QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng)，用于快速原型制作和晶圓級(jí)批量生產(chǎn),，以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)（2PP）的專(zhuān)業(yè)激光直寫(xiě)系統(tǒng)，可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計(jì)自由度,。QuantumXshape可實(shí)現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對(duì)于晶圓級(jí)批量生產(chǎn)尤其重要，這對(duì)于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義,。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級(jí)無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺(tái)設(shè)備,，可實(shí)現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu)，很大程度推動(dòng)了生命科學(xué),，微流體,，材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。QuantumXshape作為具備光敏樹(shù)脂自動(dòng)分配功能的直立式打印系統(tǒng),，非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造,。灰度光刻技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高分辨率的微納米結(jié)構(gòu)制造,。德國(guó)高分辨率灰度光刻3D打印

來(lái)自德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)以及萊布尼茲材料研究所科學(xué)家們使用Nanoscribe的3D雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)以一種全新的方式制作帶有嵌入式3D微流控器件的2D微型通道,，該器件的非常重要部件是模擬蜘蛛噴絲頭的復(fù)雜噴嘴設(shè)計(jì)?？茖W(xué)家們運(yùn)用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)（2PP）打印微型通道的聚合物母版,，并結(jié)合軟灰度光刻技術(shù)做后續(xù)復(fù)制工作。隨后,，在密閉的微流道中通過(guò)芯片內(nèi)3D微納加工技術(shù)直接制作復(fù)雜結(jié)構(gòu)噴絲頭,。這種集成復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開(kāi)了新的大門(mén)。斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心,，共同合作研發(fā)了世界上特別小的3D打印微型內(nèi)窺鏡,。該內(nèi)窺鏡所用到的微光學(xué)器件寬度只有125微米，可以用于直徑小于半毫米的血管內(nèi)進(jìn)行內(nèi)窺鏡檢查,。而這個(gè)精密的微光學(xué)器件是通過(guò)使用德國(guó)Nanoscribe公司的雙光子微納3D打印設(shè)備制作的,。微型內(nèi)窺鏡可以幫助檢測(cè)人體動(dòng)脈內(nèi)的斑塊,、血栓和膽固醇晶體，因此對(duì)于醫(yī)學(xué)檢測(cè)極其重要,，可以有助于減少中風(fēng)和心臟病發(fā)作的風(fēng)險(xiǎn),。德國(guó)高分辨率灰度光刻3D打印雙光子灰度光刻敬請(qǐng)咨詢(xún)Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。

Nanoscribe是德國(guó)高精度雙光子微納加工系統(tǒng)生產(chǎn)商,，擁有多項(xiàng)**技術(shù),，為全球客戶(hù)提供整套硬件，軟件,，打印材料和解決方案一站式服務(wù),。Nanoscribe是德國(guó)高精度雙光子微納加工系統(tǒng)生產(chǎn)商，擁有多項(xiàng)專(zhuān)項(xiàng)技術(shù),，為全球客戶(hù)提供整套硬件,，軟件，打印材料和解決方案一站式服務(wù),。Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)具有極高設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn),，結(jié)合具備生物兼容特點(diǎn)的光敏樹(shù)脂和生物材料，開(kāi)發(fā)并制作真正意義上的高精度3D微納結(jié)構(gòu),，適用于生命科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用,，如設(shè)計(jì)和定制微型生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的原型制作。

Nanoscribe的QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作,。該系統(tǒng)的無(wú)掩模光刻解決方案可以滿(mǎn)足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求,。基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作,，即一步打印多級(jí)衍射光學(xué)元件,，并以經(jīng)濟(jì)高效的方法將多達(dá)4,096層的設(shè)計(jì)加工成離散的或準(zhǔn)連續(xù)的拓?fù)洹Ｗ鳛槿蝾^一臺(tái)雙光子灰度光刻激光直寫(xiě)系統(tǒng),，QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版,，可適用于批量生產(chǎn)的流水線(xiàn)工業(yè)程序,，例如注塑,，熱壓花和納米壓印等加工流程，從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用,。靈活性高：由于無(wú)需制作實(shí)體掩膜版,，無(wú)掩膜光刻技術(shù)可以快速地更改光刻圖案，方便進(jìn)行試制和修改,。

國(guó)際上,，激光直寫(xiě)設(shè)備是光掩模制備的主要工具，尤其在高世代TFT-Array掩模的平面圖形,，面積可達(dá)110英寸（瑞典MICRONIC）單價(jià)高于1.5億元/套,，制備一個(gè)線(xiàn)寬分辨率1.5微米的110吋光掩模單價(jià)500萬(wàn)RMB,；然而，這種激光直寫(xiě)設(shè)備并不適用于微納3Ｄ形貌結(jié)構(gòu)和深紋圖形制備,。已有的基于藍(lán)光405nm直接成像光刻（DIL）適合光刻分辨率較低的圖形,，也不適用于3D結(jié)構(gòu)的灰度光刻。因此,，面向柔性光電子材料與器件的需求,，必須攻克大面積3D形貌的微結(jié)構(gòu)的高效高精度制備，解決海量數(shù)據(jù)高效率轉(zhuǎn)化,、高精度數(shù)據(jù)迭代與疊加曝光,，高速率飛行直寫(xiě)技術(shù)的難題。Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司帶您一起了解雙光子灰度光刻系統(tǒng)的應(yīng)用,。廣東灰度光刻技術(shù)3D打印

灰度光刻技術(shù)具有很高的靈活性,，可以通過(guò)控制光的幅度和相位。德國(guó)高分辨率灰度光刻3D打印

NanoscribeQuantumX平臺(tái)系統(tǒng)的超高速無(wú)掩模光刻技術(shù)的重要部分是Nanoscribe獨(dú)有專(zhuān)項(xiàng)的雙光子灰度光刻技術(shù)（2GL®）,。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合,，使其同時(shí)具備高速打印，完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn),。已滿(mǎn)足高級(jí)復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計(jì)迭代，打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗(yàn)證原型,，也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具,。Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術(shù)要點(diǎn)在于：這項(xiàng)技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動(dòng)態(tài)聚焦定位達(dá)到精細(xì)同步，這種智能方法能夠輕松控制每個(gè)掃描平面的體素大小,，并在不影響速度的情況下,，使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術(shù)將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結(jié)合,，使其同時(shí)具備高速打印,，完全設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn)。從而滿(mǎn)足了高級(jí)復(fù)雜增材制造對(duì)于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。德國(guó)高分辨率灰度光刻3D打印