皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種,。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明,。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門(mén)子和哈爾斯克公司工作,,當(dāng)時(shí)需要高真空環(huán)境來(lái)制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計(jì)量器較為笨重且不便,,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計(jì),。二、工作原理皮拉尼真空計(jì)通過(guò)加熱電阻絲至一定的工作溫度,,然后監(jiān)測(cè)由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時(shí),,熱量從金屬絲中傳遞出來(lái),。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率,。因此,,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過(guò)測(cè)量的電流間接測(cè)量真空值,。直空計(jì)使用過(guò)程中需要注意的事項(xiàng),?蘇州mems皮拉尼真空計(jì)多少錢(qián)
真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度,。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來(lái)的,并不十分合理,。壓力高意味著真空度低,;反之,壓力低意味著真空度高,。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書(shū)所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測(cè)量,。壓力是一個(gè)力學(xué)量,,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,,直接測(cè)量這樣大的壓力是容易的,,但在真空技術(shù)中,測(cè)量這樣大的壓力是比較少的,。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低,,如有時(shí)要測(cè)10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測(cè)量單位面積所承受的力是不可能的,。因此,,測(cè)量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象,然后測(cè)量這個(gè)過(guò)程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量,,再設(shè)法間接確定出真實(shí)壓力來(lái),。例如先將被測(cè)氣體壓縮,使其壓力增高,,測(cè)出增高后的壓力,,再根據(jù)壓縮比計(jì)算出原來(lái)的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計(jì),。也可以用一根熱絲,,測(cè)量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果,如熱絲溫度,、電阻變化等,,這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計(jì)。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,,用測(cè)得的離子流反應(yīng)壓力,,這就是電離真空計(jì),。重慶mems皮拉尼真空計(jì)設(shè)備廠家皮拉尼真空計(jì)在測(cè)量過(guò)程中需要注意哪些安全問(wèn)題?
真空計(jì)的工作原理基于氣體分子的運(yùn)動(dòng)特性,。當(dāng)氣體分子在封閉空間內(nèi)不斷運(yùn)動(dòng),、相互碰撞并與容器壁發(fā)生碰撞時(shí),這種碰撞運(yùn)動(dòng)將氣體分子的動(dòng)能轉(zhuǎn)換成容器壁上的壓力,。真空計(jì)通過(guò)測(cè)量這種壓力來(lái)間接反映氣體的壓強(qiáng)或真空度,。不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測(cè)量,例如:利用力學(xué)性能的真空計(jì):如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī),,它們通過(guò)測(cè)量氣體對(duì)某種力學(xué)元件(如薄膜)的作用力來(lái)推算真空度,。利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度,。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),,它們通過(guò)測(cè)量氣體分子在電離過(guò)程中產(chǎn)生的電流來(lái)推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測(cè)量精度,。
安裝步驟準(zhǔn)備工作:確保安裝區(qū)域清潔,,準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計(jì):將真空計(jì)對(duì)準(zhǔn)安裝位置,,確保密封面平整,。按說(shuō)明書(shū)安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固,。連接管路與電氣:連接真空管路,,確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線路,。檢查與測(cè)試:檢查所有連接是否牢固,,密封是否良好。進(jìn)行初步測(cè)試,,確保真空計(jì)正常工作,。注意事項(xiàng)安全操作:確保系統(tǒng)斷電和泄壓后再操作。佩戴防護(hù)裝備,,如手套和護(hù)目鏡,。避免污染:保持工作區(qū)域清潔,避免灰塵和雜質(zhì)進(jìn)入系統(tǒng),。正確使用工具:使用合適工具,,避免損壞真空計(jì)和連接部件。遵循說(shuō)明書(shū):嚴(yán)格按說(shuō)明書(shū)操作,,確保正確安裝和拆卸,。定期維護(hù):定期檢查和校準(zhǔn)真空計(jì),確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,??偨Y(jié)真空計(jì)的拆裝需要細(xì)致操作,,遵循正確的步驟和注意事項(xiàng),以確保設(shè)備安全和測(cè)量精度,。定期維護(hù)和校準(zhǔn)能延長(zhǎng)其使用壽命,。 電容真空計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量范圍廣,、響應(yīng)速度快,、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。
3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過(guò)電離氣體分子來(lái)測(cè)量壓力,,適用于高真空和超高真空范圍,。(1)熱陰極電離真空計(jì)原理:利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,通過(guò)離子電流測(cè)量壓力,。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr,。優(yōu)點(diǎn):精度高、測(cè)量范圍廣,。缺點(diǎn):熱陰極易損壞,,需要較高維護(hù)。應(yīng)用:高真空和超高真空系統(tǒng),。(2)冷陰極電離真空計(jì)原理:利用冷陰極放電電離氣體分子,通過(guò)離子電流測(cè)量壓力,。測(cè)量范圍:10?12 Torr 到 10?3 Torr,。優(yōu)點(diǎn):無(wú)需熱陰極,壽命長(zhǎng),。缺點(diǎn):?jiǎn)?dòng)時(shí)間較長(zhǎng),,穩(wěn)定性稍差。應(yīng)用:高真空和超高真空系統(tǒng),。皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力,。上海陶瓷真空計(jì)設(shè)備廠家
電容真空計(jì)的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)。蘇州mems皮拉尼真空計(jì)多少錢(qián)
陶瓷薄膜真空計(jì)利用陶瓷材料的壓阻效應(yīng)或電容變化來(lái)測(cè)量真空度,。具體來(lái)說(shuō),,當(dāng)陶瓷材料受到外力(如真空度變化引起的壓力)作用時(shí),,其電阻率或形狀會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量這種電阻率的變化或電容的變化,,可以精確計(jì)算出當(dāng)前的真空度,。
高精度:陶瓷薄膜真空計(jì)具有高精度和高穩(wěn)定性,,能夠提供準(zhǔn)確的真空度數(shù)據(jù)。高穩(wěn)定性:由于陶瓷材料的形變恢復(fù)無(wú)遲滯,,使得陶瓷薄膜真空計(jì)具有優(yōu)異的穩(wěn)定性,。抗腐蝕,、抗氧化:氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩(wěn)定性使得陶瓷薄膜真空計(jì)具有抗腐蝕,、抗氧化能力,適用于多種惡劣環(huán)境,。無(wú)選擇性:對(duì)被測(cè)氣體無(wú)選擇性,,適用于多種氣體的真空度測(cè)量。 蘇州mems皮拉尼真空計(jì)多少錢(qián)