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天津超高速無(wú)掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-26

雙光子聚合(2PP)是一種可實(shí)現(xiàn)比較高精度和完全設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法,。而作為同類(lèi)比較好的3D微加工系統(tǒng)QuantumXshape具有下列優(yōu)異性能:首先,,在所有空間方向上低至100納米的特征尺寸控制,適用于納米和微米級(jí)打??;其次制作高達(dá)50毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu),適用于中尺度打印,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實(shí)現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,同時(shí)還離不開(kāi)工業(yè)級(jí)飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅(jiān)固的花崗巖操作平臺(tái),。QuantumXshape具有先進(jìn)的激光焦點(diǎn)軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,并以1MHz調(diào)制速率動(dòng)態(tài)調(diào)整激光功率,。QuantumXshape帶有獨(dú)特的自動(dòng)界面查找功能,,可以以低至30納米的精度檢測(cè)基板表面。這種在比較高掃描速度下的納米級(jí)精度體現(xiàn),,再加上自校準(zhǔn)程序,,可在特別短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)可靠和準(zhǔn)確的打印,為3D微納加工樹(shù)立了新榜樣,。這些優(yōu)異的性能使QuantumXshape成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué),、微流體、材料表面工程,、MEMS等其他領(lǐng)域中晶圓級(jí)規(guī)模生產(chǎn)的理想工具,。德國(guó)Nanoscribe雙光子無(wú)掩模光刻微納技術(shù)你想了解嗎?歡迎咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維,。天津超高速無(wú)掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng)

天津超高速無(wú)掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng),無(wú)掩膜光刻

由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料,。所打印的亞微米級(jí)別分辨率器件具有特別高的形狀精度,屬于目前市場(chǎng)上易于操作的“負(fù)膠”,。IP樹(shù)脂作為高效的打印材料,,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一,。我們提供針對(duì)優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級(jí)配套軟件,從而簡(jiǎn)化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計(jì)迭代周期,,包括仿生表面,,微光學(xué)元件,機(jī)械超材料和3D細(xì)胞支架等,。利用Nanoscribe的雙光子聚合微納3D打印技術(shù),,斯圖加特大學(xué)和阿德萊德大學(xué)的研究人員聯(lián)手澳大利亞醫(yī)學(xué)研究中心的科學(xué)家們新研發(fā)的微型內(nèi)窺鏡。將12050微米直徑的微光學(xué)器件直接打印在光纖上,,構(gòu)建了一款功能齊全的超薄像差校正光學(xué)相干斷層掃描探頭,。這是迄今有報(bào)道的尺寸低值排名優(yōu)先的自由曲面3D成像探頭,包括導(dǎo)管鞘在內(nèi)的直徑只為mm,。湖南雙光子聚合無(wú)掩膜光刻無(wú)掩膜激光直寫(xiě)Nanoscribe 的Quantum X 無(wú)掩模光刻系統(tǒng)在多個(gè)領(lǐng)域運(yùn)用較廣,。

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Nanoscribe稱,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),,目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專利,。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。QuantumX的軟件能實(shí)時(shí)控制和監(jiān)控打印作業(yè),,并通過(guò)交互式觸摸屏控制面板進(jìn)行操作,。為了更好地管理和安排用戶的項(xiàng)目,打印隊(duì)列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè),。該軟件有程序向?qū)?,可在一開(kāi)始就指導(dǎo)設(shè)計(jì)師和工程師完成打印作業(yè),并能夠接受任意光學(xué)設(shè)計(jì)的灰度圖像,。例如,,可接受高達(dá)32位分辨率的BMP、PNG或TIFF文件,,以便使用Nanoscribe的QuantumX進(jìn)行直接制造,。在雙光子灰度光刻工藝中,激光功率調(diào)制和動(dòng)態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實(shí)現(xiàn)同步進(jìn)行,,以便對(duì)每個(gè)掃描平面進(jìn)行全體素大小控制,。Nanoscribe稱,QuantumX在每個(gè)掃描區(qū)域內(nèi)可產(chǎn)生簡(jiǎn)單和復(fù)雜的光學(xué)形狀,,具有可變的特征高度,。離散和精確的步驟,以及本質(zhì)上為準(zhǔn)連續(xù)的形貌,,可以在一個(gè)步驟中完成打印,,而不需要多步光刻或多塊掩模制造,。

QuantumXshape是一款真正意義上的全能機(jī)型?;陔p光子聚合技術(shù),,該激光直寫(xiě)系統(tǒng)不只是快速成型制作的特別好的機(jī)型,同時(shí)適用于基于晶圓上的任何亞微米精度的2.5D及3D形狀的規(guī)?;a(chǎn),。QuantumXshape在3D微納加工領(lǐng)域非常出色的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結(jié)構(gòu)應(yīng)用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL®),。全新的QuantumXshape的高精度有賴于其高能力的體素調(diào)制比和超精細(xì)處理網(wǎng)格,,從而實(shí)現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,,受益于雙光子灰度光刻對(duì)體素的微調(diào),,該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達(dá)到超光滑,同時(shí)保持高精度的形狀控制,。Photonic Professional GT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,。

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事實(shí)上,雙光子聚合加工是在2001年開(kāi)始真正應(yīng)用在微納制造領(lǐng)域的,,其先驅(qū)者是東京大阪大學(xué)的Kawata教授以及孫洪波教授,。當(dāng)時(shí)這個(gè)實(shí)驗(yàn)室在nature上發(fā)表的一篇工作,也就是傳說(shuō)中的納米牛引起了極大的轟動(dòng):《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices:Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是,,這篇文獻(xiàn)中還進(jìn)行了另外一個(gè)更厲害的工作,,這兩位教授做出了當(dāng)時(shí)世界上特別小的彈簧振子,其加工分辨率達(dá)到了120nm,,超越了衍射極限,,同時(shí)還沒(méi)有使用諸如近場(chǎng)加工之類(lèi)的解決方案,而是單純的利用了材料的性質(zhì),。來(lái)自不來(lái)梅大學(xué)微型傳感器,、致動(dòng)器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學(xué)家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式,使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng),,利用雙光子聚合原理(2PP)結(jié)合光刻技術(shù),,將自由形式3D微流控混合元件集成到預(yù)制的晶圓級(jí)二維微流道中。該微型混合器可以處理高達(dá)100微升/分鐘的高流速樣品,,適用于藥物和納米顆粒制造,,快速化學(xué)反應(yīng)、生物學(xué)測(cè)量和分析藥物等各種不同應(yīng)用,。Nanoscribe的Quantum X打印系統(tǒng)的無(wú)掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求,。湖北高精度無(wú)掩膜光刻三維光刻

Photonic Professional GT在微納米3D打印,以及無(wú)掩模光刻領(lǐng)域樹(shù)立了行業(yè)內(nèi)新的標(biāo)竿,。天津超高速無(wú)掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng)

QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),,用于快速原型制作和晶圓級(jí)批量生產(chǎn),,以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫(xiě)系統(tǒng),,可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計(jì)自由度,。QuantumXshape可實(shí)現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工。這種效率的提升對(duì)于晶圓級(jí)批量生產(chǎn)尤其重要,,這對(duì)于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義,。總而言之,,該系統(tǒng)拓寬了3D微納加工在多個(gè)科研領(lǐng)域和工業(yè)行業(yè)應(yīng)用的更多可能性(如生命科學(xué),、材料工程、微流體,、微納光學(xué),、微機(jī)械和微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)等)。天津超高速無(wú)掩膜光刻三維微納米加工系統(tǒng)

納糯三維科技(上海)有限公司擁有作為Nanoscribe在中國(guó)全資子公司,,納糯三維科技(上海)有限公司可進(jìn)行三維打印科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開(kāi)發(fā),,技術(shù)轉(zhuǎn)讓,技術(shù)咨詢,,技術(shù)服務(wù),,三維打印設(shè)備,光電機(jī)一體化設(shè)備和相關(guān)零配件的批發(fā),,進(jìn)出口,,傭金代理,,并提供相關(guān)配套服務(wù),,貿(mào)易信息咨詢,企業(yè)管理咨詢,。等多項(xiàng)業(yè)務(wù),,主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋PPGT2,Quantum X系列,,雙光子微納激光直寫(xiě)系統(tǒng),,雙光子微納光刻系統(tǒng)。公司目前擁有專業(yè)的技術(shù)員工,,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長(zhǎng)空間,,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),深受員工與客戶好評(píng),。公司以誠(chéng)信為本,,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋PPGT2,Quantum X系列,,雙光子微納激光直寫(xiě)系統(tǒng),,雙光子微納光刻系統(tǒng),,我們本著對(duì)客戶負(fù)責(zé),對(duì)員工負(fù)責(zé),,更是對(duì)公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,,爭(zhēng)取做到讓每位客戶滿意。公司憑著雄厚的技術(shù)力量,、飽滿的工作態(tài)度,、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,,樹(shù)立了良好的PPGT2,,Quantum X系列,雙光子微納激光直寫(xiě)系統(tǒng),,雙光子微納光刻系統(tǒng)形象,,贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。