在Si片上形成具有垂直側壁的高深寬比溝槽結構是制備先進MEMS器件的關鍵工藝,，其各向異性刻蝕要求非常嚴格。高深寬比的干法刻蝕技術以其刻蝕速率快,、各向異性較強,、污染少等優(yōu)點脫穎而出，成為MEMS器件加工的關鍵技術之一,。BOSCH工藝,又名TMDE(TimeMultiplexedDeepEtching)工藝,，是一個刻蝕一鈍化一刻蝕的循環(huán)過程，以達到對硅材料進行高深寬比,、各向異性刻蝕的目的,。BOSCH工藝的原理是在反應腔室中輪流通入鈍化氣體C4F8與刻蝕氣體SF6與樣品進行反應，湖北硅材料刻蝕,，工藝的整個過程是淀積鈍化層步驟與刻蝕步驟的反復交替,，硅材料刻蝕。其中保護氣體C4F8在高密度等離子體的作用下分解生成碳氟聚合物保護層,，沉積在已經(jīng)做好圖形的樣品表面,。深硅刻蝕是MEMS器件制作當中一個比較重要的工藝,。半導體材料刻蝕加工廠等離子體刻蝕機要求相同的元素：化學刻蝕劑和能量源。北京氮化硅材料刻蝕廠家

二氧化硅的干法刻蝕方法：刻蝕原理氧化物的等離子體刻蝕工藝大多采用含有氟碳化合物的氣體進行刻蝕,。使用的氣體有四氟化碳(CF),、八氟丙烷(C，F(xiàn)8),、三氟甲烷(CHF3)等,，常用的是CF和CHFCF的刻蝕速率比較高但對多晶硅的選擇比不好，CHF3的聚合物生產(chǎn)速率較高,，非等離子體狀態(tài)下的氟碳化合物化學穩(wěn)定性較高,，且其化學鍵比SiF的化學鍵強，不會與硅或硅的氧化物反應,。選擇比的改變在當今半導體工藝中,，Si02的干法刻蝕主要用于接觸孔與金屬間介電層連接洞的非等向性刻蝕方面。前者在S102下方的材料是Si,，后者則是金屬層,，通常是TiN（氮化鈦），因此在Si02的刻蝕中,，Si07與Si或TiN的刻蝕選擇比是一個比較重要的因素,。貴州ICP材料刻蝕工藝法刻蝕主要利用反應氣體與等離子體進行刻蝕。

在等離子蝕刻工藝中,發(fā)生著許多的物理現(xiàn)象,。當在腔體中使用電極或微波產(chǎn)生一個強電場,這個電場會加速所有的自由電子并提高他們的內(nèi)部能量(由于宇宙射線的原因,在任何環(huán)境中都會存在一些自由電子),。自由電子與氣體中的原子/分子發(fā)生撞擊,如果在碰撞過程中,電子傳遞了足夠的能量給原子/分子,就會發(fā)生電離現(xiàn)象,并且產(chǎn)生正離子和其他自由電子若碰撞傳遞的能量不足以激發(fā)電離現(xiàn)象則無法產(chǎn)生穩(wěn)定且能發(fā)生反應的中性物當足夠的能量提供給系統(tǒng),一個穩(wěn)定的,氣相等離子體包含自由電子,正離子和反應中性物等離子蝕刻工藝中等離子體中的原子、分子離子,、反應中性物通過物理和化學方式移除襯底表面的材料,。純物理蝕刻采用強電場來加速正原子離子（通常使用重量較重,惰性的氬原子）朝向襯底，加速過程將能量傳遞給了離子,當它們撞擊到襯底表面時,內(nèi)部的能量傳遞給襯底表面的原子,如果足夠的能量被傳遞,襯底表面的原子會被噴射到氣體中,較終被真空系統(tǒng)抽走,。

濕法刻蝕是化學清洗方法中的一種,，是化學清洗在半導體制造行業(yè)中的應用，是用化學方法有選擇地從硅片表面去除不需要材料的過程,。其基本目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形,，有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受到腐蝕源明顯的侵蝕，這層掩蔽膜用來在刻蝕中保護硅片上的特殊區(qū)域而選擇性地刻蝕掉未被光刻膠保護的區(qū)域,。從半導體制造業(yè)一開始,，濕法刻蝕就與硅片制造聯(lián)系在一起。雖然濕法刻蝕已經(jīng)逐步開始被法刻蝕所取代,，但它在漂去氧化硅,、去除殘留物、表層剝離以及大尺寸圖形刻蝕應用等方面仍然起著重要的作用。與干法刻蝕相比,，濕法刻蝕的好處在于對下層材料具有高的選擇比，對器件不會帶來等離子體損傷,，并且設備簡單,。刻蝕流片的速度與刻蝕速率密切相關噴淋流量的大小決定了基板表面藥液置換速度的快慢,。介質刻蝕是用于介質材料的刻蝕,，如二氧化硅。

刻蝕用單晶硅材料和芯片用單晶硅材料在制造環(huán)節(jié)上有諸多相似之處：公司積累的固液共存界面控制技術,、熱場尺寸優(yōu)化工藝,、多晶硅投料優(yōu)化等工藝技術已經(jīng)達到國際先進水平，為公司進入新賽道提供了產(chǎn)業(yè)技術和經(jīng)驗的支撐,。不過,，芯片用單晶硅材料對材料內(nèi)部微缺陷率水平的要求較高，對加工環(huán)節(jié)的硅片表面顆粒和雜質含量,、表面平整度,、應力和機械強度等參數(shù)指標有更為嚴格的要求。這些特性導致芯片用單晶硅材料的研發(fā)和生產(chǎn),，需要合理設計加工環(huán)節(jié)的工藝流程,，同時也需要更先進的加工設備。通過刻蝕用單晶硅材料在全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈中“見縫插針”的公司,，已經(jīng)擁有了穩(wěn)定的基本盤,。向芯片用單晶硅材料賽道進發(fā)，既是對創(chuàng)業(yè)初心的回歸,，更是應對下游需求變化的戰(zhàn)略調整,，有望再一次驅動公司的強勁增長。干法刻蝕優(yōu)點是：易實現(xiàn)自動化,。山東GaN材料刻蝕技術

干法刻蝕優(yōu)點是：細線條操作安全,。北京氮化硅材料刻蝕廠家

介質刻蝕是用于介質材料的刻蝕，如二氧化硅,。干法刻蝕優(yōu)點是：各向異性好,，選擇比高，可控性,、靈活性,、重復性好，細線條操作安全,，易實現(xiàn)自動化,，無化學廢液，處理過程未引入污染，潔凈度高,。缺點是：成本高,，設備復雜。干法刻蝕主要形式有純化學過程（如屏蔽式,，下游式,，桶式），純物理過程（如離子銑）,，物理化學過程,，常用的有反應離子刻蝕RIE，離子束輔助自由基刻蝕ICP等,。干法刻蝕方式比較多,，一般有：濺射與離子束銑蝕，等離子刻蝕（PlasmaEtching）,，高壓等離子刻蝕,，高密度等離子體（HDP）刻蝕，反應離子刻蝕,。另外,，化學機械拋光CMP，剝離技術等等也可看成是廣義刻蝕的一些技術,。北京氮化硅材料刻蝕廠家

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