Nanoscribe獨(dú)有的體素調(diào)諧技術(shù)2GL®可以在確保優(yōu)越的打印質(zhì)量的同時(shí)兼顧打印速度,，實(shí)現(xiàn)自由曲面微光學(xué)元件通過(guò)3D打印精確對(duì)準(zhǔn)到光纖或光子芯片的光學(xué)軸線上,。NanoscribeQX平臺(tái)打印系統(tǒng)配備光纖照明單元用于光纖芯檢測(cè)，確保打印精細(xì)對(duì)準(zhǔn)到光纖的光學(xué)軸線上,。共焦檢測(cè)模塊用于3D基板拓?fù)錁?gòu)圖,，實(shí)現(xiàn)在芯片的表面和面上的精細(xì)打印對(duì)準(zhǔn)。Nanoscribe灰度光刻3D打印技術(shù)3Dprintingby2GL®是市場(chǎng)上基于2PP原理微納加工技術(shù)中打印速度**快的,。其動(dòng)態(tài)體素調(diào)整需要相對(duì)較少的打印層次,，即可實(shí)現(xiàn)具有光學(xué)級(jí)別、光滑以及納米結(jié)構(gòu)表面打印結(jié)果,。這意味著在滿(mǎn)足苛刻的打印質(zhì)量要求的同時(shí),，其打印速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)任何當(dāng)前可用的2PP三維打印系統(tǒng)。2GL®作為市場(chǎng)上快的增材制造技術(shù),，非常適用于3D納米和微納加工，在滿(mǎn)足優(yōu)越打印質(zhì)量的前提下,，其吞吐量相比任何當(dāng)前雙光子光刻系統(tǒng)都高出10到60倍,。Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司為您解析雙光子灰度光刻技術(shù)。江蘇進(jìn)口灰度光刻系統(tǒng)

微透鏡陣列對(duì)表面質(zhì)量和形貌要求比較高,，因此對(duì)制備工藝提出了很?chē)?yán)格的要求,。科研人員提出了許多方法來(lái)實(shí)現(xiàn)具有高表面質(zhì)量的微透鏡陣列的高效制備,，比如針對(duì)柔性材料的熱壓印成型方法實(shí)現(xiàn)了大面積微透鏡陣列,；利用灰度光刻工藝和轉(zhuǎn)印方法在柔性的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)襯底上實(shí)現(xiàn)了微透鏡陣列；利用光刻和熱回流方式實(shí)現(xiàn)了基于聚二甲基硅氧烷材料的微透鏡陣列等,。上述方法可以實(shí)現(xiàn)具有較高表面質(zhì)量的微透鏡陣列,，但通常需要使用復(fù)雜的工藝和步驟。此外,，這些微透鏡基質(zhì)通常為軟質(zhì)材料,，材料本身的機(jī)械抗性和耐酸堿的能力比較差。相對(duì)而言,，透明硬脆材料例如石英,、藍(lán)寶石等由于其極高的硬度和極強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性，在光學(xué)窗口,、光學(xué)元件等方面的應(yīng)用更加廣,。因此,，如何制備具有高表面質(zhì)量的透明硬脆材料微透鏡陣列等微光學(xué)元件成為研究人員研究的焦點(diǎn)。山東超高速灰度光刻無(wú)掩光刻N(yùn)anoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技（上海）有限公司帶您一起了解雙光子灰度光刻系統(tǒng)的應(yīng)用,。

近年來(lái),，實(shí)現(xiàn)微納尺度下的3D灰度光刻結(jié)構(gòu)在包括微機(jī)電（MEMS）、微納光學(xué)及微流控研究領(lǐng)域內(nèi)備受關(guān)注,，良好的線性側(cè)壁灰度結(jié)構(gòu)可以很大程度上提高維納器件的靜電力學(xué)特性,，信號(hào)通訊性能及微流通道的混合效率等。相比一些獲取灰度結(jié)構(gòu)的傳統(tǒng)手段,，如超快激光刻蝕工藝,、電化學(xué)腐蝕或反應(yīng)離子刻蝕等，灰度直寫(xiě)圖形曝光結(jié)合干法刻蝕可以更加方便地制作任意圖形的3D微納結(jié)構(gòu),。該方法中,，利用微鏡矩陣（DMD）開(kāi)合控制的激光灰度直寫(xiě)曝光表現(xiàn)出更大的操作便捷性、易于設(shè)計(jì)等特點(diǎn),，不需要特定的灰度色調(diào)掩膜版,，結(jié)合軟件的圖形化設(shè)計(jì)可以直觀地獲得灰度結(jié)構(gòu)。

Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫(xiě)技術(shù)(2GL®)可用于工業(yè)領(lǐng)域2.5D微納米結(jié)構(gòu)原型母版制作,。2GL通過(guò)創(chuàng)新的設(shè)計(jì)重新定義了典型復(fù)雜結(jié)構(gòu)微納光學(xué)元件的微納加工制造,。該技術(shù)結(jié)合了灰度光刻的出色性能，以及雙光子聚合的亞微米級(jí)分辨率和靈活性,。而且GT2使用雙光子聚合(2PP)來(lái)產(chǎn)生幾乎任何3D形狀：晶格,、木堆型結(jié)構(gòu)、自由設(shè)計(jì)的圖案,、順滑的輪廓,、銳利的邊緣、表面的和內(nèi)置倒扣以及橋接結(jié)構(gòu),。PhotonicProfessionalGT2結(jié)合了設(shè)計(jì)的靈活性和操控的簡(jiǎn)潔性,，以及普遍的材料-基板選擇。因此,，它是一個(gè)理想的科學(xué)儀器和工業(yè)快速成型設(shè)備,，適用于多用戶(hù)共享平臺(tái)和研究實(shí)驗(yàn)室。Nanoscribe的3D無(wú)掩模光刻機(jī)目前已經(jīng)分布在30多個(gè)國(guó)家的前沿研究中,，超過(guò)1,000個(gè)開(kāi)創(chuàng)性科學(xué)研究項(xiàng)目是這項(xiàng)技術(shù)強(qiáng)大的設(shè)計(jì)和制造能力的特別好證明,。灰度光刻技術(shù)可降低成本和提高生產(chǎn)效率,。

Nanoscribe成立于2007年,，是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的衍生公司。Nanoscribe憑借其過(guò)硬的技術(shù)背景和市場(chǎng)敏銳度奠定了其市場(chǎng)優(yōu)先領(lǐng)導(dǎo)地位，并以高標(biāo)準(zhǔn)來(lái)要求自己以滿(mǎn)足客戶(hù)的需求,。Nanoscribe將在未來(lái)在基于雙光子聚合技術(shù)的3D微納加工系統(tǒng)基礎(chǔ)上進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)品組合實(shí)現(xiàn)多樣化,，以滿(mǎn)足不用客戶(hù)群的需求。Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)QuantumX,Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻無(wú)掩模光刻系統(tǒng)QuantumX,，適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件,。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)作工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻無(wú)掩模光刻系統(tǒng)QuantumX，適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件,?；叶裙饪碳夹g(shù)具有高精度、高效率的特點(diǎn),。天津超高速灰度光刻微納加工系統(tǒng)

如需了解更多全新工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)Quantum X的內(nèi)容,，請(qǐng)咨詢(xún)Nanoscribe中國(guó)分公司納糯三維。江蘇進(jìn)口灰度光刻系統(tǒng)

在雙光子灰度光刻工藝中,，激光功率調(diào)制和動(dòng)態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實(shí)現(xiàn)同步進(jìn)行,，以便對(duì)每個(gè)掃描平面進(jìn)行全體素大小控制。Nanoscribe稱(chēng),，QuantumX在每個(gè)掃描區(qū)域內(nèi)可產(chǎn)生簡(jiǎn)單和復(fù)雜的光學(xué)形狀,，具有可變的特征高度。離散和精確的步驟,，以及本質(zhì)上為準(zhǔn)連續(xù)的形貌,，可以在一個(gè)步驟中完成打印，而不需要多步光刻或多塊掩模制造,。QuantumX支持多種類(lèi)型襯底,，包括透明和不透明的襯底，可用于比較大尺寸為6英寸的晶圓,。Nanoscribe展示了其公司易于操作的光刻機(jī)，允許高縱橫比,，支持高結(jié)構(gòu),，無(wú)需掩模、旋涂和預(yù)烘烤或后烘烤,。江蘇進(jìn)口灰度光刻系統(tǒng)