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德國(guó)超高速無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-24

借助Nanoscribe的3D微納加工技術(shù),,您可以實(shí)現(xiàn)亞細(xì)胞結(jié)構(gòu)的三維成像,,適用于細(xì)胞研究和芯片實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用(lab-on-a-chip)。我們的客戶成功使用Nanoscribe雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)制作了3D細(xì)胞支架來(lái)研究細(xì)胞生長(zhǎng),、遷移和干細(xì)胞分化,。此外,3D微納加工技術(shù)還可以應(yīng)用在微創(chuàng)手術(shù)的生物醫(yī)學(xué)儀器,,包括植入物,,微針和微孔膜等制作。Nanoscribe的無(wú)掩模光刻系統(tǒng)在三維微納制造領(lǐng)域是一個(gè)不折不扣的多面手,,由于其出色的通用性,、與材料的普適性和便于操作的軟件工具,在科學(xué)和工業(yè)項(xiàng)目中備受青睞,。這種可快速打印的微結(jié)構(gòu)在科研,、手板定制、模具制造和小批量生產(chǎn)中具有廣闊的應(yīng)用前景,。也就是說(shuō),,在納米級(jí)、微米級(jí)以及中尺度結(jié)構(gòu)上,,可以直接生產(chǎn)用于工業(yè)批量生產(chǎn)的聚合物母版,。無(wú)掩膜光刻技術(shù)的更多信息,請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。德國(guó)超高速無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)

德國(guó)超高速無(wú)掩膜光刻系統(tǒng),無(wú)掩膜光刻

Nanoscribe稱,,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),,目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專利,。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型,。該系統(tǒng)配備三個(gè)用于實(shí)時(shí)過(guò)程控制的攝像頭和一個(gè)樹(shù)脂分配器,。為了簡(jiǎn)化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,物鏡和樣品夾持器識(shí)別會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。多層衍射光學(xué)元件(diffractiveopticalelement,,DOE)可以通過(guò)在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來(lái)完成,,從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間。Nanoscribe表示,,折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力,,可制作單個(gè)光學(xué)元件、填充因子高達(dá)100%的陣列,,以及可以在直接和無(wú)掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀,,如球面和非球面透鏡。QuantumX的軟件能實(shí)時(shí)控制和監(jiān)控打印作業(yè),,并通過(guò)交互式觸摸屏控制面板進(jìn)行操作,。為了更好地管理和安排用戶的項(xiàng)目,打印隊(duì)列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè),。2PP無(wú)掩膜光刻三維光刻想要了解雙光子無(wú)掩模光刻技術(shù)在微納醫(yī)學(xué)中的應(yīng)用,,請(qǐng)關(guān)注Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維。

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雙光子聚合(2PP)是一種可實(shí)現(xiàn)比較高精度和完全設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法,。而作為同類比較好的3D微加工系統(tǒng)QuantumXshape具有下列優(yōu)異性能:首先,,在所有空間方向上低至100納米的特征尺寸控制,適用于納米和微米級(jí)打??;其次制作高達(dá)50毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu),適用于中尺度打印,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實(shí)現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,同時(shí)還離不開(kāi)工業(yè)級(jí)飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅(jiān)固的花崗巖操作平臺(tái),。QuantumXshape具有先進(jìn)的激光焦點(diǎn)軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,并以1MHz調(diào)制速率動(dòng)態(tài)調(diào)整激光功率,。QuantumXshape帶有獨(dú)特的自動(dòng)界面查找功能,,可以以低至30納米的精度檢測(cè)基板表面。這種在比較高掃描速度下的納米級(jí)精度體現(xiàn),,再加上自校準(zhǔn)程序,,可在特別短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)可靠和準(zhǔn)確的打印,為3D微納加工樹(shù)立了新榜樣,。這些優(yōu)異的性能使QuantumXshape成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué),、微流體、材料表面工程,、MEMS等其他領(lǐng)域中晶圓級(jí)規(guī)模生產(chǎn)的理想工具,。

Nanoscribe作為一家納米,,微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造**,一直致力于開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)和無(wú)掩模光刻系統(tǒng),,以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案,。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,,有超過(guò)2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案,。作為基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的微納加工領(lǐng)域市場(chǎng)帶領(lǐng)者,Nanoscribe在全球30多個(gè)國(guó)家擁有各科領(lǐng)域的客戶群體,?;?PP微納加工技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí),Nanoscribe為頂端科學(xué)研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強(qiáng)大的技術(shù)支持,,并推動(dòng)生物打印,、微流體、微納光學(xué),、微機(jī)械,、生物醫(yī)學(xué)工程和集成光子學(xué)技術(shù)等不同領(lǐng)域的發(fā)展?!拔覀兎浅F诖尤隒ELLINK集團(tuán),,共同探索雙光子聚合技術(shù)在未來(lái)所帶來(lái)的更大機(jī)遇”NanoscribeCEOMartinHermatschweiler說(shuō)道。更多有關(guān)3D雙光子無(wú)掩模光刻技術(shù)和產(chǎn)品,,請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。

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事實(shí)上,雙光子聚合加工是在2001年開(kāi)始真正應(yīng)用在微納制造領(lǐng)域的,,其先驅(qū)者是東京大阪大學(xué)的Kawata教授以及孫洪波教授,。當(dāng)時(shí)這個(gè)實(shí)驗(yàn)室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說(shuō)中的納米牛引起了極大的轟動(dòng):《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,,這篇文獻(xiàn)中還進(jìn)行了另外一個(gè)更厲害的工作,,這兩位教授做出了當(dāng)時(shí)世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達(dá)到了120nm,,超越了衍射極限,,同時(shí)還沒(méi)有使用諸如近場(chǎng)加工之類的解決方案,而是單純的利用了材料的性質(zhì),。來(lái)自不來(lái)梅大學(xué)微型傳感器,、致動(dòng)器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學(xué)家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式,使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng),,利用雙光子聚合原理(2PP)結(jié)合光刻技術(shù),,將自由形式3D微流控混合元件集成到預(yù)制的晶圓級(jí)二維微流道中。該微型混合器可以處理高達(dá)100微升/分鐘的高流速樣品,,適用于藥物和納米顆粒制造,,快速化學(xué)反應(yīng),、生物學(xué)測(cè)量和分析藥物等各種不同應(yīng)用。全新Quantum X shape是Nanoscribe工業(yè)級(jí)無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X產(chǎn)品系列的第二臺(tái)設(shè)備,。上海工業(yè)級(jí)無(wú)掩膜光刻技術(shù)

無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)未來(lái)發(fā)展前景如何,,歡迎咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。德國(guó)超高速無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)

高精度的增材制造可打印出頂端的折射微納光學(xué)元件,。得益于Nanoscribe雙光子灰度光刻技術(shù)所具有的設(shè)計(jì)自由度和光學(xué)質(zhì)量的特點(diǎn),,您可以進(jìn)行幾乎任何形狀,包括球形,,非球形或者自由曲面和混合的創(chuàng)新設(shè)計(jì),。另外,Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)所具有的高設(shè)計(jì)自由度,,可以在各種預(yù)先構(gòu)圖的基板上實(shí)現(xiàn)波導(dǎo)和混合折射衍射光學(xué)器件等3D微納加工制作,。結(jié)合Nanoscribe公司的高精度定位系統(tǒng),可以按設(shè)計(jì)需要精確地集成復(fù)雜的微納結(jié)構(gòu),。由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料,。所打印的亞微米級(jí)別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場(chǎng)上易于操作的“負(fù)膠”,。IP樹(shù)脂作為高效的打印材料,,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一。我們提供針對(duì)優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級(jí)配套軟件,,從而簡(jiǎn)化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計(jì)迭代周期,,包括仿生表面,微光學(xué)元件,,機(jī)械超材料和3D細(xì)胞支架等,。德國(guó)超高速無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)

納糯三維科技(上海)有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加楓路26號(hào)108室,是一家專業(yè)的作為Nanoscribe在中國(guó)全資子公司,,納糯三維科技(上海)有限公司可進(jìn)行三維打印科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開(kāi)發(fā),,技術(shù)轉(zhuǎn)讓,技術(shù)咨詢,,技術(shù)服務(wù),,三維打印設(shè)備,光電機(jī)一體化設(shè)備和相關(guān)零配件的批發(fā),,進(jìn)出口,,傭金代理,并提供相關(guān)配套服務(wù),,貿(mào)易信息咨詢,,企業(yè)管理咨詢。公司,。在納糯三維近多年發(fā)展歷史,,公司旗下現(xiàn)有品牌Nanoscribe等,。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力,多年來(lái)一直專注于作為Nanoscribe在中國(guó)全資子公司,,納糯三維科技(上海)有限公司可進(jìn)行三維打印科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開(kāi)發(fā),,技術(shù)轉(zhuǎn)讓,技術(shù)咨詢,,技術(shù)服務(wù),,三維打印設(shè)備,光電機(jī)一體化設(shè)備和相關(guān)零配件的批發(fā),,進(jìn)出口,,傭金代理,,并提供相關(guān)配套服務(wù),,貿(mào)易信息咨詢,企業(yè)管理咨詢,。的發(fā)展和創(chuàng)新,,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù)。誠(chéng)實(shí),、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的PPGT2,,Quantum X系列,,雙光子微納激光直寫系統(tǒng),雙光子微納光刻系統(tǒng),。