微納加工設備主要有：光刻,、刻蝕、鍍膜,、濕法腐蝕,、絕緣層鍍膜等。微納檢測主要是表征檢測：原子力顯微鏡,、掃描電鏡,、掃描顯微鏡、XRD,、臺階儀等,。每一個設備都包含比較多具體的分類。光刻機,，也被稱為曝光機,，三大類:步進式光刻機，接觸接近式光刻,，電子束曝光,。微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件,，以及由這些零件構成的部件或系統(tǒng)的設計,、加工、組裝,、集成與應用技術,。傳統(tǒng)“宏”機械制造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統(tǒng)的高精度制造和裝配加工要求，必須研究和應用微納制造的技術與方法,。微納制造技術是微傳感器,、微執(zhí)行器、微結構和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎,。機械微加工是微納制造中較方便,，也較接近傳統(tǒng)材料加工方式的微成型技術。荊門微納加工平臺

研究應著眼于開發(fā)一種新型的可配置,、可升級的微納制造平臺和系統(tǒng),，以降低大批量或是小規(guī)模定制產品的生產成本,。新一代微納制造系統(tǒng)應滿足下述要求：（1）能生產多種多樣高度復雜的微納產品；（2）具有微納特性的組件的小型化連續(xù)生產,；（3）為了掌握基于整個生產加工鏈制造的知識,，新設計和仿真系統(tǒng)的產品開發(fā)過程的全部跨學科知識進行條理化和儲存；（4）為了保證生產的靈活性和適應性,，應確保在分布式制造中各企業(yè)的有效合作,，以支撐通過新型商業(yè)生產、管理和物流方法來實現的中小型企業(yè)在綜合制造網絡中的有效整合,；（5）是一個擁有更高級的智能和可靠性,、可根據相應環(huán)境自行調整設置及生產加工參數的、可嵌入整個生產制造行業(yè)的制造系統(tǒng),；（6）新型可快速配置和價格適中的微納制造系統(tǒng),，融入了面向任務和可重復配置的理念，能夠實現連續(xù)的系統(tǒng)升級和無縫重復配置,。荊門微納加工平臺微納加工技術指尺度為亞毫米,、微米和納米量級元件的優(yōu)化設計、加工,、組裝,、系統(tǒng)集成與應用技術。

微納加工技術是先進制造的重要組成部分,，是衡量國家高級制造業(yè)水平的標志之一,，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步,、促進產業(yè)發(fā)展,、拉動科技進步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關鍵作用,。微納加工技術的基本手段包括微納加工方法與材料科學方法兩種,。比較顯然，微納加工技術與微電子工藝技術有密切關系,。微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類,。“自上而下”是從宏觀對象出發(fā),，以光刻工藝為基礎,，對材料或原料進行加工，較小結果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定,?！白韵露稀奔夹g則是從微觀世界出發(fā)，通過控制原子,、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構建在一起,，形成微納結構與器件。

2012年北京工業(yè)大學Duan等使用課題組自行研制的皮秒激光器對金屬鉬,、鈦和不銹鋼進行了精密制孔研究,，并利用旋切制孔方式對厚度為0.3mm的金屬鉬實現了孔徑?小于200μm的微孔加工，利用螺旋制孔方式在厚度為1mm不銹鋼上實現了孔徑為200μm的制孔效果,。實驗指出大口徑微孔加工應采用旋切制孔方式,，而加工較小口徑時則更宜選用螺旋制孔方式。皮秒激光精密微孔加工過程中,，對于厚度較小的材料(d<1μm),，由于激光與材料作用的時間較短，以采用高峰值功率,、窄脈寬的激光為宜,，而對于厚度在百微米甚至超過1mm的金屬材料的微孔加工，除了要考慮激光峰值功率以及脈沖寬度外,，選擇合適的制孔方式是必要的,。此外，根據材料結構的不同還應該選擇是否采用偏振輸出等因素,。微納加工包括光刻,、磁控濺射、電子束蒸鍍,、濕法腐蝕,、干法腐蝕、表面形貌測量等,。

通過光刻技術制作出的微納結構需進一步通過刻蝕或者鍍膜,，才可獲得所需的結構或元件?？涛g技術,，是按照掩模圖形對襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術，可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,。濕法刻蝕較普遍,、也是成本較低的刻蝕方法，大部份的濕刻蝕液均是各向同性的,，換言之,，對刻蝕接觸點之任何方向腐蝕速度并無明顯差異。而干刻蝕采用的氣體,，或轟擊質量頗巨,，或化學活性極高，均能達成刻蝕的目的,。其較重要的優(yōu)點是能兼顧邊緣側向侵蝕現象極微與高刻蝕率兩種優(yōu)點,。干法刻蝕能夠滿足亞微米/納米線寬制程技術的要求,，且在微納加工技術中被大量使用。微型加工技術的表面特性和工藝生產率是微納技術人員的主要關注點,。荊門微納加工平臺

高精度的微細結構具有比較高的曝光精度,，但這兩種方法制作效率極低。荊門微納加工平臺

電子元器件制造業(yè)是電子信息產業(yè)的重要組成部分,，是通信,、計算機及網絡、數字音視頻等系統(tǒng)和終端產品發(fā)展的基礎,，其技術水平和生產能力直接影響整個行業(yè)的發(fā)展,，對于電子信息產業(yè)的技術創(chuàng)新和做大做強有著重要的支撐作用。面向半導體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS、生物芯片等前沿領域,，致力于打造***的公益性,、開放性、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備,，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍,。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā),、技術驗證以及產品中試提供支持,。將迎來新一輪的創(chuàng)新周期，在新一輪創(chuàng)新周期中,，國產替代趨勢有望進一步加強,。公司所處的本土電子元器件授權分銷行業(yè)，近年來進入飛速整合發(fā)展期,，產業(yè)集中度不斷提升,，規(guī)模化,、平臺化趨勢加強,。在一些客觀因素如服務型的推動下，部分老舊,、落后的產能先后退出市場,，非重點品種的短缺已經非常明顯,。在這樣的市場背景下，電子元器件產業(yè)有望迎來高速增長周期,，如何填補這一片市場空白,，需要理財者把握時勢，精確入局,。目前國內外面臨較為復雜的經濟環(huán)境,傳統(tǒng)電子制造企業(yè)提升自身技術能力是破局轉型的關鍵。通過推動和支持傳統(tǒng)電子企業(yè)制造升級和自主創(chuàng)新,可以增強企業(yè)在產業(yè)鏈中的重點競爭能力,。同時我國層面通過財稅政策的持續(xù)推進,從實質上給予微納加工技術服務,，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務創(chuàng)新型企業(yè)以支持,亦將對產業(yè)進步產生更深遠的影響,。荊門微納加工平臺

廣東省科學院半導體研究所是一家服務型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實現產品創(chuàng)新,。公司致力于為客戶提供安全、質量有保證的良好產品及服務,，是一家****企業(yè),。公司業(yè)務涵蓋微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務,，紫外光刻技術服務,，材料刻蝕技術服務，價格合理,，品質有保證,，深受廣大客戶的歡迎。廣東省半導體所自成立以來,，一直堅持走正規(guī)化,、專業(yè)化路線，得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持,。