機械臂以及排險作業(yè)機械臂等,。三,、按操作機的位置機構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機械臂操作機的位置機構(gòu)型式是機械臂重要的外形特征，按這一類標(biāo)準(zhǔn),，機械臂可分為直角坐標(biāo)型,，圓柱坐標(biāo)型，球（極）坐標(biāo)型,、關(guān)節(jié)型機械臂（或擬人機械臂）,。操作機本身的軸數(shù)（自由度數(shù)）**能反應(yīng)機械臂的工作能力，也是分類的重要依據(jù),。按這一分類要求,，機械臂可分為4軸（自由度）、5軸（自由度）、6軸（自由度）,、7軸（自由度）等機械臂,。還有其它多種分類方式?；窘榻B工業(yè)設(shè)計工業(yè)機械人通常由六項基本元素所組成,，包括：結(jié)構(gòu),臂端工具，電腦數(shù)碼控制器,，驅(qū)動器,，量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器。越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè),。

工業(yè)機械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來,，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度,、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎,？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應(yīng),、多傳感信息融合等,，將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層次，工業(yè)機械臂只是時下研究的熱點,，工業(yè)機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論,。簡單的搬運與碼垛，根本無法稱之為智能制造,。工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走,，而且這條路是否能走得通，還是一個問號呢,，目前各國的研究人員都比較看好這個方向,，普遍認為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體，可以實現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性,。 有時往往相互矛盾,，剛性好、載重大,，結(jié)構(gòu)往往粗大,、導(dǎo)向桿也多。無錫進口晶圓運送機械吸臂維修

吸臂具有高度可調(diào)節(jié)功能,，適應(yīng)不同尺寸的晶圓,。無錫進口晶圓運送機械吸臂維修

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機,、所述的一級關(guān)節(jié),、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動,。

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