干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子,、半導(dǎo)體,、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備,。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子,，通過同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道,，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果,。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件,。在傳動(dòng)方式上,，目前通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。微型真空泵的介質(zhì)溫度問題,。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度,，選擇要普通型的還是要高溫型的。VP0925A真空泵供應(yīng)公司

爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu),，每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙,，即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙，泵在運(yùn)行時(shí)的熱膨脹及抽除粉未等時(shí)容易造成泵的故障,，另外爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性,，一般人員很難達(dá)到裝配要求；因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu),，排氣通道復(fù)雜,，在抽除可凝性氣體時(shí)（例如：水蒸汽，有機(jī)溶劑氣體等）,，在泵腔內(nèi)壓縮時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多的液體,，這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大,，四級(jí)爪形真空泵有8個(gè)端面，不宜抽除大量可凝性氣體,?；ふ婵毡枚ㄖ茝S家水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量,，占地面積也小,。

擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變，但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí),，抽速下降很快,。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí)，氣體從前級(jí)通過射流的反擴(kuò)散會(huì)增加,，同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯,。入口壓強(qiáng)較高時(shí)，大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞,，射流的定向速度衰減較大,，增大了前級(jí)的反流，抽速降低,；油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)散,、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度,、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān),，當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí)，泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響,，氣體的反擴(kuò)散對泵的極限壓強(qiáng)影響不大,。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級(jí)噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度,、噴嘴蒸汽流量以及一級(jí)噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān),。

便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng),，通過機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動(dòng),，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓）,，在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差,，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔,，再從排氣口排出,。正因?yàn)槌闅饪谔幓蛘叱榕艢饪诳梢耘c外界大氣形成壓力差，同時(shí)不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油,，不會(huì)污染工作介質(zhì),，而且具有體積小巧,、噪音低、免維護(hù),，可以連續(xù)24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn),，冷凝水在多級(jí)真空泵中具有舉足輕重的作用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出,。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹,。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,，則有一部分氣體返沖到空間v0中去,，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),，氣體排出泵外,。羅茨真空泵分為常規(guī)羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規(guī)羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa,，所以常規(guī)羅茨泵必須帶前級(jí)泵預(yù)抽,，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因?yàn)樵黾恿藷崃科胶庋b置可以直接排大氣,，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa,。高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的,。小型真空泵制造商

真空泵的轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,，不用潤滑，摩擦損失小,，可降低驅(qū)動(dòng)功率。VP0925A真空泵供應(yīng)公司

在真空泵選型前,，我們必須弄清楚幾個(gè)基礎(chǔ)概念：真空,，理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。（現(xiàn)實(shí)中是不存在真正的真空的）通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態(tài),。真空度表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,，通常用壓力值來表示。實(shí)際應(yīng)用中,，真空度,，通常有真空和相對真空兩種說法,。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值,，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng),，業(yè)界也稱為極限相對壓強(qiáng)，即： 真空度=大氣壓強(qiáng)-壓強(qiáng)(大氣壓強(qiáng)一般取101325Pa,，水環(huán)式真空泵極限壓強(qiáng)3300Pa,；旋片式真空泵極限壓強(qiáng)約10Pa)。VP0925A真空泵供應(yīng)公司