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浙江德國雙光子聚合微納光刻

來源: 發(fā)布時間:2022-01-13

雙光子聚合(2PP)是一種可實現(xiàn)比較高精度和完全設計自由度的增材制造方法,。而作為同類比較好的3D微加工系統(tǒng)QuantumXshape具有下列優(yōu)異性能:首先,,在所有空間方向上低至100納米的特征尺寸控制,適用于納米和微米級打??;其次制作高達50毫米的目標結構,適用于中尺度打印,。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作,。這種高質(zhì)量的打印效果是結合了特別先進的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結果,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺,。QuantumXshape具有先進的激光焦點軌跡控制,,可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度,,并以1MHz調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率。QuantumXshape帶有獨特的自動界面查找功能,,可以以低至30納米的精度檢測基板表面,。這種在比較高掃描速度下的納米級精度體現(xiàn),再加上自校準程序,,可在特別短的時間內(nèi)實現(xiàn)可靠和準確的打印,,為3D微納加工樹立了新榜樣。這些優(yōu)異的性能使QuantumXshape成為快速原型制作和應用于微納光學,、微流體,、材料表面工程、MEMS等其他領域中晶圓級規(guī)模生產(chǎn)的理想工具,。Nanoscribe中國分公司-納糯三維邀您一起探討國內(nèi)在雙光子聚合技術領域的進展,。浙江德國雙光子聚合微納光刻

浙江德國雙光子聚合微納光刻,雙光子聚合

光子集成電路(PhotonicIntegratedCircuit,PIC)與電子集成電路類似,,但不同的是電子集成電路集成的是晶體管,、電容器、電阻器等電子器件,,而光子集成電路集成的是各種不同的光學器件或光電器件,,比如激光器、電光調(diào)制器,、光電探測器,、光衰減器、光復用/解復用器以及光放大器等,。集成光子學可較廣地應用于各種領域,,例如數(shù)據(jù)通訊,激光雷達系統(tǒng)的自動駕駛技術和YL領域中的移動感應設備等,。而光子集成電路這項關鍵技術,,尤其是微型光子組件應用,可以很大程度縮小復雜光學系統(tǒng)的尺寸并降低成本,。光子集成電路的關鍵技術還在于連接接口,,例如光纖到芯片的連接,可以有效提高集成度和功能性,。類似于這種接口的制造非常具有挑戰(zhàn)性,,需要權衡對準、效率和寬帶方面的種種要求,。針對這些困難,,科學家們提出了寬帶光纖耦合概念,并通過Nanoscribe的雙光子微納3D打印設備而制造的3D耦合器得以實現(xiàn),。北京納米雙光子聚合3D打印更多關于雙光子聚合技術的微納加工信息,,請關注Nanoscribe中國分公司-納糯三維的官網(wǎng),。

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來自德國亞琛工業(yè)大學以及萊布尼茲材料研究所科學家們使用Nanoscribe的3D雙光子無掩模光刻系統(tǒng)以一種全新的方式制作帶有嵌入式3D微流控器件的2D微型通道,該器件的非常重要部件是模擬蜘蛛噴絲頭的復雜噴嘴設計,??茖W家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(2PP)打印微型通道的聚合物母版,并結合軟光刻技術做后續(xù)復制工作,。隨后,在密閉的微流道中通過芯片內(nèi)3D微納加工技術直接制作復雜結構噴絲頭,。這種集成復雜3D結構于傳統(tǒng)平面微流控芯片的全新方式為微納加工制造打開了新的大門,。布魯塞爾自由大學的光子學研究小組(B-PHOT)的科學家們正在通過使用Nanoscribe雙光子聚合技術(2PP)將光波導漏斗3D打印到光纖末端上來攻克將具有不同模場幾何形狀的兩個元件之間的光束進行高效和穩(wěn)健耦合這個難題。這些錐形光束漏斗可調(diào)整SMF的模式場,,以匹配光子芯片上光波導模式場,。Nanoscribe的2PP技術將可調(diào)整模場的錐形體作為階躍折射率光波導光束。

QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),,用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),,以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),,可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度,。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義,。總而言之,,該系統(tǒng)拓寬了3D微納加工在多個科研領域和工業(yè)行業(yè)應用的更多可能性(如生命科學,、材料工程、微流體,、微納光學,、微機械和微電子機械系統(tǒng)(MEMS)等)。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設備,,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結構,,很大程度推動了生命科學,微流體,,材料工程學中復雜應用的快速原型制作,。QuantumXshape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng),非常適合標準6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造,。Nanoscribe中國分公司-納糯三維為您揭曉飛秒激光雙光子聚合微納加工系統(tǒng)及方法,。

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Nanoscribe的PhotonicProfessional設備可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,,而是在孔型支架內(nèi),。通過調(diào)整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量,,從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,,對折射率的調(diào)節(jié)范圍甚至超過0.3,。為了證明SCRIBE新技術的巨大潛力,科研人員打印了眾多令人矚目的光學組件,,例如已經(jīng)提到的龍勃透鏡,。此外科研人員還打印了消色差雙合透鏡(如圖示)。通過色散透鏡聚焦的光因波長不同焦點位置也不盡相同,。通過組合不同折射率的透鏡可幫助降低透鏡的色差,。在給出的例子中,成像中的熒光強度和折射率高度相關,,同時將打印的雙透鏡中的每個單獨透鏡可視化,。Nanoscribe中國分公司-納糯三維帶您一起了解飛秒激光雙光子聚合微納加工。江蘇新型雙光子聚合無掩光刻

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Nanoscribe公司PhotonicProfessionalGT2高速3D打印系統(tǒng)制作的高精度器件圖登上了剛發(fā)布的商業(yè)微納制造雜志“CommercialMicroManufacturingmagazine”(CMM)。文章中介紹了高精度3D打印,,并重點講解了先進的打印材料是如何讓雙光子聚合技術應用錦上添花的,。Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術融入強大了3D打印工作流程,實現(xiàn)了各種不同的打印方案,。雙光子聚合技術用于3D微納結構的增材制造,,可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結構制作。Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(2GL®)可用于工業(yè)領域2.5D微納米結構原型母版制作,。2GL通過創(chuàng)新的設計重新定義了典型復雜結構微納光學元件的微納加工制造,。該技術結合了灰度光刻的出色性能,以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性,。浙江德國雙光子聚合微納光刻

納糯三維科技(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加楓路26號108室,,是一家作為Nanoscribe在中國全資子公司,納糯三維科技(上海)有限公司可進行三維打印科技領域內(nèi)的技術開發(fā),,技術轉(zhuǎn)讓,,技術咨詢,技術服務,,三維打印設備,,光電機一體化設備和相關零配件的批發(fā),進出口,,傭金代理,,并提供相關配套服務,貿(mào)易信息咨詢,,企業(yè)管理咨詢,。的公司,。納糯三維擁有一支經(jīng)驗豐富、技術創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊,,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供PPGT2,,Quantum X系列,雙光子微納激光直寫系統(tǒng),,雙光子微納光刻系統(tǒng),。納糯三維不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,,以技術為先導,,以產(chǎn)品為平臺,以應用為重點,,以服務為保證,,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,,提供更優(yōu)服務,。納糯三維創(chuàng)始人崔萬銀,始終關注客戶,,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務。