Nanoscribe稱,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),,目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專(zhuān)利,。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型,。該系統(tǒng)配備三個(gè)用于實(shí)時(shí)過(guò)程控制的攝像頭和一個(gè)樹(shù)脂分配器,。為了簡(jiǎn)化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,,物鏡和樣品夾持器識(shí)別會(huì)自動(dòng)運(yùn)行,。多層衍射光學(xué)元件(diffractiveopticalelement,,DOE)可以通過(guò)在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來(lái)完成,從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間,。Nanoscribe表示,,折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力,可制作單個(gè)光學(xué)元件,、填充因子高達(dá)100%的陣列,,以及可以在直接和無(wú)掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀,如球面和非球面透鏡,。QuantumX的軟件能實(shí)時(shí)控制和監(jiān)控打印作業(yè),,并通過(guò)交互式觸摸屏控制面板進(jìn)行操作。為了更好地管理和安排用戶的項(xiàng)目,,打印隊(duì)列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè),。無(wú)掩膜光刻是一種直接將信息轉(zhuǎn)移到襯底上的技術(shù)。遼寧2GL無(wú)掩膜光刻激光直寫(xiě)
來(lái)自德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)以及萊布尼茲材料研究所科學(xué)家們使用Nanoscribe的3D雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)以一種全新的方式制作帶有嵌入式3D微流控器件的2D微型通道,,該器件的非常重要部件是模擬蜘蛛噴絲頭的復(fù)雜噴嘴設(shè)計(jì),。科學(xué)家們運(yùn)用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)(2PP)打印微型通道的聚合物母版,,并結(jié)合軟光刻技術(shù)做后續(xù)復(fù)制工作,。隨后,在密閉的微流道中通過(guò)芯片內(nèi)3D微納加工技術(shù)直接制作復(fù)雜結(jié)構(gòu)噴絲頭,。這種集成復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開(kāi)了新的大門(mén),。斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心,共同合作研發(fā)了世界上特別小的3D打印微型內(nèi)窺鏡,。該內(nèi)窺鏡所用到的微光學(xué)器件寬度只有125微米,,可以用于直徑小于半毫米的血管內(nèi)進(jìn)行內(nèi)窺鏡檢查。而這個(gè)精密的微光學(xué)器件是通過(guò)使用德國(guó)Nanoscribe公司的雙光子微納3D打印設(shè)備制作的,。微型內(nèi)窺鏡可以幫助檢測(cè)人體動(dòng)脈內(nèi)的斑塊,、血栓和膽固醇晶體,因此對(duì)于醫(yī)學(xué)檢測(cè)極其重要,,可以有助于減少中風(fēng)和心臟病發(fā)作的風(fēng)險(xiǎn),。2GL無(wú)掩膜光刻三維光刻想要了解更多Nanoscribe 3D無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)信息,敬請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維,。
Nanoscribe的QuantumX形狀與其他一些利用2PP技術(shù)的打印機(jī)競(jìng)爭(zhēng),例如UpNano的NanoOne高分辨率微增材制造(μAM)解決方案,;LithoProf3D,,一種由另一家德國(guó)公司MultiphotonOptics制造的先進(jìn)微型激光光刻3D打印機(jī),,以及Microlight3D基于2PP的交鑰匙3D打印機(jī)Altraspin。作為市場(chǎng)上的新選擇之一,,QuantumXshape承諾采用“非常先進(jìn)的微加工工藝”,,可實(shí)現(xiàn)高精度增材制造,在其中可以比較好平衡精度和速度,,以實(shí)現(xiàn)特別高水平的生產(chǎn)力和質(zhì)量,。Nanoscribe認(rèn)為該打印機(jī)能夠產(chǎn)生“非常出色的輸出”,該打印機(jī)依賴于基于移動(dòng)鏡技術(shù)的振鏡(Galvo)系統(tǒng)和基于堅(jiān)固花崗巖的平臺(tái)上的智能電子系統(tǒng)控制單元,,并結(jié)合了行業(yè)-級(jí)脈沖飛秒激光器,。QuantumXshape可以使用Nanoscribe專(zhuān)有的聚合物和二氧化硅材料打印3D微型部件,并且對(duì)第三方或定制材料開(kāi)放,。此外,,它可以通過(guò)設(shè)備的集成觸摸屏和遠(yuǎn)程訪問(wèn)軟件nanoConnectX進(jìn)行控制,允許遠(yuǎn)程控制連接打印機(jī)的打印作業(yè),,將實(shí)驗(yàn)室的準(zhǔn)備時(shí)間減少到限度低值,,并在共享系統(tǒng)時(shí)簡(jiǎn)化團(tuán)隊(duì)協(xié)作。
Nanoscribe的PhotonicProfessional設(shè)備可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學(xué)組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅),。突出特點(diǎn)是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進(jìn)行直寫(xiě),,而是在孔型支架內(nèi)。通過(guò)調(diào)整直寫(xiě)激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量,,從而影響打印材料的有效折射率,。采用全新SCRIBE技術(shù)(通過(guò)激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級(jí)別的空間分辨率同時(shí),對(duì)折射率的調(diào)節(jié)范圍甚至超過(guò)0.3,。為了證明SCRIBE新技術(shù)的巨大潛力,,科研人員打印了眾多令人矚目的光學(xué)組件,例如已經(jīng)提到的龍勃透鏡,。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示),。通過(guò)色散透鏡聚焦的光因波長(zhǎng)不同焦點(diǎn)位置也不盡相同。Photonic Professional GT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)可適用于科研和工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用,。
Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,例如用光敏聚合物,,納米顆粒復(fù)合物,,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層,。此外,,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),。PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精度上限的3D打印,,突破了微納米制造的限制,。該打印系統(tǒng)的易用性和靈活性的特點(diǎn)配以特別廣的打印材料選擇使其成為理想的實(shí)驗(yàn)研究?jī)x器和多用戶設(shè)施。無(wú)掩膜光刻技術(shù)助力創(chuàng)新,。遼寧2GL無(wú)掩膜光刻激光直寫(xiě)
Nansocribe公司的無(wú)掩模光刻系統(tǒng),,采用一種全新的方式解決了制造并集成3D微納結(jié)構(gòu)到2D微流體通道的問(wèn)題 。遼寧2GL無(wú)掩膜光刻激光直寫(xiě)
由歐盟委員會(huì)及歐盟“地平線2020“計(jì)劃(Horizon2020)資助的HandheldOCT項(xiàng)目于2020年初正式啟動(dòng),。祝賀Nanoscribe成為該項(xiàng)目成員之一,。這個(gè)由多所大學(xué),研究機(jī)構(gòu)以及公司的科學(xué)家們和工程師們所組成的聯(lián)合項(xiàng)目致力于開(kāi)發(fā)一種用于眼科檢查的便攜式可移動(dòng)成像設(shè)備,?;诘统杀竞托⌒突攸c(diǎn)的集成光子芯片技術(shù),該項(xiàng)目有望將光學(xué)相干斷層掃描(OCT)從局限的眼科臨床應(yīng)用帶入更廣的眼科護(hù)理移動(dòng)應(yīng)用中來(lái),。由維也納醫(yī)科大學(xué)牽頭的HandheldOCT研究項(xiàng)目旨在運(yùn)用成熟的光學(xué)相干斷層掃描成像技術(shù)(OCT),,來(lái)實(shí)現(xiàn)便攜式現(xiàn)場(chǎng)即時(shí)眼科護(hù)理檢查。預(yù)計(jì)此款正在開(kāi)發(fā)的具備先進(jìn)技術(shù)和成本效應(yīng)的便攜式集成光子芯片技術(shù)OCT成像設(shè)備將用于診斷和監(jiān)測(cè)多種眼部疾病,,例如,,老年性黃斑病變、糖尿病性視網(wǎng)膜病變以及青光眼,,這些疾病在世界范圍內(nèi)都是導(dǎo)致失明的主要因素,。該便攜式設(shè)備將會(huì)在維也納總醫(yī)院進(jìn)行測(cè)試以驗(yàn)證其在眼科診斷的效果。遼寧2GL無(wú)掩膜光刻激光直寫(xiě)