晶圓探針器是用于測(cè)試集成電路的機(jī)器(自動(dòng)測(cè)試設(shè)備),。對(duì)于電氣測(cè)試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯(或管芯陣列)經(jīng)過(guò)電氣測(cè)試后,,探針臺(tái)將晶片移動(dòng)到下一個(gè)管芯(或管芯),,下一個(gè)測(cè)試就可以開始了。晶圓探針臺(tái)通常負(fù)責(zé)從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,,并配備自動(dòng)模式識(shí)別光學(xué)器件,能夠以足夠的精度對(duì)準(zhǔn)晶圓,,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)。在檢測(cè)虛焊和斷路的時(shí)候,探針卡用戶經(jīng)常需要為路徑電阻指定一個(gè)標(biāo)稱值,。云南半自動(dòng)探針臺(tái)廠家
半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高,。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用光學(xué),、物理,、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),具有技術(shù)壁壘高,、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn),。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,從半導(dǎo)體單晶片到制成成品,,須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序,。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠,,并有高的成品率,,根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況,對(duì)所有工藝步驟都要有嚴(yán)格的具體要求,。因而,,在生產(chǎn)過(guò)程中必須建立相應(yīng)的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施,首先要從半導(dǎo)體工藝檢測(cè)著手,。江蘇磁場(chǎng)探針臺(tái)要多少錢隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點(diǎn)氧化物和污染物的表層,,接觸電阻減小而電流流動(dòng)迅速開始,。
滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高,、摩擦力矩小,,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,,濕度≤70%,,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,,但不可過(guò)多,值得指出的是,,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),,所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測(cè)試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。探針臺(tái)分類:探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),,真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),RF探針臺(tái),,LCD平板探針臺(tái),,霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái),。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選),;X-Y移動(dòng)行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離,;顯微鏡:金相顯微鏡,、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型,、移動(dòng)平臺(tái)型,、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um,、2um,、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān),;可搭配Probe card測(cè)試,;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所,、高校等,。上海勤確科技有限公司終善的服務(wù)、及時(shí)的服務(wù),、正確的服務(wù),,服務(wù)到每一個(gè)客戶滿意。
探針臺(tái)可以將電探針,、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,,例如連續(xù)性或隔離檢查,,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試,??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件,,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息,。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要,。探針臺(tái)還可以用于研發(fā),、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺(tái)用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),。吉林磁場(chǎng)探針臺(tái)哪里有
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探針臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),,探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試及探卡測(cè)試針臺(tái)座,,配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,,下面就由上海勤確給大家簡(jiǎn)要介紹,。探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào),保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備,。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性,。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試,,在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快,。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,,線纜,,探針,探針定位器,,探針臺(tái),,校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,電源偏置等,。云南半自動(dòng)探針臺(tái)廠家