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海南高分辨率無掩膜光刻技術

來源: 發(fā)布時間:2025-03-13

Nanoscribe的PhotonicProfessional設備可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅),。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,而是在孔型支架內,。通過調整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內材料的聚合量,,從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,,對折射率的調節(jié)范圍甚至超過0.3,。為了證明SCRIBE新技術的巨大潛力,科研人員打印了眾多令人矚目的光學組件,,例如已經(jīng)提到的龍勃透鏡,。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示)。通過色散透鏡聚焦的光因波長不同焦點位置也不盡相同無掩膜光刻技術在全球范圍內受到高度關注,。海南高分辨率無掩膜光刻技術

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由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標準材料,。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場上易于操作的“負膠”,。IP樹脂作為高效的打印材料,,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。我們提供針對優(yōu)化不同光刻膠和應用領域的高級配套軟件,,從而簡化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領域的設計迭代周期,,包括仿生表面,微光學元件,,機械超材料和3D細胞支架等,。利用Nanoscribe的雙光子聚合微納3D打印技術,斯圖加特大學和阿德萊德大學的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學研究中心的科學家們新研發(fā)的微型內窺鏡,。湖南工業(yè)級無掩膜光刻3D微納加工更多無掩模光刻系統(tǒng)的信息請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。

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QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),,以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度,。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義,。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內打印任何結構,很大程度推動了生命科學,,微流體,,材料工程學中復雜應用的快速原型制作

基于低成本和小型化特點的集成光子芯片技術,該項目有望將光學相干斷層掃描(OCT)從局限的眼科臨床應用帶入更廣的眼科護理移動應用中來,。由維也納醫(yī)科大學牽頭的HandheldOCT研究項目旨在運用成熟的光學相干斷層掃描成像技術(OCT),,來實現(xiàn)便攜式現(xiàn)場即時眼科護理檢查,。預計此款正在開發(fā)的具備先進技術和成本效應的便攜式集成光子芯片技術OCT成像設備將用于診斷和監(jiān)測多種眼部疾病,例如,,老年性黃斑病變,、糖尿病性視網(wǎng)膜病變以及青光眼,這些疾病在世界范圍內都是導致失明的主要因素,。該便攜式設備將會在維也納總醫(yī)院進行測試以驗證其在眼科診斷的效果,。Nanoscribe的3D無掩模光刻機已經(jīng)運用在30多個國家的前沿研究中。

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德國公司Nanoscribe是高精度增材制造技術的帶領開發(fā)商,,也是BICO集團(前身為Cellin)的一部分,,推出了一款新型高精度3D打印機,用于制造微納米級的精細結構,。據(jù)該公司稱,,新的QuantumX形狀加入了該公司屢獲殊榮的QuantumX產(chǎn)品線,其晶圓處理能力使“3D微型零件的批量處理和小批量生產(chǎn)變得容易”,。它有望顯著提高生命科學,、材料工程、微流體,、微光學,、微機械和微機電系統(tǒng)(MEMS)應用的精度、輸出和可用性,?;陔p光子聚合(2PP),一種提供比較高精度和完整設計自由度的增材制造方法和Nanoscribe專有的雙光子灰度光刻(2GL)技術,,Nanoscribe認為直接激光寫入系統(tǒng)是微加工的比較好選擇幾乎任何2.5D或3D形狀的結構,,在面積達25cm2的區(qū)域上都具有亞微米級精度。Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼首席安全官(CSO)MichaelThiel表示,,該公司正在通過其新機器為科學和工業(yè)用途的晶圓級高精度微制造設定新標準,。“雖然QuantumX已經(jīng)通過雙光子灰度光刻技術推動了平面微光學器件的超快速制造,,但我們希望QuantumX形狀能夠使基于雙光子聚合的高精度3D打印成為非常出色的高效可靠工具用于研究實驗室和工業(yè)中的快速原型制作和批量生產(chǎn),。”歡迎咨詢納糯三維科技(上海)有限公司無掩膜光刻技術運用領域廣,,分辨高,,如需了解更多請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維。湖南工業(yè)級無掩膜光刻3D微納加工

無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數(shù)據(jù),。海南高分辨率無掩膜光刻技術

來自德國亞琛工業(yè)大學以及萊布尼茲材料研究所科學家們使用Nanoscribe的3D雙光子無掩模光刻系統(tǒng)以一種全新的方式制作帶有嵌入式3D微流控器件的2D微型通道,,該器件的非常重要部件是模擬蜘蛛噴絲頭的復雜噴嘴設計。科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(2PP)打印微型通道的聚合物母版,,并結合軟光刻技術做后續(xù)復制工作。隨后,,在密閉的微流道中通過芯片內3D微納加工技術直接制作復雜結構噴絲頭,。這種集成復雜3D結構于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開了新的大門。布魯塞爾自由大學的光子學研究小組(B-PHOT)的科學家們正在通過使用Nanoscribe雙光子聚合技術(2PP)將光波導漏斗3D打印到光纖末端上來攻克將具有不同模場幾何形狀的兩個元件之間的光束進行高效和穩(wěn)健耦合這個難題,。這些錐形光束漏斗可調整SMF的模式場,,以匹配光子芯片上光波導模式場。Nanoscribe的2PP技術將可調整模場的錐形體作為階躍折射率光波導光束,。海南高分辨率無掩膜光刻技術