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江西油墨光刻膠國產(chǎn)廠商

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-25

廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司以光刻膠為中心,逐步拓展至半導(dǎo)體全材料領(lǐng)域,,形成了 “技術(shù)驅(qū)動(dòng),、全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋” 的發(fā)展格局。公司產(chǎn)品不僅包括芯片與 LCD 光刻膠,,還延伸至錫膏,、焊片、靶材等配套材料,,為客戶提供一站式采購服務(wù),。

市場與榮譽(yù):
  • 產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球 50 多個(gè)地區(qū),客戶包括電子制造服務(wù)商(EMS)及半導(dǎo)體廠商,。
  • 獲評(píng) “廣東省專精特新企業(yè)”“廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)”,,并通過技術(shù)企業(yè)認(rèn)證。
  • 生產(chǎn)基地配備自動(dòng)化設(shè)備,,年產(chǎn)能超千噸,,滿足大規(guī)模訂單需求。
未來展望:
公司計(jì)劃進(jìn)一步擴(kuò)大研發(fā)中心規(guī)模,,聚焦第三代半導(dǎo)體材料研發(fā),,如 GaN、SiC 相關(guān)光刻膠技術(shù),。同時(shí),,深化全球化布局,在東南亞,、歐洲等地設(shè)立分支機(jī)構(gòu),,強(qiáng)化本地化服務(wù)能力。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,,23 年專注研發(fā),,全系列產(chǎn)品覆蓋芯片制造與 LCD 面板!江西油墨光刻膠國產(chǎn)廠商

江西油墨光刻膠國產(chǎn)廠商,光刻膠

主要原材料“卡脖子”:從樹脂到光酸的依賴

 樹脂與光酸的技術(shù)斷層
光刻膠成本中50%-60%來自樹脂,,而國內(nèi)KrF/ArF光刻膠樹脂的單體國產(chǎn)化率不足10%,。例如,日本信越化學(xué)的KrF樹脂純度達(dá)99.999%,,金屬雜質(zhì)含量低于1ppb,,而國內(nèi)企業(yè)的同類產(chǎn)品仍存在批次穩(wěn)定性問題。光酸作為光刻膠的“心臟”,,其合成需要超純?cè)噭┖蛷?fù)雜純化工藝,,國內(nèi)企業(yè)在純度控制(如金屬離子含量)上與日本關(guān)東化學(xué)等國際巨頭存在代差。

 原材料供應(yīng)鏈的脆弱性
光刻膠所需的酚醛樹脂、環(huán)烯烴共聚物(COC)等關(guān)鍵原料幾乎全部依賴進(jìn)口,。日本信越化學(xué)因地震導(dǎo)致KrF光刻膠產(chǎn)能受限后,,國內(nèi)部分晶圓廠采購量從100kg/期驟降至10-20kg/期。更嚴(yán)峻的是,,光敏劑原料焦性沒食子酸雖由中國提取,,但需出口至日本加工成光刻膠光敏劑后再高價(jià)返銷,形成“原料出口-技術(shù)溢價(jià)-高價(jià)進(jìn)口”的惡性循環(huán),。
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江西油墨光刻膠國產(chǎn)廠商,光刻膠

國家戰(zhàn)略支持
《國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域,計(jì)劃投入超500億元支持研發(fā),。工信部對(duì)通過驗(yàn)證的企業(yè)給予稅收減免和設(shè)備采購補(bǔ)貼,,單家企業(yè)比較高補(bǔ)貼可達(dá)研發(fā)投入的30%。

 地方產(chǎn)業(yè)協(xié)同
濟(jì)南設(shè)立寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)基金,,深圳國際半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)(2025年4月)吸引全球300余家企業(yè)參展,,推動(dòng)技術(shù)交流。

 資本助力產(chǎn)能擴(kuò)張
恒坤新材通過科創(chuàng)板IPO募資15億元,,擴(kuò)大KrF光刻膠產(chǎn)能并布局集成電路前驅(qū)體項(xiàng)目,。彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)2024年上半年?duì)I收增長54.43%,ArF光刻膠開始形成銷售,。

工藝流程

? 目的:去除基板表面油污、顆粒,,增強(qiáng)感光膠附著力,。

? 方法:

? 化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水、去離子水),;

? 表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,,PCB基板用粗化處理)。

 涂布(Coating)

? 方式:

? 旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,,厚度控制精確(納米至微米級(jí)),,轉(zhuǎn)速500-5000rpm;

? 噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,,適合大面積或厚膠(微米至百微米級(jí),,如負(fù)性膠可達(dá)100μm)。

? 關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度,、涂布速度,、基板溫度(影響厚度均勻性)。

 前烘(Soft Bake)

? 目的:揮發(fā)溶劑,,固化膠膜,,增強(qiáng)附著力和穩(wěn)定性。

? 條件:

? 溫度:60-120℃(正性膠通常更低,如90℃,;負(fù)性膠可至100℃以上),;

? 時(shí)間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,厚膠需更長時(shí)間),。

 曝光(Exposure)

? 光源:

? 紫外光(UV):G線(436nm),、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm);

? 深紫外(DUV):248nm(KrF),、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程(分辨率至20nm),;

? 極紫外(EUV):13.5nm,用于7nm以下制程(只能正性膠適用),。

? 曝光方式:

? 接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB,、MEMS,低成本但精度低),;

? 投影式:通過物鏡聚焦(半導(dǎo)體,,分辨率高,如ArF光刻機(jī)精度達(dá)22nm),。

PCB光刻膠國產(chǎn)化率超50%,。

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關(guān)鍵工藝流程

 涂布與前烘:

? 旋涂或噴涂負(fù)性膠,厚度可達(dá)1-100μm(遠(yuǎn)厚于正性膠),,前烘溫度60-90℃,,去除溶劑并增強(qiáng)附著力。

 曝光:

? 光源以**汞燈G線(436nm)**為主,,適用于≥1μm線寬,,曝光能量較高(約200-500mJ/cm2),需注意掩膜版與膠膜的貼合精度,。

 顯影:

? 使用有機(jī)溶劑顯影液(如二甲苯,、醋酸丁酯),未曝光的未交聯(lián)膠膜溶解,,曝光的交聯(lián)膠膜保留,。

 后處理:

? 后烘(Post-Bake):加熱(100-150℃)進(jìn)一步固化交聯(lián)結(jié)構(gòu),提升耐干法蝕刻或濕法腐蝕的能力,。

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半導(dǎo)體材料選吉田,,歐盟認(rèn)證,,支持定制化解決方案!江西油墨光刻膠國產(chǎn)廠商

廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板,、負(fù)性,、正性,、納米壓印及光刻膠等類別,以滿足不同領(lǐng)域的需求,。

厚板光刻膠:JT-3001 型號(hào),,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,抗深蝕刻性能良好,,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),,保質(zhì)期 1 年。適用于對(duì)精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,,如特定電路板制造,。

負(fù)性光刻膠

  • SU-3 負(fù)性光刻膠:分辨率優(yōu)異,對(duì)比度良好,,曝光靈敏度高,,光源適應(yīng),重量 100g,。常用于對(duì)曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工,、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。


正性光刻膠 江西油墨光刻膠國產(chǎn)廠商

  • LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光,、高分辨率,、良好涂布和附著力,重量 100g,。適用于液晶顯示領(lǐng)域的光刻工藝,,確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉(zhuǎn)移和良好涂布效果。
  • 半導(dǎo)體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸,、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,重量 100g,。主要用于半導(dǎo)體制造工藝,滿足半導(dǎo)體器件對(duì)光刻膠在化學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求,。
標(biāo)簽: 錫片 光刻膠