Nanoscribe雙光子灰度光刻(2GL®)是一種用于生成2.5D拓?fù)涞男滦驮霾闹圃旒夹g(shù)。通過這種技術(shù),,在掃描一層的情況下,,可以打印離散和準(zhǔn)確的步驟以及基本連續(xù)的拓?fù)洌瑥亩s短了打印時(shí)間,。2GL是無掩膜灰度光刻技術(shù)家族的新成員,,其使用功率調(diào)節(jié)激光來塑造微納米結(jié)構(gòu)功能器件的高度輪廓,。雙光子灰度光刻(2GL®)是一項(xiàng)突破性的創(chuàng)新技術(shù),將灰度光刻的優(yōu)勢與雙光子聚合(2PP)的精度和靈活性相結(jié)合,。光學(xué)元件如何對準(zhǔn)并打印到光子芯片上,?打印對象的 3D 對準(zhǔn)技術(shù)是基于具有高分辨率 3D 拓?fù)淅L制的共聚焦單元。 為了精確對準(zhǔn)光子芯片上的光學(xué)元件,,智能軟件算法會自動識別預(yù)定義的標(biāo)記和拓?fù)涮卣?,以確定芯片上波導(dǎo)的確切位置和方向。 然后將虛擬坐標(biāo)系設(shè)置到波導(dǎo)的出口,,使其光軸和方向完美對準(zhǔn),。 根據(jù)該坐標(biāo)系打印的光學(xué)元件可確保比較好的光學(xué)質(zhì)量并比較大限度地減少耦合損耗。 該項(xiàng)技術(shù)可以利用自由空間微光耦合 (FSMOC) 實(shí)現(xiàn)高效的光耦合,。Nanoscribe在中國的子公司納糯三維邀您一起探討增材制造的現(xiàn)狀和未來,。浙江高精度Nanoscribe無掩膜光刻
Nanoscribe稱,Quantum X是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photon grayscale lithography,,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),,目前該技術(shù)正在申請專利。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型,。多層衍射光學(xué)元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來完成,,從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間,。Nanoscribe表示,折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力,,可制作單個(gè)光學(xué)元件,、填充因子高達(dá)100%的陣列,以及可以在直接和無掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀,,如球面和非球面透鏡,。 湖北微納NanoscribeMEMSNanoscribe IP 系列光刻膠系列是用于高分辨率微納加工的聚合物打印材料。
3D微納加工技術(shù)應(yīng)用于材料工程領(lǐng)域,。材料屬性可以通過成分和幾何設(shè)計(jì)來調(diào)整和定制,。通過使用Nanoscribe的3D微納加工解決方案,可以實(shí)現(xiàn)具有特定光子,,機(jī)械,,生物或化學(xué)特性的創(chuàng)新超材料和仿生微結(jié)構(gòu)。Nanoscribe的無掩模光刻系統(tǒng)在三維微納制造領(lǐng)域是一個(gè)不折不扣的多面手,,由于其出色的通用性,、與材料的普適性和便于操作的軟件工具,在科學(xué)和工業(yè)項(xiàng)目中備受青睞,。這種可快速打印的微結(jié)構(gòu)在科研,、手板定制,、模具制造和小批量生產(chǎn)中具有廣闊的應(yīng)用前景。也就是說,,在納米級,、微米級以及中尺度結(jié)構(gòu)上,可以直接生產(chǎn)用于工業(yè)批量生產(chǎn)的聚合物母版,。
對于光纖上打印的SERS探針,,研究人員必須克服幾個(gè)制造上的挑戰(zhàn)。首先,,他們設(shè)計(jì)了一個(gè)定制的光纖支架,,可以在光纖的切面上打印。然后,,打印的物體必須與光纖的重要部分部分完全對齊,,以激發(fā)制造的拉曼熱點(diǎn)。剩下的一個(gè)挑戰(zhàn),,特別是對于像單體陣列這樣的絲狀結(jié)構(gòu),,是對可能傾斜的基材表面的補(bǔ)償。光纖傾斜的基材表面導(dǎo)致SERS活性微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)量很低,。為了推動光學(xué)領(lǐng)域的創(chuàng)新以及在醫(yī)療設(shè)備的應(yīng)用和光學(xué)傳感的發(fā)展,,例如光纖SERS探頭,Nanoscribe近期推出了更新的3D打印系統(tǒng)QuantumXalign,。憑借其專有的在光纖上的打印設(shè)置和在所有空間方向上的傾斜校正,,新的3D打印系統(tǒng)可能已經(jīng)為在光纖上打印SERS探針的挑戰(zhàn)提供了答案,并為進(jìn)一步改進(jìn)和新的創(chuàng)新奠定了基礎(chǔ),。
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Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,,例如用光敏聚合物,納米顆粒復(fù)合物,,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層,。此外,,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級衍射光學(xué)元件(DOE),,并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級。由于需要多次光刻,,刻蝕和對準(zhǔn)工藝,,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長且成本高,。 如需了解增材制造的信息,請咨詢咨詢Nanoscribe在中國的子公司納糯三維科技(上海)有限公司,。湖北微納NanoscribeMEMS
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光子集成電路 (Photonic Integrated Circuit,PIC) 與電子集成電路類似,,但不同的是電子集成電路集成的是晶體管,、電容器、電阻器等電子器件,,而光子集成電路集成的是各種不同的光學(xué)器件或光電器件,,比如激光器、電光調(diào)制器,、光電探測器,、光衰減器、光復(fù)用/解復(fù)用器以及光放大器等,。集成光子學(xué)可較廣地應(yīng)用于各種領(lǐng)域,,例如數(shù)據(jù)通訊,激光雷達(dá)系統(tǒng)的自動駕駛技術(shù)和YL領(lǐng)域中的移動感應(yīng)設(shè)備等,。而光子集成電路這項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),,尤其是微型光子組件應(yīng)用,可以很大程度縮小復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)的尺寸并降低成本,。光子集成電路的關(guān)鍵技術(shù)還在于連接接口,,例如光纖到芯片的連接,可以有效提高集成度和功能性,。類似于這種接口的制造非常具有挑戰(zhàn)性,,需要權(quán)衡對準(zhǔn)、效率和寬帶方面的種種要求,。
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