探針（探針卡）：待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,，才能與測(cè)試儀器建立連接,。常見(jiàn)的有普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針,、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類(lèi)型,。探針尖直接接觸被測(cè)件,，探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針,、并將探針連接至測(cè)量?jī)x器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件,。操縱器（定位器）：探針臺(tái)使用操縱器將探針?lè)胖迷诒粶y(cè)物上,，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。一旦固定,，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),。無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)，工作臺(tái)都是其主要的部分,。福建智能探針臺(tái)

半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的探測(cè),，可略分為三大類(lèi)：1.參數(shù)探測(cè)：提供制造期間的裝置特性測(cè)量；2.晶圓探測(cè)：當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前,，在一系列的晶圓上(wafersort)測(cè)試裝置功能,；3.以探針臺(tái)為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(cè)(FinalTest)：在出貨給顧客前，對(duì)封裝完成的裝置做后的測(cè)試,。晶圓在通過(guò)基本的特性測(cè)試后,，即進(jìn)入晶圓探測(cè)階段，此時(shí)需要用復(fù)雜的機(jī)器,、視覺(jué)及軟件來(lái)偵測(cè)晶圓上的每顆裸晶,，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺(tái)的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對(duì)應(yīng)的晶圓后,，探針臺(tái)會(huì)將晶圓向上挪動(dòng),，使其電氣和連接于測(cè)試儀上的探針卡接觸，以進(jìn)行探測(cè),。當(dāng)測(cè)試完成,，則會(huì)自動(dòng)將下一個(gè)待測(cè)晶圓替換到探針卡下面，如此周而復(fù)始地循環(huán)著,。福建智能探針臺(tái)探針臺(tái)測(cè)片子時(shí),，用細(xì)砂子輕輕打磨針尖并通以氮?dú)?，減緩氧化過(guò)程。

晶圓測(cè)試基本的一點(diǎn)就是：晶圓測(cè)試必須能夠辨別芯片的好壞,，并使合格芯片繼續(xù)進(jìn)入下面的封裝工藝,。為了確保芯片功能和成品率的有效測(cè)試，封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,，進(jìn)而找到高精度,、高效率和低成本的測(cè)試方法，并運(yùn)用新的組裝工藝要求對(duì)晶圓片進(jìn)行探測(cè),，這些要求將引起設(shè)備和工藝過(guò)程的重大變化,。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng),，全自動(dòng),，從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)（低溫探針臺(tái)）,，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上,。2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下,。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題,，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,，檢查針的牢固性。

錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針,。中鎢在線提供好的錸鎢探針產(chǎn)品,。鎢作為一種硬度強(qiáng),、耐高溫的金屬材料，常被用于燈絲,、電極,、熱電偶或者探測(cè)針等等，但鎢本身存在易脆和可塑性低的問(wèn)題,，這減小了其使用過(guò)程中的壽命,。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性，傳統(tǒng)的方法通過(guò)在鎢內(nèi)添加稀有金屬形成鎢基合金增加其性能,。在鎢內(nèi)添加錸,，可以發(fā)生“錸塑化效應(yīng)”，增加鎢的可塑性,。錸鎢合金具有高熔點(diǎn),、厲害度、高硬度,、高塑性,、高再結(jié)晶溫度、高電阻率,，低蒸氣壓,、低電子逸出功和低塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等一系列優(yōu)良性能。一般,，信號(hào)路徑電阻被用來(lái)替代接觸電阻,，而且它在眾多情況下更加相關(guān)。重慶自動(dòng)探針臺(tái)服務(wù)

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“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針,，涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面,。首先,，必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片,，載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確,、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤(pán)，并在晶圓移動(dòng)的過(guò)程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位,；其次,，必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度,、掌握可靠度和穩(wěn)定性,；后，必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,，針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間,。隨著新工藝的微縮，為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,，需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,，以避免無(wú)謂的產(chǎn)出損失。福建智能探針臺(tái)