光刻膠的主要應(yīng)用領(lǐng)域
光刻膠是微電子制造的主要材料,,廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體制造
? 功能:在晶圓表面形成微細(xì)電路圖案,,作為蝕刻或離子注入的掩膜。
? 分類:
? 正性光刻膠:曝光區(qū)域溶解于顯影液,,形成與掩膜版一致的圖案(主流,,分辨率高)。
? 負(fù)性光刻膠:未曝光區(qū)域溶解,,形成反向圖案(用于早期工藝,,耐蝕刻性強(qiáng))。
? 技術(shù)演進(jìn):隨制程精度提升,,需匹配不同曝光波長(紫外UV,、深紫外DUV、極紫外EUV),,例如EUV光刻膠用于7nm以下制程,。
平板顯示(LCD/OLED)
? 彩色濾光片(CF):在玻璃基板上制作紅/綠/藍(lán)像素單元,光刻膠用于圖案化黑矩陣(BM),、彩色層(R/G/B)和保護(hù)層,。
? 電極圖案:制作TFT-LCD的電極線路或OLED的陰極/陽極,需高透光率和精細(xì)邊緣控制。
印刷電路板(PCB)
? 線路蝕刻:在覆銅板上涂膠,,曝光顯影后保留線路區(qū)域,蝕刻去除未保護(hù)的銅箔,,形成導(dǎo)電線路,。
? 阻焊與字符層:阻焊膠覆蓋非線路區(qū)域,防止短路,;字符膠用于印刷電路板標(biāo)識,。
LED與功率器件
? 芯片制造:在藍(lán)寶石/硅基板上制作電極和量子阱結(jié)構(gòu),需耐高功率環(huán)境的耐高溫光刻膠,。
? Micro-LED:微米級芯片轉(zhuǎn)移和陣列化,,依賴超高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)。
告別顯影殘留,!化學(xué)增幅型光刻膠助力封裝,。四川LCD光刻膠品牌
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司憑借技術(shù)創(chuàng)新與質(zhì)量優(yōu)勢,在半導(dǎo)體材料行業(yè)占據(jù)重要地位,。公司聚焦光刻膠,、電子膠、錫膏等產(chǎn)品,,其中納米壓印光刻膠可耐受 250℃高溫及強(qiáng)酸強(qiáng)堿環(huán)境,,適用于高精度納米結(jié)構(gòu)制造;LCD 光刻膠以高穩(wěn)定性和精細(xì)度成為顯示面板行業(yè)的推薦材料,。此外,,公司還提供焊片、靶材等配套材料,,滿足客戶多元化需求,。
在技術(shù)層面,吉田半導(dǎo)體通過自主研發(fā)與國際合作結(jié)合,,持續(xù)優(yōu)化生產(chǎn)工藝,,實(shí)現(xiàn)全流程自動化控制。其生產(chǎn)基地配備先進(jìn)設(shè)備,,并嚴(yán)格執(zhí)行國際標(biāo)準(zhǔn),,確保產(chǎn)品性能達(dá)到國際水平。同時(shí),,公司注重人才培養(yǎng)與引進(jìn),,匯聚化工、材料學(xué)等領(lǐng)域的專業(yè)團(tuán)隊(duì),,為技術(shù)創(chuàng)新提供堅(jiān)實(shí)支撐,。未來,吉田半導(dǎo)體將繼續(xù)以 “中國前列半導(dǎo)體材料方案提供商” 為愿景,推動行業(yè)技術(shù)升級與國產(chǎn)化進(jìn)程,。
福建納米壓印光刻膠感光膠吉田半導(dǎo)體助力區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展,,推動產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新。
不同光刻膠類型的適用場景對比
類型 波長范圍 分辨率 典型應(yīng)用產(chǎn)品
G線/i線光刻膠 436/365nm ≥1μm PCB,、LCD黑色矩陣 吉田半導(dǎo)體JT-100系列
KrF光刻膠 248nm 0.25-1μm 28nm以上芯片,、Mini LED制備 吉田半導(dǎo)體YK-300系列
ArF光刻膠 193nm 45nm-0.25μm 14nm及以上芯片、OLED電極圖案化 國際主流:JSR ARF系列
EUV光刻膠 13.5nm ≤7nm 7nm以下先進(jìn)制程,、3D NAND堆疊 研發(fā)中(吉田半導(dǎo)體合作攻關(guān))
水性光刻膠 全波長適配 5-50μm 柔性顯示,、環(huán)保PCB阻焊層 吉田半導(dǎo)體WT-200系列
總結(jié):多領(lǐng)域滲透的“工業(yè)維生素”
光刻膠的應(yīng)用深度綁定電子信息產(chǎn)業(yè),從半導(dǎo)體芯片的“納米級雕刻”到PCB的“毫米級線路”,,再到顯示面板的“色彩精細(xì)控制”,,其技術(shù)參數(shù)(分辨率、耐蝕刻性,、靈敏度)需根據(jù)場景設(shè)計(jì),。隨著**新能源(車規(guī)芯片、光伏),、新型顯示(Micro LED),、先進(jìn)制造(納米壓印)**等領(lǐng)域的發(fā)展,,光刻膠的應(yīng)用邊界將持續(xù)擴(kuò)展,,成為支撐制造的關(guān)鍵材料。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,,各有特性與優(yōu)勢,,適用于不同領(lǐng)域。
LCD 正性光刻膠 YK - 200:具有較大曝光,、高分辨率,、良好涂布和附著力的特點(diǎn),重量 100g,。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝,,能確保 LCD 生產(chǎn)過程中圖形的精確轉(zhuǎn)移和良好的涂布效果。
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300:具備耐熱耐酸,、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,重量 100g,。主要用于半導(dǎo)體制造工藝,,滿足半導(dǎo)體器件對光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求。
耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT - NF100:重量 1L,,具有耐腐蝕的特性,,適用于在有腐蝕風(fēng)險(xiǎn)的光刻工藝中,,比如一些特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體加工或電路板制造。
吉田半導(dǎo)體產(chǎn)品矩陣,。
光伏電池(半導(dǎo)體級延伸)
? HJT/TOPCon電池:在硅片表面圖形化金屬電極,,使用高靈敏度光刻膠(曝光能量≤50mJ/cm2),線寬≤20μm,,降低遮光損失,。
? 鈣鈦礦電池:用于電極圖案化和層間隔離,需耐有機(jī)溶劑(適應(yīng)溶液涂布工藝),。
納米壓印技術(shù)(下一代光刻)
? 納米壓印光刻膠:通過模具壓印實(shí)現(xiàn)10nm級分辨率,用于3D NAND存儲孔陣列(直徑≤20nm),、量子點(diǎn)顯示陣列等,。
微流控與生物醫(yī)療
? 微流控芯片:制造微米級流道(寬度10-100μm),材料需生物相容性(如PDMS基材適配),。
? 生物檢測芯片:通過光刻膠圖案化抗體/抗原固定位點(diǎn),,精度≤5μm。
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晶圓制造(前道工藝)
? 功能:在硅片表面形成高精度電路圖形,,是光刻工藝的主要材料,。
? 細(xì)分場景:
? 邏輯/存儲芯片:用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻膠(分辨率0.25-1μm)、14nm以下先進(jìn)制程的ArF浸沒式光刻膠(分辨率≤45nm),,以及極紫外(EUV)光刻膠(目標(biāo)7nm以下,,研發(fā)中)。
? 功率半導(dǎo)體(如IGBT):使用厚膜光刻膠(膜厚5-50μm),,滿足深溝槽刻蝕需求,。
? MEMS傳感器:通過高深寬比光刻膠(如SU-8)實(shí)現(xiàn)微米級結(jié)構(gòu)(如加速度計(jì)、陀螺儀的懸臂梁),。
芯片封裝(后道工藝)
? 先進(jìn)封裝技術(shù):
? Flip Chip(倒裝芯片):用光刻膠形成凸點(diǎn)(Bump)下的 Redistribution Layer(RDL),,線寬精度要求≤10μm。
? 2.5D/3D封裝:在硅通孔(TSV)工藝中,,光刻膠用于定義通孔開口(直徑5-50μm),。
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