該系統(tǒng)為電子探針?lè)治鎏峁┚哂凶銐蚋叩娜肷淠芰浚銐虼蟮氖骱驮跇悠繁砻孓Z擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,,作為X射線的激發(fā)源,。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu),。 為了提高X射線的信號(hào)強(qiáng)度,,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),,常用的加速電壓為10-30 KV,,束斑直徑約為0.5μm,。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡,。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn),。其方法是,先利用能發(fā)出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,,這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置,,通過(guò)樣品移動(dòng)裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上,,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上,,同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,,其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行,。放大倍數(shù)為100-500倍。利用特征波長(zhǎng)來(lái)確定元素的儀器叫做波長(zhǎng)色散譜儀(波譜儀),,利用特征能量的就稱為能量色散譜儀(能譜儀),。金山區(qū)優(yōu)勢(shì)探針生產(chǎn)廠家
2,、能譜儀來(lái)自樣品的X光子通過(guò)鈹窗口進(jìn)入鋰漂移硅固態(tài)檢測(cè)器,。每個(gè)X光子能量被硅晶體吸收將在晶體內(nèi)產(chǎn)生電子空穴對(duì),。不同能量的X光子將產(chǎn)生不同的電子空穴對(duì)數(shù),。例如,,F(xiàn)e的Kα輻射可產(chǎn)生1685個(gè)電子空穴對(duì),,而Cu為2110,。知道了電子空穴對(duì)數(shù)就可以求出相應(yīng)的電荷量以及在固定電容(1μμF)上的電壓脈沖,。多道脈沖高度分析器中的數(shù)模轉(zhuǎn)換器首先把脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào),,建立起電壓脈沖幅值與道址的對(duì)應(yīng)關(guān)系(道址號(hào)與X光子能量間存在對(duì)應(yīng)關(guān)系)。金山區(qū)優(yōu)勢(shì)探針生產(chǎn)廠家把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來(lái),。
電子探針X射線顯微分析儀(簡(jiǎn)稱電子探針)利用約1Pm的細(xì)焦電子束,,在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線,,根據(jù)特征X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,,進(jìn)行微區(qū)化學(xué)成分定性或定量分析,。電子探針的光學(xué)系統(tǒng),、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同,,通常也配有二次電子和背散射電子信號(hào)檢測(cè)器,,同時(shí)兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能,。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機(jī)系統(tǒng)以外,,還主要包括分光系統(tǒng),、檢測(cè)系統(tǒng)等部分。電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒),,X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成,。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,,它們常常組合成單一的儀器,。
DNA探針可以用來(lái)診斷寄生蟲(chóng)病,,現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查及蟲(chóng)種鑒定,,可用于病毒性肝炎的診斷,,遺傳性疾病的診斷,,可用于檢測(cè)飲用水病毒含量,。具體方法:用一個(gè)特定的DNA片段制成探針,,與被測(cè)的病毒DNA雜交,,從而把病毒檢測(cè)出來(lái),。與傳統(tǒng)方法相比具有快速、靈敏的特點(diǎn),。傳統(tǒng)的檢測(cè)一次,,需幾天或幾個(gè)星期的時(shí)間,,精確度不高,而用DNA探針只需一天,。據(jù)報(bào)道,,能從1t水中檢測(cè)出10個(gè)病毒來(lái),精確度**提高,。RNA探針是一類很有前途的核酸探針,,由于RNA是單鏈分子,所以它與靶序列的雜交反應(yīng)效率極高,。應(yīng)用于地質(zhì),、冶金材料、水泥熟料研究等部門,。
在不損耗試樣的情況下,,電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內(nèi)、原子序數(shù)4以上的所有元素,;但是對(duì)原子序數(shù)小于12的元素,,其靈敏度較差。常規(guī)分析的典型檢測(cè)相對(duì)靈敏度為萬(wàn)分之一,,在有些情況下可達(dá)十萬(wàn)分之一,。檢測(cè)的***靈敏度因元素而異,一般為10-14~10-16克,。用這種方法可以方便地進(jìn)行點(diǎn)、線,、面上的元素分析,,并獲得元素分布的圖象。對(duì)原子序數(shù)高于10,、濃度高于10%的元素,,定量分析的相對(duì)精度優(yōu)于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學(xué)與電子光學(xué)技術(shù)相結(jié)合而產(chǎn)生的,。1948年法國(guó)的R.卡斯坦制造了***臺(tái)電子探針儀,。1958年法國(guó)首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結(jié)構(gòu)上有許多共同處,。70年代以來(lái)生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,,有的還附加另一些附件,,使之除作微區(qū)成分分析外,,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結(jié)構(gòu)等。能進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)分析,。無(wú)需把分析對(duì)象從樣品中取出,,可直接對(duì)大塊試樣中的微小區(qū)域進(jìn)行分析。普陀區(qū)特制探針生產(chǎn)廠家
探針卡是一種測(cè)試接口,,主要對(duì)裸芯進(jìn)行測(cè)試,,通過(guò)連接測(cè)試機(jī)和芯片,通過(guò)傳輸信號(hào)對(duì)芯片參數(shù)進(jìn)行測(cè)試.,。金山區(qū)優(yōu)勢(shì)探針生產(chǎn)廠家
B,、在線測(cè)試探針:PCB線路板安裝元器件后的檢測(cè)探針;**產(chǎn)品的**技術(shù)還是掌握在國(guó)外公司手中,,國(guó)內(nèi)部分探針產(chǎn)品已研發(fā)成功,,可替代進(jìn)口探針產(chǎn)品;C,、微電子測(cè)試探針:即晶圓測(cè)試或芯片IC檢測(cè)探針,,**技術(shù)還是掌握在國(guó)外公司手中,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠商積極參與研發(fā),,但只有一小部分成功生產(chǎn),。探針主要類型:懸臂探針和垂直探針。懸臂探針:劈刀型(Blade Type)和環(huán)氧樹(shù)脂型(Epoxy Type)垂直探針:垂直型(Vertical Type)1.ICT探針 (ICT series Probes)一般直徑在2.54mm-1.27mm之間,,有業(yè)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)稱呼100mil,75mil,50mil,還有更特別的直徑只有0.19mm,主要用于在線電路測(cè)試和功能測(cè)試.也稱ICT測(cè)試和FCT測(cè)試.也是目應(yīng)用較多的一種探針.金山區(qū)優(yōu)勢(shì)探針生產(chǎn)廠家
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