微納加工技術(shù)的特點：（1）微電子化：采用MEMS工藝,，可以把不同功能,、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感陣列、微執(zhí)行器陣列甚至把多種功能的器件集成在一起,，形成復(fù)雜的微系統(tǒng),。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性,、穩(wěn)定性比較高的微電子機械系統(tǒng)。（2）MEMS技術(shù)適合批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在同一硅片上同時可制造出成百上千微型機電裝置或完整的MEMS,，批量生產(chǎn)可較大降低生產(chǎn)成本,。（3）多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子、機械,、材料,、制造、信息與自動控制,、物理,、化學(xué)和生物等多學(xué)科，并集約當(dāng)今科學(xué)發(fā)展的許多成果,。微納加工技術(shù)的特點：多樣化,。南昌量子微納加工

研究應(yīng)著眼于開發(fā)一種新型的可配置、可升級的微納制造平臺和系統(tǒng),，以降低大批量或是小規(guī)模定制產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,。新一代微納制造系統(tǒng)應(yīng)滿足下述要求：（1）能生產(chǎn)多種多樣高度復(fù)雜的微納產(chǎn)品；（2）具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產(chǎn),；（3）為了掌握基于整個生產(chǎn)加工鏈制造的知識,，新設(shè)計和仿真系統(tǒng)的產(chǎn)品開發(fā)過程的全部跨學(xué)科知識進行條理化和儲存；（4）為了保證生產(chǎn)的靈活性和適應(yīng)性,，應(yīng)確保在分布式制造中各企業(yè)的有效合作,，以支撐通過新型商業(yè)生產(chǎn)、管理和物流方法來實現(xiàn)的中小型企業(yè)在綜合制造網(wǎng)絡(luò)中的有效整合,；（5）是一個擁有更高級的智能和可靠性,、可根據(jù)相應(yīng)環(huán)境自行調(diào)整設(shè)置及生產(chǎn)加工參數(shù)的、可嵌入整個生產(chǎn)制造行業(yè)的制造系統(tǒng),；（6）新型可快速配置和價格適中的微納制造系統(tǒng),，融入了面向任務(wù)和可重復(fù)配置的理念，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)的系統(tǒng)升級和無縫重復(fù)配置,。徐州微納加工工藝流程微納制造技術(shù),，尤其是以聚合物為加工對象的微納制造技術(shù)在創(chuàng)新應(yīng)用中正變得越來越重要。

隨著微電子,、微機械,、微光學(xué)、介入醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的發(fā)展，微型零件的需求量不斷增加,。微注射成形作為一種微成型工藝,，具有制品材料、幾何形狀和尺寸適應(yīng)性好,、成本低,、效率高，以及可連續(xù)化,、自動化生產(chǎn)等一系列優(yōu)點,，因此越來越受到人們的重視，成為當(dāng)前研究的熱門課題,。1985年,，世界上第1臺專門用于加工微型塑件的注射裝置Micromelt在德國問世，其它國家緊隨其后,，先后開發(fā)出了各種不同類型的微注塑成型機,，這為發(fā)展微注塑成型技術(shù)以及實際生產(chǎn)微小塑件都提供了強有力的支持和較有效的保證，微注塑成型技術(shù)進入了發(fā)展的黃金時期,。

平臺目前已配備各類微納加工和表征測試設(shè)備50余臺套,，擁有一條相對完整的微納加工工藝線，可制成2-6英寸樣品,，涵蓋了圖形發(fā)生,、薄膜制備、材料刻蝕,、表征測試等常見的工藝段,，可以進行常見微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工，極限線寬達到600納米,，材料種類包括硅基,、化合物半導(dǎo)體等多種類型材料，可以有力支撐多學(xué)科領(lǐng)域的半導(dǎo)體器件加工以及微納米結(jié)構(gòu)的表征測試需求,。微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域,、交叉學(xué)科，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā),。作為開放共享服務(wù)平臺,，支撐的研究領(lǐng)域包括新型器件、柔性電子器件,、微流體,、發(fā)光芯片、化合物半導(dǎo)體,、微機電器件與系統(tǒng)（MEMS）等,。以高效,、創(chuàng)新、穩(wěn)定,、合作共贏的合作理念,，歡迎社會各界前來合作。應(yīng)用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的,，如硅晶圓,、玻璃晶圓、塑料,、還其他的材料,。

微納加工技術(shù)具有高精度、科技含量高,、產(chǎn)品附加值高等特點，能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平,，在推動科技進步,、促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展、提升生活品質(zhì)等方面都發(fā)揮著重要作用,。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,，是國內(nèi)少數(shù)擁有完整半導(dǎo)體工藝鏈的研究平臺之一，可進行鍍膜,、光刻,、刻蝕等工藝，加工尺寸覆蓋2-6英寸,。微納加工平臺將面向國內(nèi)外科研機構(gòu)和企業(yè)提供較全的開放服務(wù),，對半導(dǎo)體材料與器件的深入研發(fā)給予較全支持，能夠為廣大科研單位和企業(yè)提供***服務(wù),。微納加工技術(shù)指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件的優(yōu)化設(shè)計、加工,、組裝,、系統(tǒng)集成與應(yīng)用技術(shù)。廣元半導(dǎo)體微納加工

在我國,，微納制造技術(shù)同樣是重點發(fā)展方向之一,。南昌量子微納加工

    激光微納加工技術(shù)的實現(xiàn)方式：接觸式并行激光加工技術(shù)是指利用微球體顆粒進行激光圖案化。微球激光納米加工的機理,。微球激光納米加工技術(shù)初源于對激光清潔領(lǐng)域的研究,。研究發(fā)現(xiàn)，基底上的微小球形顆粒在脈沖激光照射后,，基底上球形顆粒的中心位置能夠產(chǎn)生亞波長尺寸的微/納孔,。對于金屬顆粒而言，這是由于顆粒與基底之間的LSPR產(chǎn)生的強電磁場增強造成的；對于介質(zhì)顆粒而言,，由于其大半部分是透明的,，可以將透明顆粒看成為微球透鏡,，入射光在微球形透鏡的底面實現(xiàn)聚焦而引起的電磁場增強,。這一過程可以實現(xiàn)入射光強度的60倍增強。通過對微球的直徑,，折射率,，環(huán)境以及入射的激光強度進行設(shè)計，可以實現(xiàn)在基底上燒蝕出亞波長尺寸的微/納孔,。微球激光納米加工的實現(xiàn)方式對于微球激光納米加工技術(shù),，根據(jù)操縱微球顆粒排列方式的不同，可以分為兩類：一是利用光鑷技術(shù)操縱微球體顆粒以制造任意圖案,；二是利用自組裝技術(shù)制造微球體陣列掩模,。這種基于微球體的并行激光加工是納米制造中一種比較經(jīng)濟的方法。 南昌量子微納加工