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江蘇高精度灰度光刻無掩光刻

來源: 發(fā)布時間:2022-06-08

    QuantumX新型超高速無掩模光刻技術(shù)的重要部分是Nanoscribe獨有專項的雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合,,使其同時具備高速打印,,完全設(shè)計自由度和超高精度的特點。從而滿足了高級復(fù)雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計迭代,,打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗證原型,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具,。Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術(shù)要點在于:這項技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達到精細同步,,這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小,并在不影響速度的情況下,,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面,。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結(jié)合,使其同時具備高速打印,,完全設(shè)計自由度和超高精度的特點,。從而滿足了高級復(fù)雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。 Nanoscribe中國分公司-納糯三維帶您了解Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng),。江蘇高精度灰度光刻無掩光刻

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全新的Quantum X無掩模光刻系統(tǒng)能夠數(shù)字化制造高精度2維和2.5維光學(xué)元件,。 作為世界上頭一個雙光子灰度光刻系統(tǒng),,在充分滿足設(shè)計自由的同時,一步制造具有光學(xué)質(zhì)量表面以及高形狀精度要求的微光學(xué)元件,,達到所見即所得,。全新的Nanoscribe Quantum X系統(tǒng)適用于工業(yè)生產(chǎn)中所需手板和模具的定制化精細加工。該無掩模光刻系統(tǒng)顛覆了自由形狀的微透鏡,、微透鏡陣列和多級衍射光學(xué)元件的傳統(tǒng)制作工藝,。而且Quantum X提供了完全的設(shè)計自由度、高速的打印效率,、以及增材制造復(fù)雜結(jié)構(gòu)超光滑表面所需的高精度,。快速,、準(zhǔn)確的增材制造工藝極大地縮短了設(shè)計迭代周期,,實現(xiàn)了低成本的微納加工。江蘇高精度灰度光刻無掩光刻Quantum X是全球頭一臺灰度光刻激光直寫系統(tǒng),。

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    經(jīng)過10年的市場銷售,,Nanoscribe已幫助了許多科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域的開拓者和創(chuàng)新的帶領(lǐng)者,例如,,為ICT生產(chǎn)DOE,微光學(xué)以及光子引線鍵合,。他們的新IP-Visio在30個國家/地區(qū)擁有1,000多個用戶,,受到業(yè)界的強烈關(guān)注。2019年6月該公司推出了一款新型的機器QuantumX,,使用雙光子光刻技術(shù)制造納米尺寸的折射和衍射微光學(xué)元件,,尺寸可小至200微米。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法,,“Beer's定律對當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強大的限制,,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,,提供了前所未有的設(shè)計自由度和易用性,,我們的客戶正在微加工的前沿工作?!?。

來自不來梅大學(xué)微型傳感器、致動器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學(xué)家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式,,使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng),,利用雙光子聚合原理(2PP)結(jié)合光刻技術(shù),將自由形式3D微流控混合元件集成到預(yù)制的晶圓級二維微流道中,。該微型混合器可以處理高達100微升/分鐘的高流速樣品,,適用于藥物和納米顆粒制造,,快速化學(xué)反應(yīng)、生物學(xué)測量和分析藥物等各種不同應(yīng)用,。事實上,,雙光子聚合加工是在2001年開始真正應(yīng)用在微納制造領(lǐng)域的,其先驅(qū)者是東京大阪大學(xué)的Kawata教授以及孫洪波教授,。當(dāng)時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作,,也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動:《Finer features for functional microdevices:Micromachines can be created with higher resolution using two-photon absorption.》但是,這篇文獻中還進行了另外一個更厲害的工作(畢竟科學(xué)家不是藝術(shù)家,,不是做的好看就行了),。


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    Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)QuantumX的中心是Nanoscribe獨jia專li的雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®),。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計迭代,打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗證原型,,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具,。這項技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達到準(zhǔn)同步,這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小,,并在不影響速度的情況下,,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的jing確性和靈活性*結(jié)合,,使其同時具備高速打印,,完全設(shè)計自由度和超高精度的特點。從而滿足了復(fù)雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。 Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(shù)(2GL ?)可用于工業(yè)領(lǐng)域2.5D微納米結(jié)構(gòu)原型母版制作,。江蘇高精度灰度光刻無掩光刻

Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您了解目前灰度光刻的發(fā)展。江蘇高精度灰度光刻無掩光刻

    Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件,。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)造工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件,。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料,。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場上易于操作的“負(fù)膠”,。IP樹脂作為高效的打印材料,,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。我們提供針對優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級配套軟件,,從而簡化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計迭代周期,,包括仿生表面,微光學(xué)元件,機械超材料和3D細胞支架等,。 江蘇高精度灰度光刻無掩光刻