精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對(duì)易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng),。以先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題,。另一個(gè)可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,因此能動(dòng)態(tài)控制探針強(qiáng)度也是很重要的,;若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動(dòng)控制,,即可提升晶圓翻面時(shí)的探測精確度,使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào),,以提高精確度,,并縮短索引的時(shí)間。通常探針是由鎢制成的,,它如果長期不用,,針尖要形起氧化。重慶直流探針臺(tái)服務(wù)
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,,并精確定位待測物,。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,,就可以對(duì)待測物進(jìn)行測試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,,使用者可以抬起壓盤,,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,,使用顯微鏡找到精確的位置,,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率,。浙江磁場探針臺(tái)服務(wù)適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途,。
為什么要射頻探測,?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,電路尺寸不斷縮小,,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進(jìn)行直接連接,,如果人為的焊接射頻接口難免會(huì)引入不確定的誤差,,所以射頻探針的使用完美的解決了這個(gè)問題。射頻探頭和校準(zhǔn)基板允許工程師進(jìn)行精確、重復(fù)的測量與校準(zhǔn),。且任何受過一定訓(xùn)練的工程師都可以進(jìn)行探針臺(tái)的架設(shè)與儀表的校準(zhǔn),,以分鐘為單位進(jìn)行測量。同樣一個(gè)Pad測試點(diǎn),,如果通過探針測量與通過焊接SMA接口引出測量線的方法進(jìn)行測試對(duì)比會(huì)發(fā)現(xiàn),,探針的精度是高于焊接Cable的精度。
射頻測試探針必須具有與測試點(diǎn)相匹配的阻抗,。通常要做的是在設(shè)計(jì)中各個(gè)預(yù)先計(jì)劃好的測試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜(尾纖),。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測試點(diǎn)可以選在對(duì)整體設(shè)計(jì)性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域,。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計(jì)上,,從而減少侵入性探測。高性能測試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針,。但這些探針的末端通常都很昂貴,,且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,,它們?cè)诖笕萘康臏y試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,,更適合于原型設(shè)計(jì)和研發(fā)。圓片移動(dòng)到下一個(gè)芯片的位置,,這種方法可以讓圓片上的每一個(gè)芯片都經(jīng)過測試,。
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量,;2.晶圓探測:當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前,,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺(tái)為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,,對(duì)封裝完成的裝置做后的測試,。晶圓在通過基本的特性測試后,即進(jìn)入晶圓探測階段,,此時(shí)需要用復(fù)雜的機(jī)器,、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間,。將晶圓探針臺(tái)的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對(duì)應(yīng)的晶圓后,,探針臺(tái)會(huì)將晶圓向上挪動(dòng),使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,,以進(jìn)行探測,。當(dāng)測試完成,則會(huì)自動(dòng)將下一個(gè)待測晶圓替換到探針卡下面,,如此周而復(fù)始地循環(huán)著,。上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍(lán)天,。浙江磁場探針臺(tái)服務(wù)
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探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試,。普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。晶圓測試是芯片制造產(chǎn)業(yè)中一個(gè)重要組成部分,是主要的芯片良品率統(tǒng)計(jì)方法之一,。隨著晶圓片直徑的逐漸增大且密度逐漸提高,,晶圓測試的難度和成本也越來越高,也使得芯片需要更長的測試時(shí)間以及更加精密復(fù)雜的機(jī)械裝置和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)來執(zhí)行測試工作和監(jiān)控測試結(jié)果,。重慶直流探針臺(tái)服務(wù)