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德國雙光子無掩膜光刻激光直寫

來源: 發(fā)布時間:2024-10-28

QuantumXshape作為理想的快速成型制作工具,,可實現(xiàn)通過簡單工作流程進(jìn)行高精度和高設(shè)計自由度的制作,。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,QuantumXshape提升了3D微納加工能力,,即完美平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造,,以達(dá)到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量??偠灾?,工業(yè)級QuantumX打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結(jié)構(gòu)的非常先進(jìn)的微制造工藝,適用于晶圓級批量加工,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺,。而Nanoscribe公司基于雙光子聚合原理的無掩模光刻系統(tǒng)設(shè)計自由度高,輕松實現(xiàn)收集光束傳輸?shù)讲▽?dǎo)中,。德國雙光子無掩膜光刻激光直寫

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全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),很大程度推動了生命科學(xué),,微流體,,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。QuantumXshape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),,非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺,。QuantumXshape具有先進(jìn)的激光焦點軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至特別快的掃描速度,,并以1MHz調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率,。德國2PP無掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng)了解更多無掩膜光刻的技術(shù)和產(chǎn)品信息,請致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。

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借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)特殊的高設(shè)計自由度和高精度特點,,您可以制作具有微米級高精度機(jī)械元件和微機(jī)電系統(tǒng)。歡迎探索Nanoscribe針對快速原型設(shè)計和制造真正高精度的微納零件的3D微納加工解決方案,。Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(shù)(2GL®)可用于工業(yè)領(lǐng)域2.5D微納米結(jié)構(gòu)原型母版制作,。2GL通過創(chuàng)新的設(shè)計重新定義了典型復(fù)雜結(jié)構(gòu)微納光學(xué)元件的微納加工制造。該技術(shù)結(jié)合了灰度光刻的出色性能,,以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性,。PhotonicProfessionalGT2是目前全球精度達(dá)到上限的微納3D打印機(jī)。該設(shè)備將雙光子聚合的極高精度技術(shù)特點與跨尺度的微觀3D打印完美結(jié)合,,適合用于納米,、微米,、中尺度以及厘米級別的快速成型。PhotonicProfessionalGT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)可適用于科研和工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用,。我們的客戶成功將微納光學(xué)結(jié)構(gòu)直接打印到光子組件上從而實現(xiàn)從邊緣到表面的全方面耦合,。

事實上,雙光子聚合加工是在2001年開始真正應(yīng)用在微納制造領(lǐng)域的,,其先驅(qū)者是東京大阪大學(xué)的Kawata教授以及孫洪波教授,。當(dāng)時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動:《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,,這篇文獻(xiàn)中還進(jìn)行了另外一個更厲害的工作,,這兩位教授做出了當(dāng)時世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達(dá)到了120nm,,超越了衍射極限,,同時還沒有使用諸如近場加工之類的不太通用的解決方案,而是單純的利用了材料的性質(zhì),。無掩膜光刻機(jī)可以讀取任何CAD數(shù)據(jù),。

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Nanoscribe的QuantumX形狀與其他一些利用2PP技術(shù)的打印機(jī)競爭,例如UpNano的NanoOne高分辨率微增材制造(μAM)解決方案,;LithoProf3D,,一種由另一家德國公司MultiphotonOptics制造的先進(jìn)微型激光光刻3D打印機(jī),以及Microlight3D基于2PP的交鑰匙3D打印機(jī)Altraspin,。作為市場上的新選擇之一,,QuantumXshape承諾采用“非常先進(jìn)的微加工工藝”,可實現(xiàn)高精度增材制造,,在其中可以比較好平衡精度和速度,,以實現(xiàn)特別高水平的生產(chǎn)力和質(zhì)量。Nanoscribe認(rèn)為該打印機(jī)能夠產(chǎn)生“非常出色的輸出”,,該打印機(jī)依賴于基于移動鏡技術(shù)的振鏡(Galvo)系統(tǒng)和基于堅固花崗巖的平臺上的智能電子系統(tǒng)控制單元,,并結(jié)合了行業(yè)-級脈沖飛秒激光器。QuantumXshape可以使用Nanoscribe專有的聚合物和二氧化硅材料打印3D微型部件,,并且對第三方或定制材料開放,。此外,它可以通過設(shè)備的集成觸摸屏和遠(yuǎn)程訪問軟件nanoConnectX進(jìn)行控制,,允許遠(yuǎn)程控制連接打印機(jī)的打印作業(yè),,將實驗室的準(zhǔn)備時間減少到限度低值,并在共享系統(tǒng)時簡化團(tuán)隊協(xié)作,。無掩膜光刻機(jī)具有無掩模光刻技術(shù)的便利,,很大程度提高了無掩膜影印和新產(chǎn)品研發(fā)的效率。德國2PP無掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng)

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Nanoscribe帶領(lǐng)全球高精度微納米3D打印,。Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統(tǒng)生產(chǎn)商,,擁有多項專項技術(shù),為全球客戶提供整套硬件,,軟件,,打印材料和解決方案一站式服務(wù)。Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統(tǒng)生產(chǎn)商,,擁有多項專項技術(shù),,為全球客戶提供整套硬件,軟件,,打印材料和解決方案一站式服務(wù),。它的雙光子聚合技術(shù)具有極高設(shè)計自由度和超高精度的特點,結(jié)合具備生物兼容特點的光敏樹脂和生物材料,,開發(fā)并制作真正意義上的高精度3D微納結(jié)構(gòu),,適用于生命科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用,如設(shè)計和定制微型生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的原型制作,。借助Nanoscribe的3D微納加工技術(shù),您可以實現(xiàn)亞細(xì)胞結(jié)構(gòu)的三維成像,,適用于細(xì)胞研究和芯片實驗室應(yīng)用(lab-on-a-chip)德國雙光子無掩膜光刻激光直寫