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江蘇高分辨率無掩膜光刻技術(shù)3D打印

來源: 發(fā)布時間:2025-01-03

如何能夠利用微納尺寸的旋轉(zhuǎn)軸和鉸鏈改進傳感器并為新的傳感器設(shè)計概念鋪平道路?這正是位于代頓(俄亥俄州)的美國空軍技術(shù)學(xué)院的科研人員們通過在光纖上打印具有可活動部件的微型3D傳感器所聚焦的課題,。內(nèi)置的鉸鏈和微軸給傳感器設(shè)計帶來的新的設(shè)計理念,,例如用于流量傳感的微轉(zhuǎn)子,可通過物***相沉積法來進入以往不易觸及的區(qū)域的微型傳感器,。光纖上3D打印的流量傳感器(渲染動畫):轉(zhuǎn)子被安裝在光纖端面的一個偏心軸上,,傳感器的信號由通過光纖芯的反射光產(chǎn)生,以實現(xiàn)流量傳感的應(yīng)用,。Nanoscribe一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng),。江蘇高分辨率無掩膜光刻技術(shù)3D打印

江蘇高分辨率無掩膜光刻技術(shù)3D打印,無掩膜光刻

科學(xué)家們基于Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)(2PP),發(fā)明了GRIN光學(xué)微納制造工藝,。這種新的制造技術(shù)實現(xiàn)了簡單一步操作即可同時控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學(xué)元件,。憑借這種全新的制造工藝,科學(xué)家們完成了令人印象深刻的展示制作,,打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡(15μm直徑),。相似于人類眼睛晶狀體的梯度,這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加,,使其具有獨特的聚光特性,。Nanoscribe的PhotonicProfessional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學(xué)組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,,而是在孔型支架內(nèi),。通過調(diào)整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量,從而影響打印材料的有效折射率,。采用全新SCRIBE技術(shù)(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,,對折射率的調(diào)節(jié)范圍甚至超過0.3。德國進口無掩膜光刻工藝無掩膜光刻技術(shù)助力創(chuàng)新,。

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Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建工業(yè)級雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件,。利用Nanoscribe的雙光子聚合微納3D打印技術(shù),,斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心的科學(xué)家們新研發(fā)的微型內(nèi)窺鏡。將12050微米直徑的微光學(xué)器件直接打印在光纖上,,構(gòu)建了一款功能齊全的超薄像差校正光學(xué)相干斷層掃描探頭,。這是迄今有報道的尺寸低值排名優(yōu)先的自由曲面3D成像探頭,包括導(dǎo)管鞘在內(nèi)的直徑只為0.457mm,。

QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),,用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),,可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計自由度。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),,很大程度推動了生命科學(xué),微流體,,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作,。QuantumXshape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標準6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造,。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)Quantum X,,適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。

江蘇高分辨率無掩膜光刻技術(shù)3D打印,無掩膜光刻

斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心,,共同合作研發(fā)了世界上特別小的3D打印微型內(nèi)窺鏡。該內(nèi)窺鏡所用到的微光學(xué)器件寬度只有125微米,,可以用于直徑小于半毫米的血管內(nèi)進行內(nèi)窺鏡檢查,。而這個精密的微光學(xué)器件是通過使用德國Nanoscribe公司的雙光子微納3D打印設(shè)備制作的。微型內(nèi)窺鏡可以幫助檢測人體動脈內(nèi)的斑塊,、血栓和膽固醇晶體,,因此對于醫(yī)學(xué)檢測極其重要,可以有助于減少中風(fēng)和心臟病發(fā)作的風(fēng)險,。來自不來梅大學(xué)微型傳感器,、致動器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學(xué)家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式,使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng),,利用雙光子聚合原理(2PP)結(jié)合光刻技術(shù),,將自由形式3D微流控混合元件集成到預(yù)制的晶圓級二維微流道中。該微型混合器可以處理高達100微升/分鐘的高流速樣品,,適用于藥物和納米顆粒制造,,快速化學(xué)反應(yīng),、生物學(xué)測量和分析藥物等各種不同應(yīng)用。想要了解無掩膜光刻的特點和用途,,請致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。德國2PP無掩膜光刻3D打印

Nanoscribe的Photonic Professional GT2提供世界上特別高分辨率的3D無掩模光刻技術(shù)。江蘇高分辨率無掩膜光刻技術(shù)3D打印

全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設(shè)備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),,很大程度推動了生命科學(xué),微流體,,材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作,。QuantumXshape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標準6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺,。QuantumXshape具有先進的激光焦點軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至特別快的掃描速度,并以1MHz調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率江蘇高分辨率無掩膜光刻技術(shù)3D打印