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湖北亞微米雙光子聚合微納加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2024-07-28

QuantumXshape作為理想的快速成型制作工具,,可實現(xiàn)通過簡單工作流程進行高精度和高設計自由度的制作。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產品,,QuantumXshape提升了3D微納加工能力,,即完美平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造,以達到高水平的生產力和打印質量,??偠灾I(yè)級QuantumX打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結構的非常先進的微制造工藝,,適用于晶圓級批量加工,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作。這種高質量的打印效果是結合了特別先進的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結果,,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺,。QuantumXshape具有先進的激光焦點軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至特別快的掃描速度,,并以1MHz調制速率動態(tài)調整激光功率,。歡迎咨詢。雙光子聚合到底是什么技術,?湖北亞微米雙光子聚合微納加工系統(tǒng)

湖北亞微米雙光子聚合微納加工系統(tǒng),雙光子聚合

Nanoscribe稱,,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),,目前該技術正在申請專利,。2GL將灰度光刻技術與Nanoscribe的雙光子聚合技術相結合,可生產折射和衍射微光學以及聚合物母版的原型。QuantumX的軟件能實時控制和監(jiān)控打印作業(yè),,并通過交互式觸摸屏控制面板進行操作,。為了更好地管理和安排用戶的項目,打印隊列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè),。該軟件有程序向導,,可在一開始就指導設計師和工程師完成打印作業(yè),并能夠接受任意光學設計的灰度圖像,。例如,,可接受高達32位分辨率的BMP、PNG或TIFF文件,,以便使用Nanoscribe的QuantumX進行直接制造。在雙光子灰度光刻工藝中,,激光功率調制和動態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實現(xiàn)同步進行,,以便對每個掃描平面進行全體素大小控制。Nanoscribe稱,,QuantumX在每個掃描區(qū)域內可產生簡單和復雜的光學形狀,,具有可變的特征高度微納米雙光子聚合無掩光刻Nanoscribe雙光子聚合技術具有高設計自由度和高精度。

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對準雙光子光刻技術(A2PL®)是Nanoscribe基于雙光子聚合(2PP)的一種新型專利納米微納制造技術,。該技術可以將打印的結構自動對準到光纖和光子芯片上,,例如用于光子封裝中的光學互連。同時高精度檢測系統(tǒng)還可以識別基準點或拓撲基底特征,,確保對3D打印進行高度精確的對準,。Nanoscribe對準雙光可光刻技術搭配nanoPrintX,一種基于場景圖概念的軟件工具,,可用于定義對準3D打印的打印項目,。樹狀數(shù)據(jù)結構提供了所有與打印相關的對象和操作的分層組織,用于定義何時,、何地,、以及如何進行打印。在nanoPrintX中可以定義單個對準標記以及基板特征,,例如芯片邊緣和光纖表面,。使用QuantumXalign系統(tǒng)的共焦單元或光纖照明單元,可以識別這些特定的基板標記,,并將其與在nanoPrintX中定義的數(shù)字模型進行匹配,。對準雙光子光刻技術和nanoPrintX軟件是QuantumXalign系統(tǒng)的標配。

QuantumXshape在3D微納加工領域非常出色的精度,,比肩于Nanoscribe公司在表面結構應用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL®),。全新的QuantumXshape的高精度有賴于其高能力的體素調制比和超精細處理網格,從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,,受益于雙光子灰度光刻對體素的微調,,該系統(tǒng)在表面微結構的制作上可達到超光滑,同時保持高精度的形狀控制,。QuantumXshape不只是應用于生物醫(yī)學,、微光學、MEMS,、微流道,、表面工程學及其他很多領域中器件的快速原型制作的理想工具,同時也成為基于晶圓的小結構單元的批量生產的簡易工具,。通過系統(tǒng)集成觸控屏控制打印文件來很大程度提高實用性,。通過系統(tǒng)自帶的nanoConnectX軟件來進行打印文件的遠程監(jiān)控及多用戶的使用配置,實現(xiàn)推動工業(yè)標準化及基于晶圓批量效率生產科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術,,實現(xiàn)微流道母版制造和密閉通道系統(tǒng)內部的芯片內直接打印,。

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在當前科技快速發(fā)展的時代,各種新技術層出不窮,。其中,,雙光子聚合技術以其獨特的優(yōu)勢和應用前景,正在引起越來越多的關注,。雙光子聚合是物質在發(fā)生雙光子吸收后所引發(fā)的光聚合過程,,它有著更多的應用前景,包括快速3D打印,、光子晶體形成,、高精度光子器件制造等領域。雙光子聚合技術的優(yōu)勢:1. 高精度和高分辨率:雙光子聚合技術采用光子作為加工單位,,具有超高的精度和分辨率,。與傳統(tǒng)的加工技術相比,雙光子聚合技術可以制造出更加精細,、復雜的結構,,從而實現(xiàn)更高級別的光學器件和制造工藝。2. 快速和高效:雙光子聚合技術可以在短時間內完成大量材料的加工和制備,。由于其高精度和高分辨率的特點,,使得制造過程更加快速和高效。這不僅縮短了產品的研發(fā)周期,,還能滿足工業(yè)化大規(guī)模生產的需求,。3. 高度靈活性和可擴展性:雙光子聚合技術具有高度靈活性和可擴展性,可以在不同材料和表面上應用,。這種技術不僅可以用于玻璃,、塑料等常見材料的加工,,還可以應用于半導體、生物醫(yī)學等領域,。這意味著雙光子聚合技術的應用領域非常,,可以為不同行業(yè)提供定制化的解決方案。Nanoscribe公司的系列產品是基于雙光子聚合原理的高精度微納3D打印系統(tǒng),。天津亞微米級雙光子聚合技術

Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您一起揭秘雙光子聚合的加工原理,。湖北亞微米雙光子聚合微納加工系統(tǒng)

事實上,雙光子聚合加工是在2001年開始真正應用在微納制造領域的,,其先驅者是東京大阪大學的Kawata教授以及孫洪波教授,。當時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動:《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,,這篇文獻中還進行了另外一個更厲害的工作,,這兩位教授做出了當時世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達到了120nm,,超越了衍射極限,,同時還沒有使用諸如近場加工之類的不太通用的解決方案,而是單純的利用了材料的性質,。湖北亞微米雙光子聚合微納加工系統(tǒng)