Nanoscribe的無掩模光刻系統(tǒng)在三維微納制造領域是一個不折不扣的多面手,,由于其出色的通用性、與材料的普適性和便于操作的軟件工具,,在科學和工業(yè)項目中備受青睞,。這種可快速打印的微結構在科研、手板定制,、模具制造和小批量生產中具有廣闊的應用前景,。也就是說,在納米級,、微米級以及中尺度結構上,,可以直接生產用于工業(yè)批量生產的聚合物母版。借助Nanoscribe雙光子聚合技術特殊的高設計自由度和高精度特點,,您可以制作具有微米級高精度機械元件和微機電系統(tǒng),。歡迎探索Nanoscribe針對快速原型設計和制造真正高精度的微納零件的3D微納加工解決方案?;叶裙饪碳夹g可提高光刻膠的分辨率,。天津高精度灰度光刻技術3D打印
德國Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng),該系統(tǒng)是first基于雙光子灰度光刻技術(2GL®)的精密加工微納米打印系統(tǒng),,可應用于折射和衍射微光學,。Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印的面世**著Nanoscribe已進軍現(xiàn)代微加工工業(yè)領域。具有全自動化系統(tǒng)的QuantumX無論從外形或者使用體驗上都更符合現(xiàn)代工業(yè)需求,。下面講講在衍射微光學中的應用:多級衍射光學元件雙光子灰度光刻技術可以一步實現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級衍射光學元件(DOE),,并且滿足DOE納米結構表面的橫向和縱向分辨率達到亞微米量級。浙江Nanoscribe灰度光刻系統(tǒng)灰度光刻技術可以相當于二元套刻的多次曝光,,提高了光刻效率,。
Nanoscribe 的Photonic Professional GT2使用雙光子聚合(2PP)來產生幾乎任何3D形狀:晶格、木堆型結構,、自由設計的圖案,、順滑的輪廓、銳利的邊緣,、表面的和內置倒扣以及橋接結構,。Photonic Professional GT2 結合了設計的靈活性和操控的簡潔性,以及非常廣的材料-基板選擇,。因此,,它是一個理想的科學儀器和工業(yè)快速成型設備,適用于多用戶共享平臺和研究實驗室,。Nanoscribe的3D無掩模光刻機目前已經分布在30多個國家的前沿研究中,,超過1,000個開創(chuàng)性科學研究項目是這項技術強大的設計和制造能力的特別好證明
Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學衍射以及折射元件,。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)造工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,,適用于制造微光學衍射以及折射元件。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標準材料,。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,,屬于目前市場上易于操作的“負膠”。IP樹脂作為高效的打印材料,,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一,。,灰度光刻可以***縮短制造時間,,提高生產效率,。
微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,,我們常見的微納3D打印技術是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術,,利用該技術我們理論上可以獲得任意想要的結構,不光是微透鏡陣列結構(如下圖5所示),,該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設計獲得想要的結構,,對于雙光子聚合的微結構,我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結構可以直接進行后續(xù)的復制工作,,并通過納米壓印技術進行復制?;叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透,,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結構(如下圖4所示,,八邊金字塔結構),。微透鏡陣列也是類似,,可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態(tài)。微納3D打印和灰度光刻技術有什么區(qū)別,?北京2GL灰度光刻微納光刻
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傳感器對可控技術的重要性,在眾多領域都是顯而易見的,,無論是從簡單的家用電器,,還是到可穿戴設備,甚至到航空應用,,只有控制良好的流程才有被優(yōu)化的可能,。理想的傳感器應該具有高敏感度,不易故障,,并且易于集成到流程中等優(yōu)點,。光纖端面的微型傳感器在這個方面具有巨大的潛力。這些傳感器空間占有率小,,可以輕松多路復用,,并且不需要額外的外部能源供應。對于這些基于光纖的傳感器的加工,,雙光子聚合技術已被證明是其完美的搭檔,。事實上,任何設計模型都能在微觀尺寸上被實現(xiàn),。然而,,大多數(shù)設計都是靜態(tài)的,打印出來的部件在被加工出來后不能進行進一步的活動,。天津高精度灰度光刻技術3D打印