探針臺大家不陌生了,是我們半導(dǎo)體實驗室電性能測試的常用設(shè)備,,也是各大實驗室的熟客,。優(yōu)點太多了,,成本低,用途廣,,操作方便,,對環(huán)境要求也不高,即使沒有超凈間,,普通的壞境也可以配置,,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,。深受工程師們的青睞,。手動探針臺用途:探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進行科研分析,,抽查測試等用途,。主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標(biāo)。重慶射頻探針臺供應(yīng)商
探針臺由哪些部分組成,?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小,并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能,。光學(xué)元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,,以便精確地將探針尖銳端對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡,,有的采用數(shù)碼相機,,或者兩者兼有??ūP:有一個非常平坦的金屬表面,,卡盤用夾具來固定待測物,或使用真空來吸附晶圓,。探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針,、同軸DC測試探針,、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上,。吉林手動探針臺公司近年來,,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。
晶圓測試基本的一點就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,,并使合格芯片繼續(xù)進入下面的封裝工藝,。為了確保芯片功能和成品率的有效測試,封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,,進而找到高精度,、高效率和低成本的測試方法,并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進行探測,,這些要求將引起設(shè)備和工藝過程的重大變化,。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,,全自動,,從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,,LCD平板探針臺,,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺,。
在設(shè)備方面,,生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的相關(guān)設(shè)備價格較高,國內(nèi)廠商沒有足夠的資金實力,,采購日本廠商的設(shè)備,。另一方面,對于半導(dǎo)體設(shè)備而言,,產(chǎn)業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)均會采購定制化的設(shè)備,,客戶提出自身需求和配置,上游設(shè)備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),,生產(chǎn)出經(jīng)過優(yōu)化的適合該客戶的設(shè)備,。因此,即使國產(chǎn)探針廠商想采購日本設(shè)備廠商的專業(yè)設(shè)備,,也只能得到標(biāo)準(zhǔn)化的產(chǎn)品,。在原材料方面,國產(chǎn)材質(zhì),、加工的刀具等也不能達到生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的要求,,同時日本廠商在半導(dǎo)體上游原材料方面占據(jù)的優(yōu)勢,其提供給客戶的原材料也是分等級的,,包括A級,、B級、S級,,需要依客戶的規(guī)模和情況而定,。一般,信號路徑電阻被用來替代接觸電阻,,而且它在眾多情況下更加相關(guān),。
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量,;2.晶圓探測:當(dāng)制造完成要進行封裝前,,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,,對封裝完成的裝置做后的測試,。晶圓在通過基本的特性測試后,即進入晶圓探測階段,,此時需要用復(fù)雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間,。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后,,探針臺會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,,以進行探測,。當(dāng)測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,,如此周而復(fù)始地循環(huán)著,。上海勤確科技有限公司上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā)、注重實質(zhì)內(nèi)容,。吉林手動探針臺公司
探針卡上有細(xì)小的金屬探針附著,,通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸。重慶射頻探針臺供應(yīng)商
初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路,,為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時,,晶圓直徑不過1.25英寸~2英寸之間,生產(chǎn)過程多以人工方式進行,。隨著6英寸,、8英寸晶圓的誕生,Align/Load的校準(zhǔn)工作和一些進階檢測也開始自動化,;直到12英寸晶圓成形,,可謂正式邁入“單鍵探測”(OneButtonProbing)的全部自動化時代,就連傳輸也開始借助機器輔助,;但此時的測試大都是轉(zhuǎn)包給專業(yè)的廠商做,,且大部分是著重在如何縮短工藝開發(fā)循環(huán)的參數(shù)測試上。重慶射頻探針臺供應(yīng)商