技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊,，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。

可選地,，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,，各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 X移動，Y移動,，Z移動組成,，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動，Y轉(zhuǎn)動,，Z轉(zhuǎn)動可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點,。清遠(yuǎn)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

割拋光：

單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割，然后進(jìn)行研磨,，將凹凸的切痕磨掉,，再用化學(xué)機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,，晶圓片制造就完成了。

二,，晶圓制造步驟

晶圓鍍膜：

通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅,。二氧化硅為絕緣材料，但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導(dǎo)電性,。二氧化硅在這里的作用是為了傳導(dǎo)光,。像是用二氧化硅做光導(dǎo)纖維是同一個道理。完成這步后就為后面光刻做好了準(zhǔn)備,。

光刻膠涂抹：

顧名思義,，就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠，而對其技術(shù)要求是要做到平整和薄,。 清遠(yuǎn)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇柔性機械臂在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。

    近年來全球硅晶圓供給不足,，導(dǎo)致8英寸,、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達(dá)2019上半年和年底。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備,，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石,、砂礫中,，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長,、晶圓成型,。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃,，并且有碳源存在的電弧熔爐中,，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合,，得硅）,，提純得純度約為98%的純硅,，又稱冶金級硅,，這對微電子器件來說依然不夠純，因為半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性對雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾?，因而對冶金級硅作進(jìn)一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝,，得到了高純度的多晶硅,，其純度達(dá)99%,，成為電子級硅。

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制,。2臺直驅(qū)電機負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負(fù)責(zé)整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機,，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機,。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持柔性機械臂不只是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng)，也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合的非線性系統(tǒng),。

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,，檢測設(shè)備等的晶圓搬運,。

機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速,，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點,，就是能夠接受指令.清遠(yuǎn)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

一般也都裝在手臂上,。所以手臂的結(jié)構(gòu)、工作范圍,、承載能力和動作精度都直接影響機械手的工作性能,。清遠(yuǎn)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

接下來是單晶硅生長，**常用的方法叫直拉法（CZ法）,。如下圖所示,，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,，溫度維持在大約1400 ℃,，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化,，同時又不會產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng),。為了形成單晶硅,，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn)，把一顆籽晶浸入其中,，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn),，同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出,。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,，按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,，在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒,。清遠(yuǎn)晶圓運送機械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇

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