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黃浦區(qū)高精度微納3D打印

來源: 發(fā)布時間:2024-08-10

Nanoscribe稱,,QuantumX是世界上基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術(shù)正在申請專利,。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。QuantumX的軟件能實時控制和監(jiān)控打印作業(yè),,并通過交互式觸摸屏控制面板進(jìn)行操作,。為了更好地管理和安排用戶的項目,打印隊列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè),。該軟件有程序向?qū)?,可在一開始就指導(dǎo)設(shè)計師和工程師完成打印作業(yè),并能夠接受任意光學(xué)設(shè)計的灰度圖像,。例如,,可接受高達(dá)32位分辨率的BMP、PNG或TIFF文件,,以便使用Nanoscribe的QuantumX進(jìn)行直接制造,。在雙光子灰度光刻工藝中,激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實現(xiàn)同步進(jìn)行,,以便對每個掃描平面進(jìn)行全體素大小控制,。Nanoscribe稱,QuantumX在每個掃描區(qū)域內(nèi)可產(chǎn)生簡單和復(fù)雜的光學(xué)形狀,,具有可變的特征高度,。離散和精確的步驟,以及本質(zhì)上為準(zhǔn)連續(xù)的形貌,,可以在一個步驟中完成打印,,而不需要多步光刻或多塊掩模制造。


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光學(xué)和光電組件的小型化對于實現(xiàn)數(shù)據(jù)通信和電信以及傳感和成像的應(yīng)用至關(guān)重要。通過傳統(tǒng)的微納3D打印來制作自由曲面透鏡等其他新穎設(shè)計會有分辨率不足和光學(xué)質(zhì)量表面不達(dá)標(biāo)的缺陷,,但是利用雙光子聚合原理則可以完美解決這些問題,。該技術(shù)不光可以用于在平面基板上打印微納米部件,還可以直接在預(yù)先設(shè)計的圖案和拓?fù)渖暇_地直接打印復(fù)雜結(jié)構(gòu),,包括光子集成電路,,光纖頂端和預(yù)制晶片等。Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)所具有的高設(shè)計自由度,,可以在各種預(yù)先構(gòu)圖的基板上實現(xiàn)波導(dǎo)和混合折射衍射光學(xué)器件等3D微納加工制作,。結(jié)合Nanoscribe公司的高精度定位系統(tǒng),,可以按設(shè)計需要精確地集成復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu),。  黃浦區(qū)高精度微納3D打印Nanoscribe在中國的子公司納糯三維科技(上海)有限公司歡迎您一起探討雙光子微納3D打印技術(shù)信息,。

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雙光子聚合(2PP)是一種可實現(xiàn)比較高精度和完全設(shè)計自由度的增材制造方法。而作為同類比較好的3D微加工系統(tǒng)QuantumXshape具有下列優(yōu)異性能:首先,,在所有空間方向上低至100納米的特征尺寸控制,,適用于納米和微米級打印,;其次制作高達(dá)50毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu),,適用于中尺度打印。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺。QuantumXshape具有先進(jìn)的激光焦點軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,,并以1MHz調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率。QuantumXshape帶有獨特的自動界面查找功能,,可以以低至30納米的精度檢測基板表面,。這種在比較高掃描速度下的納米級精度體現(xiàn),再加上自校準(zhǔn)程序,,可在特別短的時間內(nèi)實現(xiàn)可靠和準(zhǔn)確的打印,,為3D微納加工樹立了新榜樣。這些優(yōu)異的性能使QuantumXshape成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué),、微流體,、材料表面工程、MEMS等其他領(lǐng)域中晶圓級規(guī)模生產(chǎn)的理想工具,。 

QuantumXshape作為理想的快速成型制作工具,,可實現(xiàn)通過簡單工作流程進(jìn)行高精度和高設(shè)計自由度的制作。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,,QuantumXshape提升了3D微納加工能力,,即完美平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造,以達(dá)到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量,??偠灾I(yè)級QuantumX打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結(jié)構(gòu)的非常先進(jìn)的微制造工藝,,適用于晶圓級批量加工,。作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版,,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,,從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用,。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結(jié)合得益于新技術(shù)的亞微米分辨率和靈活性的特點,,同時縮短創(chuàng)新微納光學(xué)器件(如衍射和折射光學(xué)器件)的整體制造時間。


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由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,,屬于目前市場上易于操作的“負(fù)膠”,。IP樹脂作為高效的打印材料,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一,。我們提供針對優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級配套軟件,,從而簡化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計迭代周期,包括仿生表面,,微光學(xué)元件,,機(jī)械超材料和3D細(xì)胞支架等。世界上頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX實現(xiàn)了2D和2.5D微納結(jié)構(gòu)的增材制造,。該無掩模光刻系統(tǒng)將灰度光刻的出色性能與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)的精度和靈活性相結(jié)合,,從而達(dá)到亞微米分辨率并實現(xiàn)對體素大小的超快控制,自動化打印以及特別高的形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面,。


隨著3D打印技術(shù)的不斷進(jìn)步,,微納3D打印的出現(xiàn),完美的解決了這個問題,。黃浦區(qū)高精度微納3D打印

微納米3D打印公司Nanoscribe,,納米精度的樹脂新材料,打印微創(chuàng)手術(shù)用的微型針頭,,微透鏡精密器件,。黃浦區(qū)高精度微納3D打印

雙光子聚合(2PP)是一種可實現(xiàn)比較高精度和完全設(shè)計自由度的增材制造方法。而作為同類比較好的3D微加工系統(tǒng)QuantumXshape具有下列優(yōu)異性能:首先,,在所有空間方向上低至100納米的特征尺寸控制,,適用于納米和微米級打印,;其次制作高達(dá)50毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu),,適用于中尺度打印。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺。QuantumXshape具有先進(jìn)的激光焦點軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,,并以1MHz調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率。QuantumXshape帶有獨特的自動界面查找功能,,可以以低至30納米的精度檢測基板表面,。這種在比較高掃描速度下的納米級精度體現(xiàn),,再加上自校準(zhǔn)程序,可在特別短的時間內(nèi)實現(xiàn)可靠和準(zhǔn)確的打印,,為3D微納加工樹立了新榜樣,。這些優(yōu)異的性能使QuantumXshape成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué),、微流體,、材料表面工程、MEMS等其他領(lǐng)域中晶圓級規(guī)模生產(chǎn)的理想工具,。  黃浦區(qū)高精度微納3D打印