磁控濺射是物理中氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬,、半導(dǎo)體,、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡單,、易于控制,、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。上世紀(jì)70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速,、低溫,、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,，必須有效地提高氣體的離化率,。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率,。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程,。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程，和靶原子碰撞,，把部分動(dòng)量傳給靶原子,，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級聯(lián)過程,。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,，離開靶被濺射出來。磁控濺射靶材的分類：根據(jù)材料的成分不同,，靶材可分為金屬靶材,、合金靶材、無機(jī)非金屬靶材等,。天津射頻磁控濺射用處

交流磁控濺射和直流濺射的區(qū)別：交流磁控濺射和直流濺射相比交流磁控濺射采用交流電源代替直流電源,解決了靶面的異常放電現(xiàn)象,。交流濺射時(shí)，靶對真空室壁不是恒定的負(fù)電壓,，而是周期一定的交流脈沖電壓,。設(shè)脈沖電壓的周期為T,在負(fù)脈沖T—△T時(shí)間間隔內(nèi),靶面處于放電狀態(tài)，這一階段和直流磁控濺射相似,；靶面上的絕緣層不斷積累正電荷,，絕緣層上的場強(qiáng)逐步增大；當(dāng)場強(qiáng)增大至一定限度后靶電位驟降為零甚至反向,，即靶電位處于正脈沖△T階段,。在△T時(shí)間內(nèi)，放電等離子體中的負(fù)電荷─電子向靶面遷移并中和了絕緣層表面所帶的正電荷,，使絕緣層內(nèi)場強(qiáng)恢復(fù)為零,，從而消除了靶面異常放電的可能性,。河北射頻磁控濺射鍍膜真空磁控濺射鍍膜技術(shù)所鍍玻璃多用于建筑玻璃和汽車玻璃這兩大用處。

真空磁控濺射的分類：平面磁控濺射：平衡平面濺射是較常用的平面靶磁控濺射,，磁力線有閉合回路且與陰極平行,，即在陰極表面構(gòu)成一個(gè)正交的電磁場環(huán)形區(qū)域。等離子體被束縛在靶表面距離靶面大約60cm的區(qū)域,，通常在基片上加負(fù)偏壓來改善膜與基體的結(jié)合能力,；非平衡平面磁控濺射為了將等離子區(qū)域擴(kuò)展，利用磁體擺放方式的調(diào)整,，可以方便的獲得不同的非平衡磁控源,。圓柱磁控濺射沉積技術(shù)：利用圓柱形磁控陰極實(shí)現(xiàn)濺射的技術(shù)磁控源是關(guān)鍵部分，陰極在中心位置的叫磁控源,；陽極在中心位置的叫反磁控源,。

非平衡磁控濺射離子轟擊在鍍膜前可以起到清洗工件的氧化層和其他雜質(zhì)，活化工件表面的作用,，同時(shí)在工件表面上形成偽擴(kuò)散層,，有助于提高膜層與工件表面之間的結(jié)合力。在鍍膜過程中,，載能的帶電粒子轟擊作用可達(dá)到膜層的改性目的,。比如,，離子轟擊傾向于從膜層上剝離結(jié)合較松散的和凸出部位的粒子,，切斷膜層結(jié)晶態(tài)或凝聚態(tài)的優(yōu)勢生長，從而生更致密,，結(jié)合力更強(qiáng),，更均勻的膜層，并可以較低的溫度下鍍出性能優(yōu)良的鍍層,。非平衡磁控濺射技術(shù)的運(yùn)用,，使平衡磁控濺射遇到的沉積致密、成分復(fù)雜薄膜的問題得以解決,。在氣體可以電離的壓強(qiáng)范圍內(nèi)如果改變施加的電壓,，電路中等離子體的阻抗會隨之改變。

磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運(yùn)動(dòng)路徑,，改變電子的運(yùn)動(dòng)方向,，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。電子的歸宿不只是基片,，真空室內(nèi)壁及靶源陽極也是電子歸宿,。但一般基片與真空室及陽極在同一電勢。磁場與電場的交互作用使單個(gè)電子軌跡呈三維螺旋狀,，而不是只在靶面圓周運(yùn)動(dòng),。至于靶面圓周型的濺射輪廓,，那是靶源磁場磁力線呈圓周形狀分布。磁力線分布方向不同會對成膜有很大關(guān)系,。在EXBshift機(jī)理下工作的除磁控濺射外,，還有多弧鍍靶源，離子源,，等離子源等都在此原理下工作,。所不同的是電場方向，電壓電流大小等因素,。能夠控制鍍層的厚度,，同時(shí)可通過改變參數(shù)條件控制組成薄膜的顆粒大小。江蘇直流磁控濺射實(shí)驗(yàn)室

在熱陰極的前面增加一個(gè)電極,，構(gòu)成四極濺射裝置,，可使放電趨于穩(wěn)定。天津射頻磁控濺射用處

磁控濺射的工藝研究：1,、系統(tǒng)參數(shù)：工藝會受到很多參數(shù)的影響,。其中，一些是可以在工藝運(yùn)行期間改變和控制的;而另外一些則雖然是固定的,，但是一般在工藝運(yùn)行前可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行控制,。兩個(gè)重要的固定參數(shù)是：靶結(jié)構(gòu)和磁場。2,、靶結(jié)構(gòu)：每個(gè)單獨(dú)的靶都具有其自身的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和顆粒方向,。由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)的不同，兩個(gè)看起來完全相同的靶材可能會出現(xiàn)迥然不同的濺射速率,。在鍍膜操作中,，如果采用了新的或不同的靶，應(yīng)當(dāng)特別注意這一點(diǎn),。如果所有的靶材塊在加工期間具有相似的結(jié)構(gòu),，調(diào)節(jié)電源，根據(jù)需要提高或降低功率可以對它進(jìn)行補(bǔ)償,。在一套靶中,，由于顆粒結(jié)構(gòu)不同，也會產(chǎn)生不同的濺射速率,。這也需要在鍍膜期間加以注意,。不過，這種情況只有通過更換靶材才能得到解決,，這時(shí)候?yàn)榱说玫絻?yōu)良的膜層,，必須重新調(diào)整功率或傳動(dòng)速度。因?yàn)樗俣葘τ诋a(chǎn)品是至關(guān)重要的,，所以標(biāo)準(zhǔn)而且適當(dāng)?shù)恼{(diào)整方法是提高功率,。天津射頻磁控濺射用處

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所位于長興路363號,，是一家專業(yè)的面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性,、開放性,、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍,。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供支持,。公司,。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn)，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,，致力于發(fā)展芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工的品牌,。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力，多年來一直專注于面向半導(dǎo)體光電子器件,、功率電子器件,、MEMS,、生物芯片等前沿領(lǐng)域,，致力于打造***的公益性、開放性,、支撐性樞紐中心,。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸）,，同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),，面向國內(nèi)外高校,、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢,、創(chuàng)新研發(fā),、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供支持,。的發(fā)展和創(chuàng)新，打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù),。自公司成立以來,，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),，為客戶提供良好的微納加工技術(shù)服務(wù)，真空鍍膜技術(shù)服務(wù),，紫外光刻技術(shù)服務(wù),，材料刻蝕技術(shù)服務(wù)，從而使公司不斷發(fā)展壯大,。