通常,參數(shù)測試系統(tǒng)將電流或電壓輸入被測器件(DUT),,然后測量該器件對于此輸入信號的響應(yīng)。這些信號的路徑為:從測試儀通過電纜束至測試頭,,再通過測試頭至探針卡,,然后通過探針至芯片上的焊點(diǎn),到達(dá)被測器件,,并后沿原路徑返回測試儀器,。如果獲得的結(jié)果不盡如人意,問題可能是由測量儀器或軟件所致,,也可能是其它原因造成,。通常情況下,測量儀器引進(jìn)一些噪聲或測量誤差,。而更可能導(dǎo)致誤差的原因是系統(tǒng)的其它部件,,其中之一可能是接觸電阻,它會受探針參數(shù)的影響,,如探針的材料,、針尖的直徑與形狀、焊接的材質(zhì),、觸點(diǎn)壓力,、以及探針臺的平整度。此外,探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響,。測試信號的完整性需要高質(zhì)量的探針接觸,,這與接觸電阻(CRes)直接相關(guān)。山西手動探針臺機(jī)構(gòu)
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,,半自動,,全自動從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),,RF探針臺,,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,,表面電阻率探針臺,。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),,旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,,即主要由x-y向工作臺,,可編程承片臺、探卡/探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類。天津探針臺一般多少錢探針卡上有細(xì)小的金屬探針附著,,通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸,。
手動探針臺應(yīng)用領(lǐng)域:Failureanalysis集成電路失效分析;Waferlevelreliability晶元可靠性認(rèn)證,;Devicecharacterization元器件特性量測,;Processmodeling塑性過程測試(材料特性分析);ICProcessmonitoring制成監(jiān)控,;PackagepartprobingIC封裝階段打線品質(zhì)測試,;Flatpanelprobing液晶面板的特性測試;PCboardprobingPC主板的電性測試,;ESD&TDRtestingESD和TDR測試,;Microwaveprobing微波量測(高頻),;Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析;LED,、OLED,、LCD領(lǐng)域檢測分析。
探針臺市場占有率及行業(yè)分析:針對于電學(xué)量測分析設(shè)備,,探針臺則是眾多量測設(shè)備之一,,探針臺也是不可或缺的一部分,就目前國內(nèi)探針臺設(shè)備的占有率來講,,好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌,,中端設(shè)備主要集中在品牌,而對于量測精度而言,,產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢,,我公司探針臺系列產(chǎn)品量測組件均采用歐美品牌設(shè)備,所以在量測精度上來講,,可以與歐美及日本品牌相媲美,,價格適中,應(yīng)用普遍,,并與國內(nèi)多家高校及研究所合作,。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配,插入常用電壓探針會使得結(jié)果出現(xiàn)很大偏差,。典型的探針卡是一個帶有很多細(xì)針的印刷電路板,。
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓,、阻抗等)或工作狀態(tài),,測試人員一般會采用表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,,對于精密微小(納米級)的微電子器件,,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了,。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試,、分析,。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,,移動范圍12mm,,移動精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,,一般客戶自己準(zhǔn)備),,探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件,,多個點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試,。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的。天津探針臺一般多少錢
從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,,低溫探針臺,,RF探針臺,LCD平板探針臺,,表面電阻率探針臺,。山西手動探針臺機(jī)構(gòu)
探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件,、光電器件,、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量,,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。探針臺用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,,可分為前道工序與后道工序,,探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備,。經(jīng)過檢測,,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,,降低器件的制造成本,。山西手動探針臺機(jī)構(gòu)