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黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商

來源: 發(fā)布時間:2025-05-13

 研發(fā)投入

? 擁有自己實驗室和研發(fā)團隊,,研發(fā)費用占比超15%,,聚焦EUV光刻膠前驅(qū)體,、低缺陷納米壓印膠等前沿領(lǐng)域,,與中山大學(xué),、華南理工大學(xué)建立產(chǎn)學(xué)研合作。

? 專項布局:累計申請光刻膠相關(guān)的項目30余項,,涵蓋樹脂合成,、配方優(yōu)化、涂布工藝等細(xì)致環(huán)節(jié),。

 生產(chǎn)體系

? 全自動化產(chǎn)線:采用德國曼茨(Manz)涂布設(shè)備、日本島津(Shimadzu)檢測儀器,,年產(chǎn)能超500噸(光刻膠),,支持小批量定制(小訂單100g)和大規(guī)模量產(chǎn)。

? 潔凈環(huán)境:生產(chǎn)車間達(dá)萬級潔凈標(biāo)準(zhǔn)(ISO 8級),,避免顆粒污染,,確保光刻膠缺陷密度<5個/cm2。
PCB廠商必看,!這款G-line光刻膠讓生產(chǎn)成本直降30%,。黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商

黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商,光刻膠

工藝流程

? 目的:去除基板表面油污、顆粒,,增強感光膠附著力,。

? 方法:

? 化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水、去離子水),;

? 表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,,PCB基板用粗化處理),。

 涂布(Coating)

? 方式:

? 旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,厚度控制精確(納米至微米級),,轉(zhuǎn)速500-5000rpm,;

? 噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,適合大面積或厚膠(微米至百微米級,,如負(fù)性膠可達(dá)100μm),。

? 關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度、涂布速度,、基板溫度(影響厚度均勻性),。

 前烘(Soft Bake)

? 目的:揮發(fā)溶劑,固化膠膜,,增強附著力和穩(wěn)定性,。

? 條件:

? 溫度:60-120℃(正性膠通常更低,如90℃,;負(fù)性膠可至100℃以上),;

? 時間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,厚膠需更長時間),。

 曝光(Exposure)

? 光源:

? 紫外光(UV):G線(436nm),、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);

? 深紫外(DUV):248nm(KrF),、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進制程(分辨率至20nm),;

? 極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用),。

? 曝光方式:

? 接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB,、MEMS,低成本但精度低),;

? 投影式:通過物鏡聚焦(半導(dǎo)體,,分辨率高,如ArF光刻機精度達(dá)22nm),。

3微米光刻膠國產(chǎn)廠商光刻膠的顯示面板領(lǐng)域,。

黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商,光刻膠

厚板光刻膠

  • 電路板制造:在制作對線路精度和抗蝕刻性能要求高的電路板時,厚板光刻膠可確保線路的精細(xì)度和穩(wěn)定性,,比如汽車電子,、工業(yè)控制等領(lǐng)域的電路板,能承受復(fù)雜環(huán)境和大電流,、高電壓等工況,。
  • 功率器件制造:像絕緣柵雙極晶體管(IGBT)這類功率器件,需要承受高電壓和大電流,厚板光刻膠可用于其芯片制造過程中的光刻環(huán)節(jié),,保障芯片內(nèi)部電路的精細(xì)布局,,提高器件的性能和可靠性。


負(fù)性光刻膠

  • 半導(dǎo)體制造:在芯片制造過程中,,用于制作一些對精度要求高,、圖形面積較大的結(jié)構(gòu),如芯片的金屬互連層,、接觸孔等,。通過負(fù)性光刻膠的曝光和顯影工藝,能實現(xiàn)精確的圖形轉(zhuǎn)移,,確保芯片各部分之間的電氣連接正常,。
  • 平板顯示制造:在液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管顯示器(OLED)的制造中,用于制作電極,、像素等大面積圖案,。以 LCD 為例,負(fù)性光刻膠可幫助形成液晶層與玻璃基板之間的電極圖案,,控制液晶分子的排列,,從而實現(xiàn)圖像顯示。


  1. 產(chǎn)品特點:耐溶劑型優(yōu)良,,抗潮耐水性好,,耐印率高;固含量高,,流平性好,,涂布性能優(yōu)良;經(jīng)特殊乳化聚合技術(shù)處理,,網(wǎng)版平滑,、無白點、無沙眼,、亮度高,;剝膜性好,網(wǎng)版可再生使用,;解像性、高架橋性好,,易做精細(xì)網(wǎng)點和線條,;感光度高,曝光時間短,,曝光寬容度大,,節(jié)省網(wǎng)版作業(yè)時間,提高工作效率 ,。
  2. 應(yīng)用范圍:適用于塑料,、皮革,、標(biāo)牌、印刷電路板(PCB),、廣告宣傳,、玻璃、陶瓷,、紡織品等產(chǎn)品的印刷,。例如在塑料表面形成牢固圖案,滿足皮革制品精細(xì)印刷需求,,制作各類標(biāo)牌保證圖案清晰,,用于 PCB 制造滿足高精度要求等。
松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田,,全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn),!

黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商,光刻膠

廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板,、負(fù)性,、正性、納米壓印及光刻膠等類別,,以滿足不同領(lǐng)域的需求,。

厚板光刻膠:JT-3001 型號,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,,抗深蝕刻性能良好,,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),保質(zhì)期 1 年,。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,,如特定電路板制造。

負(fù)性光刻膠

  • SU-3 負(fù)性光刻膠:分辨率優(yōu)異,,對比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應(yīng),,重量 100g,。常用于對曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域,。


正性光刻膠 挑戰(zhàn)與未來展望的發(fā)展,。珠海LED光刻膠感光膠

  • LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光、高分辨率,、良好涂布和附著力,,重量 100g。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝,確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉(zhuǎn)移和良好涂布效果,。
  • 半導(dǎo)體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸,、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g,。主要用于半導(dǎo)體制造工藝,滿足半導(dǎo)體器件對光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求,。

納米級圖案化的主要工具,。黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商

技術(shù)優(yōu)勢:23年研發(fā)沉淀與細(xì)分領(lǐng)域突破

 全流程自主化能力
吉田在光刻膠研發(fā)中實現(xiàn)了從樹脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化,。例如,,其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系,實現(xiàn)了3μm的分辨率,,適用于MEMS傳感器,、光學(xué)器件等領(lǐng)域。
技術(shù)壁壘:公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗,,掌握光刻膠主要原材料(如樹脂,、光酸)的合成技術(shù),部分原材料純度達(dá)PPT級,。

 細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)先進

? 納米壓印光刻膠:在納米級圖案化領(lǐng)域(如量子點顯示,、生物芯片)實現(xiàn)技術(shù)突破,分辨率達(dá)3μm,,填補國內(nèi)空缺,。

? LCD光刻膠:針對顯示面板行業(yè)需求,開發(fā)出高感光度,、高對比度的光刻膠,,適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術(shù),。

 研發(fā)投入與合作
公司2018年獲高新技術(shù)性企業(yè)認(rèn)證,,與新材料領(lǐng)域同伴們合作開發(fā)半導(dǎo)體光刻膠,計劃2025年啟動半導(dǎo)體用KrF光刻膠研發(fā),。
黑龍江進口光刻膠國產(chǎn)廠商

標(biāo)簽: 光刻膠 錫片