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實(shí)驗(yàn)室Nanoscribe無掩膜光刻

來源: 發(fā)布時間:2022-01-08

雙光子聚合(2PP)是一種可實(shí)現(xiàn)比較高精度和完全設(shè)計自由度的增材制造方法,。而作為同類比較好的3D微加工系統(tǒng)Quantum X shape具有下列優(yōu)異性能:首先,在所有空間方向上低至 100 納米的特征尺寸控制,,適用于納米和微米級打?。黄浯沃谱鞲哌_(dá) 50 毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu),,適用于中尺度打印,。高速3D微納加工系統(tǒng)Quantum X shape可實(shí)現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅(jiān)固的花崗巖操作平臺,。Quantum X  shape具有先進(jìn)的激光焦點(diǎn)軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,,并以 1 MHz 調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率。Quantum X shape 帶有獨(dú)特的自動界面查找功能,,可以以低至 30 納米的精度檢測基板表面,。這種在比較高掃描速度下的納米級精度體現(xiàn),再加上自校準(zhǔn)程序,,可在特別短的時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)可靠和準(zhǔn)確的打印,,為 3D 微納加工樹立了新榜樣。這些優(yōu)異的性能使Quantum X shape 成為快速原型制作和應(yīng)用于微納光學(xué),、微流體,、材料表面工程、MEMS 等其他領(lǐng)域中晶圓級規(guī)模生產(chǎn)的理想工具,。德國Nanoscribe公司于2018年底推出了全新的微納3D打印系統(tǒng)- Photonic Professional GT2 (PPGT2),。實(shí)驗(yàn)室Nanoscribe無掩膜光刻

實(shí)驗(yàn)室Nanoscribe無掩膜光刻,Nanoscribe

Nanoscribe公司成立于2007年,總部位于德國卡爾斯魯厄,,秉持著卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的技術(shù)背景的德國卡爾蔡司公司的支持,,經(jīng)過十幾年的不斷研究和成長,已然成為微納米生產(chǎn)的帶領(lǐng)者,,一直致力于推動諸如力學(xué)超材料,,微納機(jī)器人,再生醫(yī)學(xué)工程,微光學(xué)等創(chuàng)新領(lǐng)域的研究和發(fā)展,,并提供優(yōu)化制程方案,。如今,Nanoscribe客戶遍布全球30個國家,,超過1500名用戶正在使用Nanoscribe3D打印系統(tǒng),。這些大學(xué)包含哈佛大學(xué)、加州理工學(xué)院,、牛津大學(xué),、倫敦帝國理工學(xué)院和蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院等等。為了拓展并加強(qiáng)中國及亞太地區(qū)的銷售推廣和售后服務(wù)范圍,,Nanoscribe于2017年底在上海成立了獨(dú)資子公司-納糯三維科技(上海)有限公司,。自Nanoscribe進(jìn)軍中國市場以來,已有20多家出名大學(xué)和研究所成為了Nanoscribe用戶,,其中包括多所C9前列高校聯(lián)盟成員,,例如:北京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),,南京大學(xué)等等,。微納光刻N(yùn)anoscribe技術(shù)德國Nanoscribe公司的Photonic Professional GT系列是目前世界公認(rèn)的打印精度處于頭一位的3D打印機(jī)。

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Nanoscribe公司Photonic Professional GT2高速3D打印系統(tǒng)制作的高精度器件圖登上了剛發(fā)布的商業(yè)微納制造雜志“Commercial Micro Manufacturing magazine”(CMM),。文章中介紹了高精度3D打印,,并重點(diǎn)講解了先進(jìn)的打印材料是如何讓雙光子聚合技術(shù)應(yīng)用錦上添花的。Nanoscribe公司的Photonic Professional GT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術(shù)融入強(qiáng)大了3D打印工作流程,,實(shí)現(xiàn)了各種不同的打印方案,。雙光子聚合技術(shù)用于3D微納結(jié)構(gòu)的增材制造,可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復(fù)雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結(jié)構(gòu)制作,。 Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(shù)(2GL ®)可用于工業(yè)領(lǐng)域2.5D微納米結(jié)構(gòu)原型母版制作,。2GL通過創(chuàng)新的設(shè)計重新定義了典型復(fù)雜結(jié)構(gòu)微納光學(xué)元件的微納加工制造。該技術(shù)結(jié)合了灰度光刻的出色性能,,以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性,。

Nanoscribe成立于 2007 年,是卡爾斯魯厄理工學(xué)院 (KIT) 的衍生公司,。Nanoscribe 憑借其過硬的技術(shù)背景和市場敏銳度奠定了其市場優(yōu)先領(lǐng)導(dǎo)地位,,并以高標(biāo)準(zhǔn)來要求自己以滿足客戶的需求。 Nanoscribe 將在未來在基于雙光子聚合技術(shù)的3D 微納加工系統(tǒng)基礎(chǔ)上進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)品組合實(shí)現(xiàn)多樣化,,以滿足不用客戶群的需求,。Nanoscribe作為一家納米,微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造**,,一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng),,以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,有超過2,500 多名用戶在使用我們突破性的 3D 微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案,。Nanoscribe公司雙光子聚合(2PP)技術(shù)結(jié)合增材制造可以實(shí)現(xiàn)超越二維微流體平面的三維結(jié)構(gòu)幾何形狀的制作,。

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由Nanoscribe研發(fā)的IP系列光刻膠是用于特別高分辨率微納3D打印的標(biāo)準(zhǔn)材料。所打印的亞微米級別分辨率器件具有特別高的形狀精度,,屬于目前市場上易于操作的“負(fù)膠”,。IP樹脂作為高效的打印材料,是Nanoscribe微納加工解決方案的基本組成部分之一,。我們提供針對優(yōu)化不同光刻膠和應(yīng)用領(lǐng)域的高級配套軟件,,從而簡化3D打印工作流程并加快科研和工業(yè)領(lǐng)域的設(shè)計迭代周期,包括仿生表面,,微光學(xué)元件,,機(jī)械超材料和3D細(xì)胞支架等。世界上頭一臺雙光子灰度光刻(2GL ®)系統(tǒng)Quantum X實(shí)現(xiàn)了2D和2.5D微納結(jié)構(gòu)的增材制造,。該無掩模光刻系統(tǒng)將灰度光刻的出色性能與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)的精度和靈活性相結(jié)合,,從而達(dá)到亞微米分辨率并實(shí)現(xiàn)對體素大小的超快控制,自動化打印以及特別高的形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面,。研究人員利用Nanoscribe公司的3D光刻技術(shù)將光學(xué)引線鍵合到芯片上,,有效地將各種光子集成平臺連接起來。實(shí)驗(yàn)室Nanoscribe無掩膜光刻

更多有關(guān)3D雙光子無掩模光刻技術(shù)的咨詢,,歡迎致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維,。實(shí)驗(yàn)室Nanoscribe無掩膜光刻

為了進(jìn)一步提升技術(shù)先進(jìn)性,科研人員又在新材料研發(fā)的過程中發(fā)現(xiàn)了巨大的潛力,。一方面,,利用SCRIBE新技術(shù)的情況下,高折射率的光刻膠可進(jìn)一步拓展對打印結(jié)構(gòu)的光學(xué)性能的調(diào)節(jié)度,。另一方面,低自發(fā)熒光的可打印材料非常適用于生物成像領(lǐng)域,。Nanoscribe公司的IP系列光刻膠,,例如具有高折射率的IP-n162和具有生物相容性和低自發(fā)熒光的IP-Visio已經(jīng)為接下來的研究提供了進(jìn)一步的可能。為了證明SCRIBE新技術(shù)的巨大潛力,,科研人員打印了眾多令人矚目的光學(xué)組件,,例如已經(jīng)提到的龍勃透鏡。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示),。通過色散透鏡聚焦的光因波長不同焦點(diǎn)位置也不盡相同,。通過組合不同折射率的透鏡可幫助降低透鏡的色差。在給出的例子中,,成像中的熒光強(qiáng)度和折射率高度相關(guān),,同時將打印的雙透鏡中的每個單獨(dú)透鏡可視化。實(shí)驗(yàn)室Nanoscribe無掩膜光刻

納糯三維科技(上海)有限公司是一家作為Nanoscribe在中國全資子公司,納糯三維科技(上海)有限公司可進(jìn)行三維打印科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開發(fā),,技術(shù)轉(zhuǎn)讓,,技術(shù)咨詢,技術(shù)服務(wù),,三維打印設(shè)備,,光電機(jī)一體化設(shè)備和相關(guān)零配件的批發(fā),進(jìn)出口,,傭金代理,,并提供相關(guān)配套服務(wù),貿(mào)易信息咨詢,,企業(yè)管理咨詢,。的公司,是一家集研發(fā),、設(shè)計,、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。納糯三維擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供PPGT2,Quantum X系列,,雙光子微納激光直寫系統(tǒng),,雙光子微納光刻系統(tǒng)。納糯三維不斷開拓創(chuàng)新,,追求出色,,以技術(shù)為先導(dǎo),以產(chǎn)品為平臺,,以應(yīng)用為重點(diǎn),,以服務(wù)為保證,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,,提供更優(yōu)服務(wù),。納糯三維創(chuàng)始人崔萬銀,始終關(guān)注客戶,,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。