脈沖磁控濺射工作原理：在一個周期內存在正電壓和負電壓兩個階段,，在負電壓段,，電源工作于靶材的濺射,，正電壓段,，引入電子中和靶面累積的正電荷,，并使表面清潔，裸露出金屬表面,。加在靶材上的脈沖電壓與一般磁控濺射相同!為400~500V,電源頻率在10~350KHz,，在保證穩(wěn)定放電的前提下，應盡可能取較低的頻率#由于等離子體中的電子相對離子具有更高的能動性,，因此正電壓值只需要是負電壓的10%~20%,，就可以有效中和靶表面累積的正電荷。占空比的選擇在保證濺射時靶表面累積的電荷能在正電壓階段被完全中和的前提下,，盡可能提高占空,，以實現(xiàn)電源的較大效率。磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁,。四川專業(yè)磁控濺射過程

非平衡磁控濺射系統(tǒng)有兩種結構,，一種是其芯部磁場強度比外環(huán)高，磁力線沒有閉合,，被引向真空室壁,，基體表面的等離子體密度低，因此該方式很少被采用,。另一種是外環(huán)磁場強度高于芯部磁場強度,，磁力線沒有完全形成閉合回路，部分外環(huán)的磁力線延伸到基體表面,，使得部分二次電子能夠沿著磁力線逃逸出靶材表面區(qū)域,，同時再與中性粒子發(fā)生碰撞電離，等離子體不再被完全限制在靶材表面區(qū)域,，而是能夠到達基體表面,，進一步增加鍍膜區(qū)域的離子濃度，使襯底離子束流密度提高,，通?？蛇_5mA/cm2以上。這樣濺射源同時又是轟擊基體表面的離子源,，基體離子束流密度與靶材電流密度成正比,，靶材電流密度提高，沉積速率提高,，同時基體離子束流密度提高,，對沉積膜層表面起到一定的轟擊作用。深圳共濺射磁控濺射哪家好PVD鍍膜技術主要分為三類：真空蒸發(fā)鍍膜,、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜,。

磁控濺射法：磁控濺射法是在高真空充入適量的氬氣，在陰極和陽極之間施加幾百K直流電壓,，在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電,，使氬氣發(fā)生電離,。優(yōu)勢特點：較常用的制備磁性薄膜的方法是磁控濺射法。氬離子被陰極加速并轟擊陰極靶表面,，將靶材表面原子濺射出來沉積在基底表面上形成薄膜,。通過更換不同材質的靶和控制不同的濺射時間，便可以獲得不同材質和不同厚度的薄膜,。磁控濺射法具有鍍膜層與基材的結合力強,、鍍膜層致密、均勻等優(yōu)點,。

磁控濺射設備的主要用途：（1）各種功能性薄膜：如具有吸收,、透射、反射,、折射,、偏光等作用的薄膜。例如,，低溫沉積氮化硅減反射膜,，以提高太陽能電池的光電轉換效率。（2）裝飾領域的應用,，如各種全反射膜及半透明膜等,，如手機外殼，鼠標等,。（3）在微電子領域作為一種非熱式鍍膜技術,，主要應用在化學氣相沉積或金屬有機。（4）化學氣相沉積困難及不適用的材料薄膜沉積,，而且可以獲得大面積非常均勻的薄膜,。（5）在光學領域：中頻閉合場非平衡磁控濺射技術也已在光學薄膜、低輻射玻璃和透明導電玻璃等方面得到應用,。特別是透明導電玻璃普遍應用于平板顯示器件,、太陽能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件,、傳感器等,。（6）在機械加工行業(yè)中，表面功能膜,、超硬膜,，自潤滑薄膜的表面沉積技術自問世以來得到長足發(fā)展，能有效的提高表面硬度,、復合韌性、耐磨損性和抗高溫化學穩(wěn)定性能,，從而大幅度地提高涂層產品的使用壽命,。磁控濺射除上述已被大量應用的領域，還在高溫超導薄膜、鐵電體薄膜,、巨磁阻薄膜,、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池,、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用,。真空磁控濺射涂層技術不同于真空蒸發(fā)涂層技術。

非平衡磁控濺射的磁場有邊緣強,，也有中部強,，導致濺射靶表面磁場的“非平衡”。磁控濺射靶的非平衡磁場不只有通過改變內外磁體的大小和強度的永磁體獲得,，也有由兩組電磁線圈產生,，或采用電磁線圈與永磁體混合結構，還有在陰極和基體之間增加附加的螺線管,，用來改變陰極和基體之間的磁場,，并以它來控制沉積過程中離子和原子的比例。非平衡磁控濺射系統(tǒng)有兩種結構,，一種是其芯部磁場強度比外環(huán)高,，磁力線沒有閉合，被引向真空室壁,，基體表面的等離子體密度低,，因此該方式很少被采用。另一種是外環(huán)磁場強度高于芯部磁場強度,，磁力線沒有完全形成閉合回路,，部分外環(huán)的磁力線延伸到基體表面，使得部分二次電子能夠沿著磁力線逃逸出靶材表面區(qū)域,，同時再與中性粒子發(fā)生碰撞電離,，等離子體不再被完全限制在靶材表面區(qū)域，而是能夠到達基體表面,，進一步增加鍍膜區(qū)域的離子濃度,，使襯底離子束流密度提高，通?？蛇_5mA/cm2以上,。這樣濺射源同時又是轟擊基體表面的離子源，基體離子束流密度與靶材電流密度成正比,，靶材電流密度提高,，沉積速率提高，同時基體離子束流密度提高,，對沉積膜層表面起到一定的轟擊作用,。磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場,。福建高質量磁控濺射哪家好

真空磁控濺射涂層技術與真空蒸發(fā)涂層技術相比有許多優(yōu)點。四川專業(yè)磁控濺射過程

高速率磁控濺射的一個固有的性質是產生大量的濺射粒子而獲得高的薄膜沉積速率,。高的沉積速率意味著高的粒子流飛向基片,，導致沉積過程中大量粒子的能量被轉移到生長薄膜上，引起沉積溫度明顯增加,。由于濺射離子的能量大約70%需要從陰極冷卻水中帶走,，薄膜的較大濺射速率將受到濺射靶冷卻的限制。冷卻不但靠足夠的冷卻水循環(huán),，還要求良好的靶材導熱率及較薄膜的靶厚度,。同時高速率磁控濺射中典型的靶材利用率只有20%～30%，因而提高靶材利用率也是有待于解決的一個問題,。四川專業(yè)磁控濺射過程

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